溶液法制备IGZO/IZO薄膜的电学特性研究

• 作者: 向超 李勇男 殷波 汤猛 潘东 钟传杰
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 溶液法 退火 IGZO 界面态
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 半导体器件与工艺
• 页码范围: 537-541,554
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.55
• 语种: 中文
• DOI: 10.13911/j.cnki.1004-3365.170430

摘要

基于溶液旋涂法、高压退火工艺,制备了非晶铟镓锌氧化物(IGZO)薄膜、铟锌氧化物(IZO)薄膜和双层IGZO/IZO薄膜,研究了这些薄膜的电学特性.结果表明,在相同制作工艺下,IGZO单层薄膜的电流随外加恒流源时间的偏移不明显,而双层IGZO/IZO薄膜的电流随外加恒流源时间的偏移较大.退火温度在240℃～300℃范围内,电流的偏移量随温度升高而减小,回滞幅度也减小.薄膜的界面态对薄膜器件的I-V特性有较大影响,升高退火温度可改善IGZO/IZO双层薄膜界面特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟传杰	江南大学物联网工程学院	53	90	5.0	7.0
2	汤猛	江南大学物联网工程学院	5	3	1.0	1.0
3	殷波	江南大学物联网工程学院	8	30	3.0	5.0
4	李勇男	江南大学物联网工程学院	6	8	2.0	2.0
5	向超		9	0	0.0	0.0
6	潘东	江南大学物联网工程学院	4	0	0.0	0.0