论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 电子工业专用设备期刊 >
电子工业专用设备2019年第4期出版文献
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
电子工业专用设备
分享
投稿
Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： TSV技术是实现集成电路3D封装互连、降低RC延迟和信号干扰、改善芯片传输速度及功耗的有效方法.基于TSV技术的CMP工艺主要用于通孔大马士革铜工艺淀积后的正面抛光和晶圆背面TSV结构的暴露...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 阐述了倒装芯片(FC)封装产品的凸点制作过程与封装流程,并重点介绍倒装产品在传统封装过程中遇到的难点,从工艺的角度提出了相应的改善措施,确保倒装产品在封装过程的稳定性,从而满足产品的可靠性需...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 针对MEMS层叠器件悬空结构划切的各种缺陷,提出了分段进给式切割方法,通过多次切割同一个划切槽,切割深度依次增加,直到切割深度大于悬梁厚度,有效减小悬空结构底部崩边和裂纹.为解决划片槽覆盖有...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 在集成电路封装过程中,塑封体裂纹是塑料封装产品最大的质量隐患,通过分析切筋工艺过程中的各种因素,如:封装条带有溢料、未填充、封偏、框架变形、定位孔变形等异常,设备吸尘系统、模具刀具、切筋凹模...
-
5. 氧化铝钝化膜沉积工艺研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 采用平板式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,开展氧化铝(Al2O3)薄膜沉积工艺的研究.通过在p型单晶硅片背表面沉积Al2O3和氮化硅(SiNx)薄膜,形成Al2O3/SiNx叠层...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 阐述了一种基于EtherCAT总线的结晶炉自动化系统.主要讨论了系统的硬件组成,并详细分析了EtherCAT工业以太网通讯技术的通讯原理及工作特点.在软件层上给出了系统模块功能及其模块的工作...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 利用离子束溅射镀膜设备研究了溅射SiO2薄膜的沉积速率与工艺参数(离子束能量、离子束流、氧气流量和靶基距)之间的关系以及薄膜均匀性修正技术.实验结果表明:SiO2薄膜沉积速率随着离子束能量与...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 抛光压力是影响化学机械抛光(CMP)效果的重要参数之一,为了更精准地控制抛光头加载压力和实时监测压力,通过分析压力加载和获取的方法,应用最小二乘法对压力进行校准,在实际加工中取得了理想的效果...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在玻璃上动态制备高质量的掺铝ZnO (AZO)透明导电膜,研究了动态沉积条件下AZO薄膜的膜厚和电阻率均匀性,以及溅射气压对AZO薄膜结构和光电性能的影响.结果 表明:在动...
-
10. 集成电路现状与发展趋势刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 通过中外集成电路产业的对比和中国集成电路未来发展趋势的分析,准确阐述了中国集成电路产业的现状.近年来,中国集成电路产业一直处于快速发展的模式,市场规模和技术水平都在不断提高,集成电路的设计、...
-
11. 晶片厚度测试仪的测量能力指数探讨刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 以电容法厚度测试仪器为例,分析了厚度标准样片、重复性、环境温度变化以及厚度公差对测量能力指数的影响.结果 表明,尽可能地降低测试环境的温度变化、选用高质量的厚度标准样片能够使得厚度测试仪器具...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 利用激光封焊机对微波组件的3A21铝合金外壳气密性封装的固体激光器脉冲激光封焊工艺进行了试验研究,分析了脉冲峰值功率、脉冲宽度、脉冲波形等激光焊接工艺参数对最终焊接结果的影响.通过优化激光封...
-
13. 液压系统泄漏的原因与对策研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 详细阐述了液压系统泄漏的原因,从系统设计、密封件选择、制造装配、油液污染等方面,指出了防治系统泄漏应注意的各个环节;提出了液压系统泄漏故障的处理方法.
-
14. 基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 由于硫酸与双氧水混合溶液(SPM,Sulfuric-Peroxide Mixture)具有极强的氧化和腐蚀性,一般材质的单片卡盘不再适用,氟塑料广泛应用于SPM工艺,但其弹性模量相对于金属较...
-
15. “区块链”法在仪器维修中的应用刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 针对仪器维修资料匮乏,提出“区块链”维修法.首先对仪器有整体的框架性认识,然后理解各功能模块,最后检测故障元件;分析为何要采用“区块链”方法,并说明如何使用该方法在三个阶段完成相应目标,与原...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 自动布线机致力于改变传统航天电缆网生产工序,用机器代替人工自动化完成繁杂、量多的布线工作.提高车间生产效率,降低人工失误率,全面提升航天电缆网的制造水平.自动布线机的运动控制方案采用专用控制...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 介绍了目前国内外电缆组件企业的数字化制造现状,分析了航天电缆组件数字化制造的目的与意义,阐述了构建电缆组件数字化制造生产线的理论依据和总体方案,在此研究成果基础上,介绍了已经取得的成果和数字...
-
刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要： 针对分布式光伏电站在用户侧并网后出现的计量点功率因数降低现象进行分析.在配电室针对用户负荷、光伏未并网、光伏并网3种模式下的电能质量进行检测,得到3种模式下电能质量的各自特征数据.通过分析光...
-
19. 信息动态刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2019年4期页码:摘要：
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
电子工业专用设备统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
北京电子
电信建设
北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
