纳米技术与精密工程(英文)期刊
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纳米技术与精密工程(英文)

Nanotechnology and Precision Engineering
曾用名: 纳米技术与精密工程

CSTPCD

影响因子 0.4753
本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿. 本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论... 更多
主办单位:
天津大学 中国微米纳米技术学会
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
出版周期:
季刊
邮编:
300072
地址:
天津市南开区卫津路92号
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  • 作者: 傅星 李源 胡小唐 胡春光 饶志军
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  1-7
    摘要: 纳机电系统(NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域,同时也是纳米技术的重要组成部分.文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性,并列举了NEMS在生物、信息和纳...
  • 作者: 邹自强
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  8-15
    摘要: 作者及其同事们经过20多年努力将计量光栅技术提高到了纳米量级和亚纳米量级,并进行了大面积推广应用,形成了一整套纳米光栅测量技术,该文为对这套技术的综合论述.首先回顾了刻线技术的发展历史,指出...
  • 作者: 景蔚萱 蒋庄德
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  16-19
    摘要: 介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状.提出了两种制备纳米结构样板的方法:Si基底上的原子力显微镜(AFM)探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺.最后对Si基底上制...
  • 作者: 刘冲 娄志峰 王立鼎 罗怡 褚德南
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  20-23
    摘要: 玻璃微流控芯片的研究在近十年得到了重视,但是多数研究基于7740玻璃制作,由于基材需要抛光以及涂覆掩蔽层,价格昂贵.作者研究了一种在商品化的SODA-LIME玻璃(掩蔽层为厚度145±15 ...
  • 作者: 张文栋 石云波
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  24-28
    摘要: 为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题,提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器.介绍了复合...
  • 作者: 董海峰 贾玉斌 郝一龙
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  29-31
    摘要: 为了降低成本,拓展隧道加速度计的应用,作者设计了一种隧道加速度计.对器件进行体硅工艺研究,结果为:隧尖尺寸为0.02 μm×0.02 μm,隧道电流为1.14 nA~4.68 nA.
  • 作者: 前田龙太郎 单学传 小林健 张国雄
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  32-37
    摘要: 介绍了一种新颖的扫描原子力显微(SFM)方法,它可用于微机械垂直面的无损测量,这是惯用的SFM和其他测量仪器无法实现的.除操作灵活外,本方法使用自敏感微小悬臂结构确定其自身的偏移.因此,这使...
  • 作者: 井文才 唐锋 张以谟 李朝辉 李海峰 柳葆
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  38-44
    摘要: 建立了千兆位传输结构的高性能光互连网络,以提高计算机机群系统的网络性能.利用MEMS 4×4光开关和具有硬件路由功能的光互连网络PCI总线接口卡构成光互连链路.光信号传输速率达1 Gbits...
  • 作者: 袁哲俊
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  45-49
    摘要: 扫描探针显微镜(SPM)现在不仅用于表面微观形貌的检测,同时也用于纳米超精密加工和原子操纵.该文介绍了用STM和AFM进行纳米级加工的各种最新方法:针尖直接雕刻,针尖光刻加工,局部阳极氧化,...
  • 作者: 夏安东 徐藻 王翔 蒋中伟 袁大军 褚家如 郭锐 黄文浩
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  50-53
    摘要: 介绍了双光子微细加工的原理及特点,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展.同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果.
  • 作者: 张向阳
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  54-58
    摘要: 为了解决非球面透镜加工方法周期长、成本高等问题,该文介绍了作者在DHM-500超精密数控非球面透镜磨床研制中的一些关键技术,对其主要结构进行了分析.该磨床主要用于解决大尺寸非球面透镜的高精度...
  • 作者: 洪迈生 蔡萍
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  59-64
    摘要: 提出了多位法误差分离技术读数方程,可统一现行的多步法和多点法.按照对该方程中两类不同误差映射矩阵的处理方式可得到通用的分离操作模式--"首次分离操作"和"二次分离操作".指出,描述了对该方程...
  • 作者: 王伟立 胡仕新
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  65-70
    摘要: 燃料喷嘴口的微孔在汽车发动机的燃料效率和尾气排放中起关键作用.微孔的几何与表面质量的表征对理解其制造过程及其对喷嘴功能的影响十分重要,然而由于其尺寸小,对这类微孔质量的表征一直是一个难题.本...
  • 作者: 尹自强 李圣怡
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  71-75
    摘要: 在超精密加工中,用多测头方法测量工件直线度时,需要采用误差分离的方法分离出溜板的运动误差,并用一定的算法重构工件表面的直线度.介绍了现有的各种算法,提出了两种新的无理论误差的精确算法以重构工...
  • 作者: 俞信 张晓芳 阎吉祥
    发表期刊: 2004年1期
    页码:  76-80
    摘要: 该文论述了多层共轭自适应光学的原理和主要模式.波前畸变的探测与重构是多层共轭自适应光学的研究核心,文中分析了层析、定向层和多视场定向层等实现波前畸变探测与重构的方法;介绍了系统中导星的使用;...
  • 作者:
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  81-84
    摘要: 伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机(NPMM).阿贝无偏设计使得该机器异常精确.在整个25 mm×25 mm×5 mm的定位和测量域内,干涉测长系统分辨力可达...
  • 作者: 尹淑梅 张则甡 张韵慧 李之唐 李宁 肖莉 许建辰
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  85-88
    摘要: 研究了使用微乳液法制备铝及铝合金共晶钎剂的纳米团簇微粒.该方法操作方便,可人为控制粒径,而且体系热力学、动力学的特性稳定.采用微乳液法制备纳米级的铝及铝合金共晶钎剂具有一定的可行性和实用性....
  • 作者: 庄惠照 李玉国 王书运 王瑞华 石礼伟 薛成山
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  89-92
    摘要: 采用Zn/SiO2复合靶,用射频磁控共溅射技术在Si(111)衬底上沉积金属锌(Zn)/二氧化硅(SiO2)基质复合薄膜,在空气气氛中700℃条件下进行退火热处理1 h,Zn从SiO2基质中...
  • 作者: 何丕模 李振华 王凤飞 王新庆 王淼
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  93-97
    摘要: 纳米碳管以其独特的结构、优异的物理化学性质以及超高的力学性能而具有巨大的应用前景.单壁纳米碳管作为纳米碳管结构的基础,在纳米电子器件、单电子器件、储能材料等方面表现出了良好的性能.基于对单壁...
  • 作者: 任大海 尤政 张高飞
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  98-105
    摘要: 空间推进器是卫星的姿态控制及轨道的修正、保持和机动的重要执行元件.随着小卫星、微卫星、纳卫星、皮卫星和星座及编队飞行技术的出现,对空间推进技术提出了更高的要求.在综述国内外微推进技术的基础上...
  • 作者: 刘胜 宋续
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  106-111
    摘要: 热、压环境下压阻变换压力传感器的性能可以通过有限元方法预测.这里研究了简化的1/8模型,模型考虑了二氧化硅和氮化硅生成过程及堆阳极键合和胶粘结合过程.结果发现有限元预测结果和实验数据具有可比...
  • 作者: 冯亚林 李一博 栗大超 郝一龙 金翠云 靳世久
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  112-116
    摘要: 随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在其中的重要性越来越大.基于机器微视觉的MEMS动态测试系统,利用模糊图像合成技术对MEMS的平面微运动特性参数进行提取和分析...
  • 作者: 刘文艳 张慧杰 林忠华 胡国清
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  117-123
    摘要: 微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21世纪的高新科技.介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述了微机电系统技术基础所涉及的...
  • 作者:
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  124-131
    摘要: 为了推动微加工和微机械技术的进步,微型零件轮廓和尺度测量方法的发展非常重要.可行方法之一就是使用带微探头的小型三维轮廓测量仪.这种仪器的探头必须针对某个零件的测量,按照最佳外形制造.微放电加...
  • 作者: 唐玉兰 梁迎春 程凯 董申
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  132-135
    摘要: 采用分子动力学三维模型研究单晶铜纳米切削过程,工件原子间相互作用力和工件与刀具原子间相互作用力采用Morse势计算.通过分析切削过程中瞬间原子图像、切削力、单位切削力和轴向切削力与切向切削力...
  • 作者: 于思远 吴辉 徐燕申 林滨
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  136-140
    摘要: 目前,以线性断裂力学为基础的加工理论对解释微切削加工机理还存在不足.分子动力学分析的方法在研究纳米尺度或原子尺度下的固体变形方面具有独特的优势;辅以压痕挤压机理分析,解释纳米磨削过程中加工表...
  • 作者:
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  141-151
    摘要: 表面结构的测量与特征描述是精密计量技术的一个重要方面,传统上包括将轮廓情况根据不同的波长范围划分为粗糙度、波纹度和形状及后续的数字量化.按算得的参数检查它是否为公差允许,以保证零件执行其指定...
  • 作者: 余晓芬 魏玉凤
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  152-156
    摘要: 主要介绍了用于六自由度微动工作台的柔性铰链即双向柔性铰链和万向柔性铰链的设计过程,根据微动台中柔性铰链的设计要求,分析了微动台运动时驱动力与铰链变形的关系,确定了满足驱动力条件的柔性铰链刚度...
  • 作者: 南忠良 李淑清 陈宁 陈晓艳 陶知非
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  157-162
    摘要: 提出了一种微弱地震波信号新的检波理论和方法.设计了一种测微振动传感器,采用光栅谐振子为敏感元件,将地震的机械信号转换成光调制信号--莫尔条纹,再用光电器件将其转换成数字化电信号.采用80倍细...
  • 作者: 刘贤萍
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  163-170
    摘要: 介绍了一台具有国际发明专利的新型仪器--多功能机械摩擦显微仪(TPM). TPM可用于检测微纳米级工程表面的机械和摩擦性能. 其特点是在一次扫描中可同时检测以下四项功能参数:表面轮廓、表面摩...

纳米技术与精密工程(英文)基本信息

刊名 纳米技术与精密工程(英文) 主编 胡小唐
曾用名 纳米技术与精密工程
主办单位 天津大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 季刊 语种
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ISSN 1672-6030 CN 12-1458/03
邮编 300072 电子邮箱 namijishu@tju.edu.cn
电话 022-27892181 网址 http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/
地址 天津市南开区卫津路92号

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