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微纳电子技术2013年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 提出了一种基于石墨烯材料的、串联结构的、纳米尺度的单色器与光电转换一体的集成器件.对石墨烯外加偏置电压使其费密能级偏离电荷中性点,偏离的大小决定石墨烯载流子带间跃迁的光子能量阈值.测量光生载...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 进入纳米尺度后,单粒子瞬态(SET)成为高能粒子入射VLSI产生的重要效应,准确、可靠的SET模拟对评估VLSI的可靠性有着重要的影响.以反相器为例,针对脉冲峰值和半高全宽两个指标,研究了电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 通过溶胶凝胶法和氢气还原法制备出Co纳米颗粒并以此作为催化剂材料,通过催化裂解苯的方法,实现了较低温度(460℃)下在Co纳米颗粒表面上合成碳纳米管.采用X射线衍射、激光喇曼光谱、场发射扫描...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 主要回顾了近年来有关Ag3 PO4合成与表征方面的研究进展.通过较全面的综述,使人们对该材料的发展现状有了较为直观的认识.首先,介绍了光催化剂的工作原理、类型、应用以及发展态势等.总结并分析...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 采用化学水浴法,以硫酸锌、硫脲、联氨、氨水和去离子水为反应前驱物制备ZnS薄膜.采用SEM、EDS、XRD和透射光谱分析方法,研究反应前驱物中氨水以及联氨的浓度对ZnS薄膜形貌、成分、结构和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 采用有限元分析法解决了太赫兹量子级联激光器(THz QCL)有源区模拟问题.由于InP基差频THz QCL有源区为千层纳米结构,无法拆分实验探索,因此模拟分析显得尤为必要.首先列出有源区量子...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 热温差型微流量传感器的性能受多个因素的影响,如环境温度的变化、供电电源的波动、加热电阻的冷却和导线电阻的引入等.通过ANSYS软件对环境温度及加热电阻温度的改变进行了有限元仿真,发现当两者的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 利用非硅微机械加工技术,制作了一种柔性热线式剪切应力微传感器.该传感器以聚酰亚胺膜为基底,可与被测曲面物体紧密贴合,具有较好的测量适应性和准确性.传感器采用线性度好、温度系数较高的铂金属制作...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 应用SU-8负性感光胶的独特性能,采用水浴倾斜紫外光刻的方法,优化工艺参数,构造出主光轴平行于基底的球面微透镜阵列,其单个透镜的直径约为200 μm.利用激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)对微...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： GLSI多层铜互连线的平坦化中,抛光液中的SiO2磨料对铜的平坦化效率具有重要的作用.研究了碱性纳米SiO2质量分数对300 mm铜去除速率和300mm铜布线平坦化作用的影响.结果表明,随着...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 植入式眼压检测微系统是一种植入到眼内进行眼内压连续检测并通过电磁波传输到体外的微系统.根据该系统近些年的研究进展对该系统进行综述,介绍了该系统常采用的LC振荡结构和SoC结构的原理和发展历程...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年1期页码:摘要： 研究了纳米级三氧化二铝颗粒的加入对以二氧化硅为磨料的碱性钨抛光液的影响.首先用单一因素法分析了三氧化二铝与二氧化硅质量比对原有碱性钨抛光液的去除速率的影响,以及氧化剂体积分数和pH值对抛光液...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 在0.8～1.1 THz内,对A1GaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)太赫兹探测器的响应度和噪声等效功率进行了具体测试和分析.在太赫兹波辐射下,HEMT太赫兹探测器源漏端产生能被栅压...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 利用钠钙平板玻璃形成阴极板；结合丝网印刷技术在阴极板上制作了分段圆型碳纳米管阴极结构.烧结固化的银浆层用于分别构成矩形底电极和圆型底电极,其良好的导电性能确保阴极电势能够被顺利传导给碳纳米管...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 基于国产的SiC衬底GaN外延材料,研制出大栅宽GaN HEMT单胞管芯.通过使用源牵引和负载牵引技术仿真出所设计模型器件的输入输出阻抗,推导出本器件所用管芯的输入输出阻抗.使用多节λ/4阻...
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16. 单层硫化钼的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 单层硫化钼(MoS2)是具有直接带隙1.8 eV的二维半导体,因其特殊的六方晶系层状结构,而具有优异的物理和化学性质.简要介绍了MoS2材料的几种主要制备方法:如高温硫化法、水热法以及表面活...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 采用射频磁控溅射镀膜技术,分别以不同的衬底负偏压和射频溅射功率下在p型Si (100)基片上制备了SiO2/Cu薄膜.用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行扫描分析,实验结果表明,衬底...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 一维光子晶体基本周期的介质折射率取n2=1.5和n3 =2.5,采用传输矩阵法,通过Fortran编程进行数值计算,分别得到了不同周期层数(N)及不同入射角度(θ1)下的一维光子晶体透射谱；...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 介绍了一种减小交叉耦合的三维微加速度计的设计,该设计采用全差分电容式结构,X轴和Y轴采用梳齿电容式加速度计,Z轴采用扭摆电容式加速度计,三个轴向各自具有不同的敏感质量块,能够有效减小交叉耦合...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 总结了几种传统人工肌肉的工作原理、特点及其在机器人驱动中的应用现状,分析了面向机器人驱动的传统人工肌肉技术的不足.在描述电共轭液的性能特性基础上,指出基于电共轭液的人工肌肉及微手指不仅在电能...
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21. 电子束零宽度线曝光及其应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 为了提高电子束光刻的图形质量及光刻分辨率,从入射束能和束流密度等方面探讨了克服邻近效应影响的途径,在制备亚30 nm结构图形时采用零宽度线曝光的方法.该方法把版图上线条的宽度设为零,因此该线...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 介绍了CMP浆料SiO2水溶胶的Na+含量过高对集成电路可靠性的影响,讨论了硅溶胶纯化制备过程中容易凝胶的不稳定现象.中试实验中,采用阳离子交换的方法,去除Na+等金属离子.改变SiO2水溶...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 提出了一种应用于3D封装的带有硅通孔(TSV)的超薄芯片的制作方法.具体方法为通过刻蚀对硅晶圆打孔和局部减薄,然后进行表面微加工,最后从硅晶圆上分离出超薄芯片.利用两种不同的工艺实现了TSV...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要： 利用微波辅助有机溶胶法成功制备了Pd3Ru/C纳米电催化剂.相比传统的高压有机溶胶法,该法大大降低了有机溶剂的使用量并缩减了反应时间,是一种环境友好和资源节约的新型方法.采用XRD,TEM,...
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25. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年2期页码:摘要：
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26. 硅基单电子晶体管的可控制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 采用电子束曝光、感应耦合等离子体刻蚀和热氧化等工艺技术,通过独特的图形反转设计,即在电子束曝光时采用负的曝光图形,并以电子束曝光的光刻胶作为掩膜进行干法刻蚀,通过后续的干法热氧化等工艺,在磷...
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27. 多晶硅薄膜太阳电池刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 多晶硅薄膜太阳电池因兼具低材料消耗、低成本、高稳定性及多晶硅薄膜微电子器件的成熟工艺而备受瞩目.对多晶硅薄膜太阳电池的结构和制备工艺流程进行了详细阐述,指出当前多晶硅薄膜太阳电池的关键研究方...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 对用于第三代DNA测序技术的固态纳米孔的研究进展进行了综述分析,指出了采用传统微加工技术进行固态纳米孔批量制作的重要性.在介绍了基于纳米孔的第三代DNA测序技术以后,分别对固态纳米孔制备和缩...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 为探索稀土材料Eu2Fe14B在磁性隧道结中的应用,利用密度泛函理论和非平衡态格林函数方法研究了Eu2Fe14B/MgO/Eu2Fe14B磁性隧道结.计算了双铁磁电极平行和反平行磁化配置下,...
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30. 微型电磁振动能量采集器的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 微型电磁振动能量采集器(振动能量发生器)是振动能量采集器的一个重要分支,其利用电磁感应原理吸收环境的振动能量.综述了近几年微型电磁振动能量采集器的相关研究、制作工艺和检测技术,按运动件的支撑...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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