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微纳电子技术2015年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年3期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶法,在302不锈钢表面制备了经不同温度热处理的ZrO2薄膜.通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR),研究了热处理温度对ZrO2薄膜...
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32. 航空发动机内壁高温测试技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年3期页码:摘要： 针对航空发动机故障诊断中长期存在的内壁高温测量难题,介绍了非接触式的红外辐射测温法、光电测温计法和接触式的热色液晶示温法、示温漆测温法及薄膜热电偶等多种测试手段.根据测试技术不破坏发动机内部...
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33. ICP硅深刻蚀槽壁垂直度的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年3期页码:摘要： 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是体硅深加工的一项关键技术.介绍了ICP刻蚀技术的相关概念与方法,在对Si(100)进行大量深刻蚀实验的基础上,深入分析刻蚀/钝化周期、极板功率、SF6/C...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年3期页码:摘要： 采用数值仿真和实验测量相结合的方法,研究了低压扫描电镜(LVSEM)检测电介质样品过程中二次电子的出射规律,获得了二次电子的出射特性和微通道板(MCP)收集器的接收特性.结果表明,二次电子的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年3期页码:摘要： 目前小技术节点的光学邻近效应校正(OPC)过分依赖光刻机与光刻工艺的属性,量产时难以在不同型号光刻机间转移,而国内芯片制造厂光刻机种类繁杂,不可避免地需要解决工艺转移的问题.针对上述问题,以...
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36. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年3期页码:摘要：
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37. 大功率光纤耦合模块光学系统刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 基于单管半导体激光器光束传输特性,用光线追迹法对光纤耦合光路进行仿真分析,结果表明在激光器与光纤间放置圆柱透镜的间接耦合方法具有成本低廉、准直光束质量好等特性.根据光束传输几何关系,优化得到...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 高功率半导体开关器件是一类基于等离子体波理论的全固态、高压、快速打开或者切断电流的开关器件,具有体积小、可靠性高、寿命长、脉冲重复频率高和输出波形稳定等优点,在脉冲开关电路应用中有着独特的优...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 构建了结构为石墨烯/光学隔离层/银基底的光学微腔来提高石墨烯的光吸收效率.理论研究表明,通过合理设置光学微腔中光学隔离层的厚度,在正入射条件下,石墨烯的吸收光谱出现吸收峰而且最大光吸收效率可...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 利用简单有效的热注射法、调节制备反应条件合成不同形貌的硫化铜(CuxS)纳米复合物.通过透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)和紫外可见(UV-Vis)吸收光谱表征手段对产物的结构...
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41. 静电驱动柔性振膜的吸合特性研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 对静电驱动柔性振膜的吸合特性进行了理论分析和实验观测.通过理论计算得到了静电驱动下柔性振膜与具有连续曲面的腔体实现完全吸合的吸合电压.完全吸合电压随振膜电极与腔体直径的偏差以及振膜初始应力的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器.分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径,根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡,开发了压阻式...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： “核心”DNA纳米结构的精确定位是实现指定位置的DNA纳米结构可控自组装构建纳米器件或系统的关键难题之一.研究了一种可编程控制的原子力显微镜(AFM)操作方法,通过运用操作过程中参数调控,实...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 为了满足单级衍射光栅的应用需求,在器件研制中对X射线光刻的关键技术进行优化,克服了曝光中图形畸变的问题,并利用同步辐射光源对单级衍射光栅进行了高效率的批量复制.通过对X射线光谱成分进行模拟,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 报道了一种可检测大气中微米级颗粒物尺寸并计数颗粒个数的方法和检测系统.微通道检测区域处布设一对微电极,微流道两侧施加一定幅值的直流电,使得检测区域的空气发生电晕放电,形成电流回路.当注射泵驱...
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46. 基于紫外厚胶的探针加工工艺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱.这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 采用射频(RF)反应磁控溅射法,以氩气和氮气为反应气体,在不同的RF偏置功率下,在Si (100)和Si (111)衬底上制备了具有六方纤锌矿结构的AlN薄膜.使用扫描电子显微镜(SEM)表...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年4期页码:摘要： 为实现硅通孔(TSV)立体集成多层芯片可靠堆叠,对一种具备低温键合且不可逆特点的Cu/Sn等温凝固键合技术进行了研究.基于Cu/Sn系二元合金平衡相图,分析了金属层间低温扩散反应机理,设计了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 对10只808 nm大功率激光二极管进行室温恒电流老化,4只器件出现随机失效.采用高倍显微镜、激光扫描共焦显微镜和扫描电子显微镜(SEM)等方法对失效器件的近场光斑、腔面形貌、p面形貌及谐振...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 在对磁场作用下磁性液体薄膜微形变的影响因素进行分析的基础上,设计了一套磁性液体薄膜微形变测试装置,利用永磁体与电磁线圈相结合作为磁源实现了矩阵磁场的微型化和形变所需梯度,借助摄像装置观测记录...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 开发出一种适用于3 mm功率器件的新沟道结构的GaAs PHEMT外延材料.分析了提高电子迁移率的途径,讨论了InGaAs电子有效质量和In组分的关系,参考InP HEMT结构的迁移率和沟道...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 传统机械式引信“固-固”接触型微机械惯性开关存在触点接触压力小、接触电阻大、易磨损退化以及抗振动干扰差等缺点,且“固-固”接触方式闭合或者断开瞬间会产生电火花,从而产生瞬时电磁干扰.采用一种...
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53. 一种新型压力传感器结构制备工艺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 提出一种使用MEMS双层掩膜完成自对准刻蚀的工艺方法,藉此实现了在深腔结构内部对高深宽比硅压力传感器结构的精细加工.该工艺通过两次连续的平面内光刻工艺,使制作在衬底上的薄膜材料如氧化硅(Si...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 基于硅MEMS腔体技术的微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件.开发了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波带通滤波器.采用梳状结构四分之一波长谐振器级联形成微波带通滤波器,利用全波三维电磁...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 研究了一种利用一般原子力显微镜(AFM)实现简便高效纳米操作的方法.利用AFM的成像功能及AFM探针的刻划功能,记录并测量压电陶瓷管(PZT)在X和Y两个方向的位移特性,解决了一般AFM无法...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 提出了一种用差分电阻脉冲微流控芯片快速检测水中油份含量的技术.采用注射泵将模拟油污水样品恒流量在微流控芯片主通道进行输运,主通道两端施加一定幅值的直流电压.当水中油滴通过电阻脉冲检测(RPS...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 微小透镜作为典型微小光学器件在应用光学领域有着重要作用.依据液滴稳态球冠面形具有最小自由能的成形原理,分析了液滴接触角和体积对其面形的影响;通过编程软件SurfaceEvolver对微小液滴...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 提出了一种应用于硅-硅键合过程中表面激活的新方法,采用复合激活的方式,使预键合的硅片表面分别通过化学溶液激活和UV光激活相互结合的手段获得较高的表面态.经键合机预键合后,在高温炉中完成原子轨...
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59. PDMS仿生疏水表面的制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： 基于紫外光刻工艺和微纳米结构转印技术制作出了一种MEMS仿生疏水表面,表面材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS).首先旋涂SU-8胶,利用紫外光刻技术制作出微型孔阵列模具,然后浇铸PDMS,固化后...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年5期页码:摘要： CMP工艺水平很大程度上依赖于抛光液的组分及配比,组分之间的相互作用是化学机械抛光的研究内容之一.对以纳米SiO2为磨料、H2O2为氧化剂、有机碱为pH调节剂的钨碱性抛光液组分之间的化学相互...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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