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微纳电子技术2016年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 随着特征尺寸的不断缩减,器件结电容减少、工作电压降低,使纳米CMOS电路对单粒子效应(SEE)更加敏感,同时伴随着明显的单粒子串扰、多结点翻转等现象,严重影响其工作可靠性.基于纳米CMOS电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： Josephson环耦合的量子细胞神经网络(QCNN)将是未来纳米级细胞神经网络(CNN)的一个新的发展方向.基于两细胞耦合的量子细胞神经网络混沌系统,提出了一种参数不确定的混沌函数投影同步...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 研究了类场自旋转移力矩(STT)和极化层磁矩偏角对CoFeB-MgO-CoFeB磁隧道结中阈值电流密度以及翻转时间的影响.基于Landau-Lifshitz-Gilbert-Slonczew...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 为了进一步改善Si/SiC异质结光电二极管的性能,采用类似掺杂超晶格的结构,将Si层由多个具有量子尺寸的p型薄层和n型薄层周期性地叠合而成,在Si层中形成一系列不同层的电子势阱和空穴势阱,以...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 在微尺度方面,力反馈能实现有效和可靠的操作,陈述了基于压阻式微悬臂梁传感器在微操作方面对酵母菌弹性模量的定量测量.采用惠斯通电桥采集微悬臂梁传感器信号,通过信号调理电路模块可以实现高分辨率的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 根据国内医疗应用市场对电子听诊器的需求,结合压阻原理与MEMS加工技术设计了一种具有体积小、灵敏度高等优点的MEMS电子听诊器.该听诊器可通过内部MEMS微结构接收心音并完成声电换能,所产生...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 综述了纳米发电机的技术发展状况,系统介绍了纳米发电机的分类及工作原理,阐述了不同种类纳米发电机的特点和适用范围.基于国内外关于纳米发电机的研究,重点分析了纳米发电机的发电特性,对比了不同种类...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 研究了激光掺杂选择性发射极太阳电池工艺中不同激光功率对磷原子掺杂浓度、硅片表面损伤程度的影响及发射极方阻与电池串联电阻随激光功率的变化情况.通过对磷原子浓度分布曲线的观察,阐明了磷原子浓度对...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 研究了铜互连层在化学机械平坦化(CMP)后表面残余缺陷的去除机理,并采用以碱性螯合剂(FA/O Ⅱ型)和非离子表面活性剂(FA/O Ⅰ型)为主的碱性清洗液清洗其表面,然后用缺陷检测系统和扫描...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 铝栅化学机械平坦化(CMP)是实现高k介质/金属栅结构的关键技术,决定了芯片上器件性能的完整性、可靠性.针对铝的特性,以质量传递和温度传递理论作为依据,采用控制化学作用与机械作用相平衡的平坦...
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11. 亚微米间距PECVD填隙工艺研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 将半导体制造中常规的等离子增强化学气相淀积(PECVD) SiO2工艺和等离子反应离子刻蚀(RIE) SiO2工艺结合起来,利用三步填充法实现亚微米间距的金属间介质填充制作.此方法有效解决了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 利用热蒸发法制备一维β-Ga2 O3纳米材料.不同反应温度下,利用该方法对Ga单质和Au覆盖的Si(111)基片在通氮气的石英管中加热不同时间,制备了β-Ga2 O3纳米材料,并通过扫描电子...
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13. 光学涡旋的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 从理论、基础技术和应用三个方面对光学涡旋的发展历程和研究进展进行了概述.首先,重点介绍了线性光学涡旋和非线性光学涡旋孤子两种模型的最新理论研究成果,以及产生高亮度、高精度及高能量的光学涡旋的...
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14. 人体能量收集的研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 比较了现有人体能量集能器收集方式的功率密度,分析了各种人体能量集能器供电的可行性.讨论了环境能量集能器的功率密度及优缺点,并列出了人体能量集能器相对环境能量集能器的优势.介绍了人体能量的分类...
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15. Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 从器件结构和电学特性等方面,对具有垂直结构和水平结构的Ⅲ-Ⅴ族纳米线晶体管的最新研究进展进行了综述.对于垂直器件,虽然高质量的垂直Ⅲ-Ⅴ族纳米线易于获得,但栅极的逻辑布线难以实现;对于水平结...
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16. NiO纳米线阵列紫外光电特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 通过电化学沉积及退火处理制得NiO纳米线,并制备出了NiO纳米线阵列紫外光电导探测器.扫描电子显微镜测试发现制备出的纳米线非常均匀,长度约为50肛m.X射线衍射测试表明氧化退火后形成的NiO...
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17. 超级电容器聚合物电解质的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 根据聚合物电解质的发展过程,对其研究进展进行了综述.指出了聚合物电解质高电导率、可加工性好、安全可靠等优点.重点介绍了聚合物电解质的分类,包括全固态聚合物电解质、凝胶聚合物电解质、多孔聚合物...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 论述了以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为盖板和底板、以聚酯膜为通道层的微流控芯片的制作流程.设计并制作了多个形状不同的微流控芯片,进行了实验研究和数据分析,系统研究了T型微通道法液一液两相产生...
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19. 基于单根银纳米线的光敏传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 基于镍银异质结的光电流特性,通过设计制作纳米线搭载间隔为50μm的镍电板结构以及水力聚焦法组装银纳米线,制得了由单根银纳米线构成的镍银异质结光敏传感器.在实验中通过在650 nm激光不同功率...
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20. 原子力显微镜探针批量制备工艺分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 用简单的水热法,在ZnO种晶层修饰的玻璃基底上生长取向性较好的ZnO纳米棒阵列,之后通过质量分数较低的氨水侵蚀获得了ZnO纳米管.采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM...
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22. 铝栅去除速率控制机理刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年2期页码:摘要： 后形成栅极(RMG)化学机械抛光(CMP)是实现高k介质/金属栅的关键,决定了芯片上器件的可靠性.高去除速率、速率可控性与抑制电化学腐蚀是RMG平坦化抛光液的核心挑战.通过研究氧化剂、FA/...
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23. 国外CPT CSAC技术发展现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 概述了芯片级原子钟(CSAC)的特点和应用优势.介绍了美国和欧洲等发达国家启动的相干布局囚禁(CPT) CSAC系列研究项目.阐述了国外主要研究机构所取得的重大研究进展,如美国NIST机构和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 为了准确表征单壁碳纳米管(SWNT)随机网络薄膜晶体管(TFT)的输出特性,采用蒙特卡罗方法实现对沟道区域SWNT随机分布情况的仿真,并且通过在弹道输运模型中引入与栅压相关的拟合参数α(Vg...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 采用溶胶凝胶法制备了ZnO纳米胶体并用其作为电子传输层,采用全旋涂的方式制备了多层量子点(QD)白光发光二极管(LED).器件结构为ITO/TPD+PVK/量子点/遮挡层/ZnO/LiF/A...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 采用阳极氧化法制备了排列整齐、高度有序的TiO2纳米管阵列.通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、喇曼光谱仪对TiO2纳米管的表面形貌、晶型进行了表征;并采用紫外可见分光光度计测试了TiO...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 首先简短地叙述了双端固支平行板静电执行器存在的倾斜问题,该问题会降低其可靠性并且减少其行程,从而限制它的应用范围.为了克服这个问题和提升该类执行器的性能,提出了一种新型的防倾斜MEMS平行板...
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28. 微混合器的研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 微混合器作为实现流体混合的关键部件,成为微流控系统和全微分析系统领域的研究热点.一般将微混合器分为主动微混合器和被动微混合器,根据此分类方法,介绍了两类微混合器的混合机理,详细地阐述了目前国...
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29. 基于振动的微尺度对象操作实验研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 针对真空吸附释放微尺度对象困难的问题,采用真空吸附拾取与基底施加振动的双作用方法来释放微尺度对象,以达到提高释放成功率和释放精度的目的.由理论分析可知,微尺度对象成功释放与摩擦力和黏着力有关...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年3期页码:摘要： 基于电学互连的贯穿硅通孔(TSV)和高精度圆片级键合等MEMS加工技术,提出了一种硅基射频收发微系统的三维集成结构设计方案,在硅基衬底上将MEMS滤波器、MMIC芯片和控制芯片在垂直方向上集...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
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