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微纳电子技术2017年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 进入新世纪,微电子的发展进入纳电子/集成微系统时代,人们在继续发展摩尔定律的同时,创新了超越摩尔定律的微系统三维集成技术.介绍了在成像传感、光集成微系统、惯性传感微系统、射频微系统、生物微系...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 通过化学还原和热处理的方法制备出了具有核壳结构的Ni/NiO纳米线,利用扫描电子显微镜、X射线衍射、热重分析等手段对不同退火温度下的样品进行了结构表征和分析,分析了样品微结构对单根Ni/Ni...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 通过简单、快速的两步法成功制得了一系列不同摩尔比的球形TiO2-ZnO复合纳米颗粒.用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)及紫外-可见漫反射光谱(UV-vis DRS)...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 使用U-4100紫外可见光光度计和QM 40稳态/瞬态荧光光谱仪分别对不同Ⅴ/Ⅲ比分子束外延(MBE)制备的GaN纳米柱阵列进行了测试,分析了Ⅴ/Ⅲ比对GaN纳米柱表面形貌及发光特性的影响....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 设计了一种浮动电极型单向换能器(FEUDT)结构,用于激发单向声表面波(SAW),从而实现液体的单向驱动.通过对FEUDT结构模型的阻抗分析与SAW传播分析,获得了SAW驱动器的谐振频率、最...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 为了提高微型超级电容器的电化学性能,对其阻抗谱特性进行分析.通过三电极体系对微型超级电容器进行电化学阻抗谱(EIS)测试以及恒流充放电测试,分析复阻抗平面图及波特(Bode)图,获得内部体系...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 宽光谱低反射率减反射膜对提高GaAs基多结太阳电池的光电转换效率至关重要.设计和制备了宽光谱TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜.理论研究发现,当TiO2/Al2 O3/SiO2三层减...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 纳米压印光刻技术具有低成本、高效率、大面积、高分辨、多尺度、良好的工艺兼容性等特点,可用于亚波长光电子器件的研究.提出了硅水合物(HSQ)/聚丙烯酸甲酯(PMMA)双层胶室温纳米压印工艺方法...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 在工作压力为2 psi(1 psi=6 894.76 Pa)、抛光头转速为55 r/min、抛盘转速为60 r/min、流量为50 mL/min的条件下,对3英寸(1英寸=2.54 cm)的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 在利用离子迁移谱(IMS)技术在大气压下进行物质检测时,湿度会对其检测结果造成显著影响.这说明湿度变化引起了迁移管内各离子反应的变化,从而影响了离子迁移谱的性能.但是通过目前的实验手段无法观...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 结合实验数据详细地分析了基于不同粒径硅溶胶磨料的抛光液对铜化学机械平坦化(CMP)性能的表征.研究表明,磨料粒径是决定CMP效率和最终晶圆表面平坦化质量的重要因素.分析了化学机械抛光过程中的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要： 研究了以H2 O2为氧化剂,不同的pH值(2,4,6,8,10)对Ru的去除速率(vRu)和静态腐蚀速率(vSER)的影响,同时用电化学的方法研究了H2O2和pH值对Ru表面的动态极化曲线的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年1期页码:摘要：
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14. 金刚石半导体材料和器件的研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 简述了金刚石半导体材料的主要制备方法,以及掺杂技术及其在器件制备中应用的研究现状.重点介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备高质量金刚石的优势以及在生长速率、晶体尺寸和晶体质量等...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 通过化学气相沉积(CVD)工艺成功生长出少层MoS2薄膜,用Raman光谱仪对材料进行表征,验证了三层MoS2材料的存在.基于CVD生长出的三层MoS2薄膜材料完成了背栅场效应晶体管(FET...
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16. 全固态量子点太阳电池的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 从光电转换原理出发,阐述了全固态量子点太阳电池的一般结构与工作机理,并展示了电池所用材料的能带结构和载流子迁移过程.然后围绕半导体p-n结模型描述了量子点太阳电池的工作特性及重要的性能参数,...
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17. 空心碳纳米球在锂离子电池中的性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 为了探究高性能的锂电池负极新型碳基材料,通过高温退火碳包铜纳米颗粒材料制备得到空心碳纳米球,该材料的平均粒径为20 nm,这比其他空心碳球的平均粒径都要小,碳层厚度为1～3 nm,喇曼强度比...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 提出了一种利用光学谐振腔代替长光纤作为光电振荡器系统延时器件,以提高微波品质因子的方案.此方案中,光子可以在谐振腔中多次循环传播,2英寸(1英寸=2.54 cm)的平面光泼导谐振腔,最高可以...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 为了实现对射频微电子机械系统(MEMS)波段威尔金森功分器电路的精确设计和优化,使达到的设计目标满足性能要求,采用先进设计系统(ADS)软件对工作频带为32～36 GHz的RF MEMS功分...
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20. 一种高g值压阻式加速度传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 基于压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多领域的高g值加速度传感器.加速度传感器采用四端全固支八梁结构,利用力学计算、ANSYS仿真和工艺约束相结合的方法确定了结构...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 在4H-SiC中进行Al离子注入,并进行了二次高温退火技术研究.样品中Al离子的注入浓度为3×1019 cm-3,对样品进行首次高温退火工艺后,在不同条件下对样品进行二次退火.退火后对样品进...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 针对传统去离子水和高纯氮气组合的两相流清洗方法对CMOS图像传感器上颗粒污染物清洗良率不足的问题,采用了一种喷嘴式超临界二氧化碳(SSCO2)清洗的方法来清洗CMOS图像传感器.相比传统的水...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 研究了直流电压对无颗粒纳米银导电墨水在电流体动力(EHD)近场微喷印中喷射行为的影响.结果表明供墨压力和电极间距一定时,随着直流电压增大,喷嘴尖端弯液面拉长,轮廓由曲面先后演变为脉动泰勒锥和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年4期页码:摘要： 通过热力学理论对物理气相传输(PVT)法AlN晶体生长过饱和度进行分析,分别从软件模拟和晶体生长实验对衬底表面的温度分布进行调控,进而控制衬底表面AlN晶体生长的驱动力.理论上,采用Coms...
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25. 一种MTM反熔丝器件的击穿特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 制备了一种基于高介电常数材料氧化铪(HfO2)薄膜作为核心绝缘介质层的金属-金属(MTM)反熔丝单元结构.基于此结构,使用钛(Ti)和氮化钛(TiN)分别作为MTM反熔丝结构中的过渡层和阻挡...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 采用有源忆阻器构建了三阶忆阻振荡电路单元.将该忆阻振荡电路单元作为构建忆阻非线性网络的元胞,通过与周围邻近元胞的耦合,实现了具有反应扩散特性的非线性忆阻电路网络.通过MATLAB实验仿真观察...
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27. 键合SOI材料应力的控制技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 在基于绝缘体上硅(SOI)材料的IC器件及MEMS器件研发过程中,薄膜应力引起的晶圆变形、膜层脱落等工艺问题,制约了其研发进度和器件性能.对键合SOI材料整体残余应力展开研究,推出埋氧层、背...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 针对具有微纳米复合结构的微通道,对流动沸腾换热的沸腾起始点、换热系数、临界热流密度、流动不稳定性等问题的最新研究进展进行了综述,总结出近些年实验研究中所采用的实验方法,包括在微通道表面制作多...
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29. 高Q平面集成光波导谐振腔刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 提出了一种高品质因数的氧化硅平面集成光波导谐振腔的设计与加工方案.利用Matlab与BeamPROP软件对回音壁模式(WGM)谐振腔结构模型进行了仿真分析,深入讨论了耦合状态、腔长与谐振腔品...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 为了减小加工误差对高频滤波器性能的影响,设计并加工了一款基于新型谐振柱的高频波导滤波器.首先设计了一个两腔波导滤波器,然后通过给腔内的方形脊两侧加载梯形凸台完成了滤波器的设计.运用Ansof...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
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