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微细加工技术

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Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主办单位：

中国电子科技集团公司第48研究所

期刊荣誉：

国家一级检索刊物用刊 美国工程信息公司Ei数据库收录

ISSN：

1003-8213

CN：

43-1140/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

地址：

湖南省长沙市

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热门刊内文献

年度刊次

1. ICP刻蚀技术及其在光电子器件制作中的应用

作者：余金中樊中朝陈少武

刊名：微细加工技术

被引次数： 126

发表期刊：年2期

摘要：简单介绍了ICP(inductively coupled plasma)刻蚀设备的结构和刻蚀机理，报道了ICP刻蚀硅、二氧化硅和Ⅲ-V族材料的一些最新进展，重点介绍ICP刻蚀技术在光电子器件...
2. 光刻机的演变及今后发展趋势

作者：李艳秋

刊名：微细加工技术

被引次数： 104

发表期刊：年2期

摘要：微电子技术的发展一直是光刻设备和技术发展与变革的动力。通过介绍光刻机的演变和所面临的挑战，揭示下一代光刻设备的发展潜力，结合比较极紫外光刻机和电子束曝光机的开发现状和特点，预言将来以极紫外光...
3. 微三维结构电火花铣削关键技术研究

作者：张勇李志勇杨洋王振龙赵万生

刊名：微细加工技术

被引次数： 89

发表期刊：年3期

摘要：为解决电火花方法加工微三维结构时工具电极的制备、测量和损耗补偿问题,研究了块反拷法和线电极磨削法(WEDG)相配合的电极加工工艺,设计了通过4点接触感知实现的电极在线测量系统,提出了由数控系...
4. 超精密定位工作台

作者：吴鹰飞周兆英

刊名：微细加工技术

被引次数： 80

发表期刊：年2期

摘要：在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作了介绍.并分析了它们各自的...
5. 太阳能电池产业的现状和发展

作者：杨基南

刊名：微细加工技术

被引次数： 74

发表期刊：年2期

摘要：为了应对能源危机和环境污染,太阳能电池产业以平均年增长率为30%的速度飞速发展.摆在人们面前的课题是如何进一步提高转换效率、扩大生产规模和降低制造成本,使太阳能发电的成本降低到与常规发电相当...
6. 微光刻技术的发展

作者：侯德胜冯伯儒张锦陈芬

刊名：微细加工技术

被引次数： 68

发表期刊：年1期

摘要：阐述了光刻技术的发展及其分辨极限,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述....
7. 微细切削加工技术

作者：何宁曹自洋李亮

刊名：微细加工技术

被引次数： 67

发表期刊：年3期

摘要：介绍了微细切削加工技术的研究背景,并对其研究现状进行了评述,分析了微细切削加工技术在研究与发展过程中存在的主要问题,提出了将来的研究方向....
8. 热丝CVD法生长纳米金刚石薄膜的研究

作者：孙方宏张志明戴永兵汪涛沈荷生莘海维

刊名：微细加工技术

被引次数： 63

发表期刊：年1期

摘要：系统地研究了热丝CVD法中反应气体压力对沉积产物金刚石薄膜的形貌和拉曼谱图的影响,提出了热丝CVD生长纳米金刚石薄膜的新工艺,并在φ50mm硅片上沉积得到高质量的多晶纳米金刚石薄膜.高分辨透...
9. 微三维结构型腔的微细电火花加工

作者：刘光壮王振龙赵万生迟关心

刊名：微细加工技术

被引次数： 62

发表期刊：年1期

摘要：利用简单截面形状电极,建立在分层制造思想上的电极等损耗微细电火花加工技术是实现微三维结构微细加工的有效手段.分析了该方法的工艺特点;研究了实现该技术的条件及电极损耗补偿策略....
10. 图像处理在高精度对准系统中的应用

作者：刘业异杨维全胡松陈伟明

刊名：微细加工技术

被引次数： 61

发表期刊：年1期

摘要：阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程.着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用.并讨论系统应用中的图像处理算法....
11. ASML公司光学光刻技术最新进展

作者：刘业异姚汉民张强胡松

刊名：微细加工技术

被引次数： 61

发表期刊：年3期

摘要：荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一,通过不断的技术创新,在全球光刻机市场上居于领先地位.在简单介绍光刻机基本工作原理和主要技术指标的基础上,详细分析了ASML公司在光学光刻技术...
12. 基于分子动力学单晶硅纳米切削机理研究

作者：唐玉兰梁迎春程凯霍德鸿

刊名：微细加工技术

被引次数： 49

发表期刊：年2期

摘要：采用分子动力学三维模型研究单晶硅纳米切削机理，工件原子间相互作用力和工件与刀具原子间相互作用力分别采用Tersoff势和Morse势计算。通过切削过程中瞬间原子图像、能量和切削力的分析，发现...
13. 毛细管电泳芯片的制造

作者：冯焱颖叶雄英周兆英汤扬华金亚

刊名：微细加工技术

被引次数： 42

发表期刊：年1期

摘要：研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃-玻璃键合技术：讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合，键合温度为620℃，得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度...
14. 微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望

作者：李云龙殷玲陈非凡

刊名：微细加工技术

被引次数： 42

发表期刊：年3期

摘要：微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一...
15. 用SU-8胶制高深宽比微结构的试验研究

作者：丁桂甫刘景全朱军蔡炳初赵小林

刊名：微细加工技术

被引次数： 39

发表期刊：年1期

摘要： SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶,它适于超厚、高深宽比的MEMS微结构制造.但SU-8胶对工艺参数很敏感.采用正交试验设计方法对其工艺进行分析.采用三个因素进行试验,对试验进...
16. 基于MEMS的微推进系统的研究现状与展望

作者：尤政张高飞

刊名：微细加工技术

被引次数： 39

发表期刊：年1期

摘要：重点介绍了目前国内外各种MEMS微推进系统的研究现状和不同微推进系统的技术特点,阐述了基于MEMS技术的微推进系统基本特征,并分析了MEMS微推进系统的发展趋势和面临的挑战....
17. 微电铸技术及其工艺优化进展研究

作者：于中尧于军李冠男罗磊郭旻黄成军

刊名：微细加工技术

被引次数： 38

发表期刊：年6期

摘要：随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力.然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展.因此,对微电铸工艺进...
18. 灰度掩模技术

作者：于利民卢振武廖江红曹颖静李凤有李红军翁志成

刊名：微细加工技术

被引次数： 36

发表期刊：年1期

摘要：二元光学被誉为"1990年代的光学技术",在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景.衍射光学元件有很多制作方法,比较成熟的有二元光学元件加工方法和激光或电子束直写技术加工方法.二元光学...
19. 电子束三维光刻技术的研究

作者：孔祥东尹明张玉林

刊名：微细加工技术

被引次数： 34

发表期刊：年4期

摘要：在IH(Integrated Harden Polymer Stereo Lithogmphy)技术和电子束光刻技术的基础上提出了电子束微三维光刻技术新概念.对其实现方法的可行性进行了简要的...
20. SU-8 5光刻胶的应用工艺研究

作者：倪智萍朱军赵小林

刊名：微细加工技术

被引次数： 31

发表期刊：年2期

摘要： SU-8系列负性光刻胶是一种新品光刻胶,它具有良好的光敏性和高深宽比,适合于微机电系统,UV-LIGA和其它厚膜、超厚膜应用[1,2].介绍了利用SU-8 5光刻胶,采用UV曝光制备LIGA...
21. 基于硅结构的微流体控制系统

作者：徐东王莉程秀兰蔡炳初陈鉴

刊名：微细加工技术

被引次数： 31

发表期刊：年2期

摘要：基于硅结构的微流体控制系统(μFCs)是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域.主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理...
22. 精密工作台扰动观测器的设计

作者：朱煜李恒杨开明贾松涛

刊名：微细加工技术

被引次数： 31

发表期刊：年4期

摘要：针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工作台的定位精度、减小轨迹跟踪误差,采用扰动观测方法,基于直线电机精密...
23. 形状记忆合金/硅复合膜驱动的微泵

作者：丁桂甫俞爱斌周勇徐东王莉蔡炳初

刊名：微细加工技术

被引次数： 30

发表期刊：年4期

摘要：形状记忆合金/硅复合膜驱动的微泵由一个可形变腔体和两个单向硅薄片阀组成.微驱动膜利用NiTi形状记忆合金薄膜相变时具有大的可回复应力和Si衬底膜的反偏置力,产生双向往复振动.采用图形化的Ni...
24. PZT压电薄膜在MEMS中的应用

作者：徐东王莉胡正军蔡炳初

刊名：微细加工技术

被引次数： 30

发表期刊：年4期

摘要：从MEMS应用的角度介绍了PZT压电薄膜的制备、集成工艺与压电系数的测量,并给出了压电薄膜在MEMS中的应用实例....
25. 六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究

作者：于国飞何惠阳宋文荣王延风田兴志

刊名：微细加工技术

被引次数： 30

发表期刊：年1期

摘要：设计了"H"型六维x-y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位;控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小,可以实现工件台的微定...
26. 10%TMAH硅湿法腐蚀技术的研究

作者：司俊杰马斌

刊名：微细加工技术

被引次数： 30

发表期刊：年3期

摘要：研究了浓度为10%的四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液,在不同量的Si粉掺杂下,对铝膜及硅衬底的腐蚀及其pH值的变化.测试了在满足铝膜极低的腐蚀速率(＜1 rim/min)时,不同温度下该腐蚀液...
27. 烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响

作者：

刊名：微细加工技术

被引次数： 30

发表期刊：年3期

摘要：采用厚层正性光刻胶AZ P4620进行光刻实验,考察了在前烘和坚膜阶段不同的工艺参数条件下的光刻胶浮雕面形的变化.实验表明,完全显影后光刻胶的浮雕面形受前烘工艺参数的影响很小,但其显影速率有...
28. 异形孔的微细超声电火花加工技术研究

作者：于滨狄士春王振龙赵万生

刊名：微细加工技术

被引次数： 29

发表期刊：年1期

摘要：在分析了几种微小异形孔加工方法的前提下,介绍了采用微细超声电火花加工方法进行微小异形孔的加工.重点研究了微细超声电火花加工系统的关键技术,通过理论分析与大量实验证明了超声振动对于提高微小异形...
29. 微细电火花加工装置的设计与应用

作者：张勇王振龙胡富强赵万生

刊名：微细加工技术

被引次数： 29

发表期刊：年2期

摘要：设计开发了一台用于微细电火花加工的微细加工装置,它主要由以下几个部分组成:花岗岩基座、精密伺服机构、精密高速旋转主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工用的RC脉冲电源、加工状态检测系统和控制系...
30. 低压MOCVD法制备TiO2薄膜的研究

作者：吴争鸣李文军李文漪武正簧蔡炳初赵君芙赵小林

刊名：微细加工技术

被引次数： 28

发表期刊：年3期

摘要：以四异丙醇钛为原料,氧气作反应气体,高纯氮气作载气,采用低压MOCVD在单晶Si基片上制备出了TiO2薄膜.研究了基片温度和氧气流量对TiO2薄膜沉积速率的影响,以及基片温度和退火温度对Ti...

微细加工技术基本信息

刊名	微细加工技术	主编
曾用名
主办单位	中国电子科技集团公司第48研究所	主管单位
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1003-8213	CN	43-1140/TN
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