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微细加工技术

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Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主办单位：

中国电子科技集团公司第48研究所

期刊荣誉：

国家一级检索刊物用刊 美国工程信息公司Ei数据库收录

ISSN：

1003-8213

CN：

43-1140/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

地址：

湖南省长沙市

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热门刊内文献

年度刊次

61. 一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作

作者：丁桂甫刘瑞李雪萍杨春生汪红

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年4期

页码: 62-64

摘要：针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用UV-LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能.实验结果表明,用UV-LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧...
62. 选择性BF2+离子注入对提高DRAM刷新时间的研究

作者：吴萍外山弘毅彭坤林大成王飚

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 1-4,15

摘要：动态随机存储器(dynamic random access memory,DRAM)电容器在存储高电位数据"1"时,将影响邻近记忆单元区晶体管栅极电场分布,从而导致漏电流增加,降低了刷新时间...
63. 利用压印技术制备大面积相变材料阵列

作者：万永中刘彦伯周伟民宋志棠张剑平张挺张静李小丽钮晓鸣闵国全

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 5-8

摘要：采用高效、低成本的紫外压印技术(UV-IL)在2 in.Si/SiO2基 Ti/TiN/Si2Sb2Te5(SST)多层膜表面制备了密度为3.8 M/In2的AMONIL点阵结构,并通过反应...
64. 增强双光子微细加工分辨率的新技术

作者：朱煜李艳秋韦晓全马竞高国华

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 9-11,15

摘要：通过对双光子微细加工的原理分析,探讨了双光子加工中可能影响最终分辨率的各个因素,在所建立的分辨率理论模型指导下,研究了通过优化工艺参数实现双光子微细加工分辨率增强的方法,并进一步提出了使用衍...
65. 超薄阳极氧化铝模版的制备

作者：成步文王启明白安琪胡迪

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 12-15

摘要：采用二次阳极氧化铝的方法制备出厚度仅为509 nm超薄多孔阳极氧化铝模版,氧化铝模版上孔洞大小均匀.呈完美的六角分布,孔径为35 nm左右,孔间距约为100 nm.成功地将多孔阳极氧化铝模版...
66. 多弧离子镀(Ti,Al,Cr)N硬质膜的沉积工艺与力学性能

作者：张钧王闯

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 16-18,34

摘要：采用多弧离子镀技术并使用合金靶制备(Ti,Al,Cr)N多组元硬质膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪对(Ti,Al,Cr)N膜层表面及断面形貌、成分、结构等进行观察测定,系统考察了沉积工艺对(T...
67. Z箍缩柱面丝阵负载装配微张力控制器研制

作者：何洁周忆彭万彬董元伟

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 19-20,49

摘要：目前国内Z-pinch实验中采用的丝阵负载是手工绕制的自适应式丝阵负载,每根丝的松紧程度不能保持一致,这在一定程度上影响了Z-pinch试验的结果.讨论了一种基于弹性变形测量和摩擦加栽的微张...
68. 铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究

作者：张俊峰李以贵高阳

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 21-23

摘要：本实验中首次采用铜材料作为声表面波驱动装置的叉指换能器材料.对铜材料和铝材料进行了详细比较,得到铜材料相比于铝材料的优点.采用并详细对比了离子铣和剥离工艺两种制造工艺,实验表明剥离工艺效果更...
69. 光敏微晶玻璃-PDMS微流控芯片制备及电渗性能研究

作者：余冬冬李艳琼汪建华王升高程莉莉邓晓清

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 24-26

摘要：以光敏微晶玻璃和PDMs为材料,通过光化学加工和等离子体改性,制备了光敏微晶玻璃-PDMs微流控芯片,并对该芯片的电渗性能进行了初步的研究.结果表明,该芯片的制作工艺简单,且电渗性能稳定.芯...
70. 乳胶体系流延片叠层制备znO压敏陶瓷材料研究

作者：华伟刚崔学民张鹤贺艳

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 27-29

摘要：以水性乳胶作为粘结剂,利用水基流延工艺成功制备出强度高、韧性好、结构均匀、可在室温下叠层的ZnO生带材料;借用乳胶粘结剂对压力敏感的胶粘特性,室温下叠层制备了多层片式ZnO压敏材料坯体,烧结...
71. 用于传感的聚合物微谐振环的研制

作者：孔光明邓文渊郭洪波鄂书林

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 30-34

摘要：对一种用于传感的聚合物微谐振环进行了研制.器件为多模耦合器结构,作为微谐振环的输入/输出耦合结构.微谐振环采用跑道形结构.首先分析了器件的原理,给出了器件的优化设计参数.采用紫外光敏材料SU...
72. 基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制

作者：段辉高白英良韩立

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 35-36,40

摘要：首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁.测试表明,所制作的聚...
73. 一种高性能的硅微谐振陀螺

作者：樊尚春王路达郭占社

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 37-40

摘要：基于谐振敏感原理,设计了硅微谐振陀螺,它具有直接的准数字式频率输出、高灵敏度、参数设计灵活等优点,其结构包括质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、双端固支音叉(DETF)、激励和检测梳齿.内外质量块...
74. 石英音叉陀螺芯片工艺误差的影响分析

作者：冯立辉孙雨南崔芳路文一闫海

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 41-44

摘要：加工高质量的石英音叉需要解决工艺误差导致的机械耦合误差及频率漂移等问题.使用测量显微镜对石英音叉驱动叉指的长度和宽度在主要工艺过程中的变化进行了测量,其中以石英音叉化学腐蚀引入的尺寸误差较大...
75. 短讯

作者：

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 44

摘要：
76. MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟

作者：丁桂甫刘瑞李雪萍毛胜平汤俊汪红王志民

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 45-49

摘要：利用有限元软件ANSYS对MEMS微电铸Ni工艺进行电场模拟,研究了光刻胶厚度、线宽以及片内辅助电极参数对微结构表面电场分布均匀性的影响.根据模拟结果,利用微电铸试验研究了微结构单元尺寸以及...
77. 微小等离子体发生器刻蚀机理的研究

作者：向伟伟张秋萍文莉王海褚家如

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 50-52,55

摘要：采用二维流体模型对扫描刻蚀加工中的微小等离子体发生器的刻蚀机理进行了数值仿真研究.该微小等离子体发生器为微空心阴极放电器件,当工作气体为SF6,工作气压在5 kPa～9 kPa时,空心阴极处...
78. 新型结构碳材料——碳纳米针

作者：吕承瑞张雷段新超王丽军王小平王降洋雷通

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 53-55

摘要：采用钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)设备,以氢气和甲烷作为反应气源,制备了一种新型结构碳材料--碳纳米针.通过扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对其形态结构和成份进行了分析研究,结果表...
79. 基于MEMS的高Q值核磁共振平面微线圈

作者：宋涛李晓南杨文晖王利王明

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 56-59,64

摘要：为了提高核磁共振波谱检测信号的信噪比,实现对纳升级样品的检测,以及与微流控芯片集成,介绍了一种高品质因数(p值)平面微线圈及其制作工艺.基于对信噪比的仿真计算,利用SU.8厚胶掩模光刻与直流...
80. 水射流导引激光在微细加工中的应用

作者：唐令波蔡黎明邴龙健雷玉勇

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年5期

页码: 60-64

摘要：研究应用水射流导引激光技术切割加工半导体材料工艺,并与传统切割工艺进行了比较.用φ25μm的水射流和波长为1064 nm的钇铝石榴石红外线激光源切割一个夺125μm的砷化镓晶片,典型的切割速...
81. 大角度离子注入机控制系统软件设计

作者：伍三忠吴学忠

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 1-3

摘要：介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能.
82. X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器

作者：李冬梅李晶晶柯导明牛洁斌贾锐赵以贵陈军宁

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 4-6

摘要：提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法.首先利用电子束光刻和微电镀技术制作x射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米...
83. 用于非球面测试的位相型计算全息图制作

作者：刘明叶甜春朱效立朱日宏谢常青赵珉陈宝钦马杰马骏高志山

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 7-8,11

摘要：本文对计算全息图元件的设计和制作成算法和软件,研究了采用高速电子束直写系统制作大面积、非周期性复杂光刻图形技术,在此工作的基础上,采用湿法腐蚀铬、感应耦合等离子体刻蚀石英玻璃两步图形转移的方...
84. 高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作

作者：吴璇朱效立李亚文牛洁斌胡松谢常青陈军宁

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 9-11

摘要：相对于软X射线显微成像,硬X射线显微成像对菲涅尔波带片的吸收体厚度提出了更高的要求.采用电子束光刻和X射线光刻复制的方法,在聚酰亚胺薄膜上成功制作了高高宽比的菲涅尔波带片.首先利用电子束光刻...
85. 射频磁控共溅射高温NH3退火制备CuO/SiO2复合薄膜的微观结构

作者：孙钦军李玉国石锋

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 12-13,18

摘要：采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在NH3保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,形成XuO结构,对其微观结构进行分析.随着退火温度的升高,CuO由单斜晶相逐渐转...
86. Fe-ZnSe纳米复合颗粒膜的制备和磁电阻效应

作者：张昌文张林王永娟

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 14-15,33

摘要：采用射频溅射法制备了"纳米铁磁金属颗粒-半导体基体"Fe-ZnSe复合颗H粒膜,研究了颗粒膜的结构、磁性和磁电阻效应.实验结果表明,在室温下Fe-ZnSe复合颗粒膜中纳米Fe颗粒表现出超顺磁...
87. Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响

作者：吴兆丰吴雪梅徐庆岩诸葛兰剑陈学梅

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 16-18

摘要：采用射频磁控溅射方法在导电玻璃和石英衬底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂量的ZnO薄膜.XRD显示,适当的Cu掺杂增强了ZnO的(002)衍射峰的强度;用紫外分光光度计测量了样品的透光性,结果显...
88. 聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究

作者：刘景全杨春生沈修成王亚军芮岳峰郭中元

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 19-21

摘要：首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数.结果表明,刻蚀速率随功率增加...
89. 高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征

作者：刘伟刘贵昌施志聪朱波王华

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 22-25

摘要：采用两步电沉积方法在碱性柠檬酸盐-氨水络合体系中制备了含有Ni-Mo中间层的Ni-Mo-Zn电极,通过在热碱溶液中浸泡除去部分Zn后得到高析氢活性电极.SEM测试发现,该电极的合金镀层表面有...
90. SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现

作者：周新伟徐春晓房立清

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2008年6期

页码: 26-27,64

摘要：设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围.设计方案合理应用光刻、ICP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现.研究为下步耐高温压阻...

微细加工技术基本信息

刊名	微细加工技术	主编
曾用名
主办单位	中国电子科技集团公司第48研究所	主管单位
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1003-8213	CN	43-1140/TN
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