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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 磁控溅射已经成为沉积薄膜的最重要的方法之一.然而,这种镀膜技术亦存在一些缺点(例如,有限的溅射产额和反应溅射过程中等离子体不稳定等问题),所以它不适宜于在介质膜工业生产中应用.本文介绍了一种...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 本文回顾了多弧--磁控溅射多功能离子镀膜设备的结构和功能,并且对该设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,做了较为详细的膜层性能分析.同时,本文又对近年来一种新型的多功能离子镀设备-...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 结合生产实际,本文介绍了冷光膜系的物理性能及特点,详细讨论分析了生产工艺中存在的问题,提出了改进的简便实用方法.实践表明:采用改进的新方法能够提高冷光膜系制品的质量和工业化生产效率.
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 本文介绍了基于PET基材,由ITO与Ag组成的单Ag层和双Ag层高透明低辐射膜系及其光谱特性,并在PET基材上通过直流磁控溅射制备了在几乎整个可见光波段透过率大于75%,低反射且能用于汽车前...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 通过两个隔热实验和一个节能实验,深入分析了ITO薄膜用于汽车前挡风玻璃的可能性.结果表明:ITO薄膜可以应用于汽车前挡风玻璃,既能保证超过73%的可见光透过率,又能在炎热的夏季降低驾驶室的温...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 本文对直流磁控反应溅射制备ZAO薄膜的工艺作了具体分析，探讨了沉积温度、氧分压、Al含量和靶基距等对ZAO薄膜的电阻率、可见光区透射率的影响。
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 研究了调制磁场对于非平衡磁控溅射系统的作用,调制磁场可以使非平衡磁控溅射形成具有较高等离子体密度的等离子体束流,延伸到靶前110 mm以上.在靶前60～110 mm的位置上,收集电流密度高达...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 以Be为基体，采用磁控溅射离子镀在其上镀制Al膜，研究了负偏压对Al膜微结构的影响；研究表明，不加基体负偏压，Al膜在（111）面择优生长；随着基体负偏压升高Al膜在（111）面择优生长趋势...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 用喷镀法将SnCl4溶液喷射到预先加热的玻璃表面,制成了薄膜电阻＜70Ω/□,透光率>88%,热稳定性＜45%的SnO2膜导电玻璃,研究了膜厚、基底温度、溶液组成对薄膜电阻与透光率的影响.
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10. 铝型材挤压模具离子注入表面强化刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 铝型材热挤压模具的磨损、润滑和使用寿命短等问题直接影响着铝加工行业中铝产品的质量和厂家的经济效益.我院与广东兴发铝型材厂合作,将离子注入技术应用于铝型材生产,对铝型材挤压模具进行了表面改性处...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 本文就卷绕式高真空镀膜机用铝丝蒸发舟的蒸发温度与横向膜厚均匀性以及提高蒸发舟使用寿命等问题进行了探讨.
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12. 高真空条件下网状泡沫放气量的测试刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 利用航天工业行业标准及测试设备对一定真空度条件下的聚胺脂网状泡沫在常温及加温两种不同工况时的出气情况进行测试;对两者的放气量进行比较;对放气机理进行分析探讨.此工作对高真空连续卷绕网状泡沫镀...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 研究太阳能聚光器薄膜在制备过程中附着力存在的有关问题.阐述薄膜在生长过程中影响薄膜附着力的各种因素,针对其相关因素作了具体的理论分析,并在真空镀膜实验的基础上,探讨了提高蒸发镀膜附着力的具体...
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14. 机械真空泵的维修刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要： 本文为<实用真空技术>一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对真空泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值.
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15. 第十一讲：真空材料刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要：
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16. 株式会社ULVAC的沿革刊名： 真空发表期刊： 2002年3期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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