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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
出版文献量（篇）
2692
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 二次离子质谱(Secondary ion mass spectrometry,简称SIMS)是一种对表面灵敏的质谱技术,建立在表面各种类型带正、负电荷原子或分子发射的基础上.用飞行时间(Ti...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 针对激光测距系统中光路成像受电磁波干扰影响测量质量的问题,本文分析比较了金属光学薄膜与ITO薄膜的光学屏蔽特性.采用磁控反应溅射的方法在关键光学零件表面制备了ITO膜,经过性能测试表明:IT...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 讨论了离子束辅助沉积技术在真空沉积过程中的应用原理.通过与常规的热蒸发工艺镀制的膜层相比较,证实了离子束辅助沉积技术有助于提高钼酸铅晶体表面红外增透膜的膜层品质及中心波长位置的精确度.
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5. 类金刚石膜的应用及制备刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 类金刚石膜(DLC)是由无定形碳和金刚石相混合组成的碳材料,由于具有与金刚石膜(DF)相类似的性能--优异的机械特性、电学特性、光学特性、热学和化学特性以及生物相溶性,同时制备方法相对容易实...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 将基于特征的参数化设计方法应用于喷射式真空泵零件的CAD/CAPP/CAM集成系统,提出了一种真空泵零件的建模技术.
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 依据水蒸汽喷射泵的抽气机理,结合其实际工作情况,分析了影响水蒸汽喷射泵抽气性能的主要因素;确定了要监测的模拟量和开关量信号,以及各监测点的位置;设计了在线监测的硬件系统;开发的监测系统软件,...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 叙述在亚磷酸-二甲酯真空抽气系统中采用气冷罗茨真空泵机组代替过去一般采用的多台W型往复式真空泵并联组合,可以大大降低功率消耗、提高抽气效率及其节约维修费用.
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 介绍了76 km高空环境模拟试验舱的方案、构成、设计和实测结果.分析了一些关键环节供同行参考.
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 在未烘烤的超高真空系统中,真空室表面所吸附的水蒸汽是影响排气时间及极限真空度的关键因素.通过实验,对充入气体中水蒸汽含量及操作方式与真空系统排气特性的关系进行了测试,为超高真空系统操作工艺的...
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11. 真空干燥工艺流程中的溶剂回收刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 主要介绍了在真空干燥过程中,当溶剂需要回收时所需要的冷凝系统与真空系统的选择与设计,对其实用参数给以理论和经验化的数据,并对真空干燥设备的外围配套装置改进和发展提出见解.
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12. 强束流钼注入铝中的反常分布研究刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 利用从金属蒸汽真空弧(简称MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钼离子对纯铝进行了不同束流密度的离子注入试验.钼离子的加速电压为48 kV,剂量为3×1017cm-2,平均束流密度为25和47 ...
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刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 对靶非平衡磁控溅射系统由两个相对磁控溅射靶和一个磁镜场约束系统构成,通过调整电磁线圈的激励电流可以控制磁镜场的空间分布状态,测量了合成磁场的空间分布状态.采用平面探针方法,在两靶中间位置测量...
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14. 机械真空泵的维修刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 本文为<实用真空技术>一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对真空泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值.
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15. 第十一讲:真空材料刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要：
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16. MKS公司的沿革刊名： 真空发表期刊： 2002年5期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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