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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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121. 纳米晶结构NiOx薄膜Li+致色性能研究刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 采用中频孪生非半衡磁控溅射方法制备了纳米晶结构NiOx电致变色薄膜.原子力显微镜(AFM)、掠入射X射线衍射(GID)、X射线反射(XRR)分析薄膜结构、形貌及薄膜厚度;利用电化学设备、紫外...
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122. 基于复合靶制备Ti-DLC膜的结构和性能刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 利用非平衡磁控溅射技术,以Ti-C复合靶为溅射靶材,在Si基底上制备了钛掺杂的类金刚石(Ti-DLC)薄膜,并对薄膜的表而形貌、电阻率、硬度、摩擦系数、附着力等性能进行了研究.借助微观结构测...
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刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 铁电薄膜是一类重要的功能材料,是近年来高新技术研究的前沿和热点之一.金属有机化学气相沉积(MOCVD)是制备铁电薄膜的一种重要方法.综述了金属有机化学气相沉积法制备铁电薄膜的历史、原理、工艺...
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124. 光学塑料棱镜反射膜的镀制刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 由于光学塑料在耐热性、耐吸湿性和表面强度等方面的特性比光学玻璃差,所以在光学塑料棱镜表面上镀制金属反射膜存在着金属膜层和塑料棱镜表而附着性能差的问题,镀膜后的塑料棱镜不易达到使用的技术要求....
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125. 薄膜内杂质吸收热损伤机制的有限元分析刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 在介质薄膜中,薄膜中的嵌入杂质或缺陷是导致薄膜激光损伤的关键因素.为了理解球状杂质对薄膜热力学损伤的影响,以热传导方程为依据,采用有限元方法模拟了厚度为500nm的介质薄膜在激光辐射下的球状...
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刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 利用中频非平衡磁控溅射技术,以氩气和甲烷混合气体为工作气体,在载玻片和单品硅片上沉积含氢的类金刚石簿膜.改变加载在基体上的负偏压,在0～400 V范围内,制备5种偏压值下的薄膜,研究偏压对薄...
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127. 真空蒸发镀膜设备性能的改进刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡...
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128. 大型宽幅高真空连续卷绕镀膜设备的研制刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 本文详细介绍了ZZL-2200/2.5大型高真空连续卷绕镀膜设备的工作原理、结构组成、性能特点和创新设计要点及推广应用前景.分析并指出影响镀膜质量、生产效益的主要因素和解决途径.重点论述了双...
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129. 多唇边式真空吸盘的设计刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 传统的真空吸盘多用于吸附表面光滑的工件,对于表面质量较差的,如有明显的凸起、凹坑的工件将出现漏气现象.本文基于真空原理,针对表面状况差且质量较大的工件,成功的设计出一种多唇边式真空吸盘(申请...
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130. 两种CPC热管真空管集热器的性能比较刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 基于CPC型太阳能集热器的发展现状,介绍了肋片型、导热油犁两种CPC热管真宅管集热器的结构,并对集热器进行了传热分析,得出集热器的瞬时效率方程.结果表明,导热油型CPC热管真李管集热器的效率...
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131. 残余气体分析仪的远距离控制刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 本文介绍了MKS公司和INFICON公司的残余气体分析仪(RGA)的RS-232通讯电缆(与PC通讯)的接口引脚、功能以及从多芯简化为三芯的可行性.从而可以利用一对通用的RS-232/RS-...
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132. 会议消息刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要：
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133. 基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚.详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和...
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刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 本文基于串口通讯的原理,并以DF-110A型涡轮分子泵控制器为模型,介绍了使用CSerialPort类实现串口通讯的步骤,分析和讨论了计算机与单片机进行通讯的协议,且在VC++6.0的基础上...
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135. 单片机技术在脉冲磁过滤弧源中的应用刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 为了解决脉冲磁过滤弧源原有测控系统结构繁琐、抗电磁干扰能力较差等问题,开发了一种以AT89C55WD单片机为核心,以A/D变换、OCMJ8×15B液晶显示屏等器件为辅的硬件结构,并设计了相应...
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136. 机器人系统任溅射镀膜设备中的应用刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 现代工业的发展要求真空镀膜设备具有对复杂曲而零部件进行均匀镀膜的能力,要实现此类工件的镀膜要求,只有引进机器人技术才能达到.本文介绍了机器人系统在磁控溅射镀膜机中的应用,并对镀膜机器人应用条...
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137. 真空下皮革鞣制工艺的研究刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 介绍了皮革真空转鼓的结构、鞣制机理及其应用;通过正交试验分析了真空条件下皮革鞣制工艺,分别以收缩温度、皮内的Cr2O3含量、C2O3的吸收率为考察指标,讨论了各因素对不同指标的影响;将收缩温...
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138. 40Cr钢等离子软氮化的后氧化处理研究刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要： 为了进一步提高等离子软氮化后40Cr钢的耐蚀性能,对等离子软氮化的试样进行了后氧化处理.氧化处理是在保温式等离子热处理炉内不同比例的H2和O2气氛中进行,通过X射线衍射仪和恒电位仪对复合渗层...
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139. 第十六讲真空系统的操作与维护刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要：
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140. 信息刊名： 真空发表期刊： 2008年6期页码:摘要：
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141. 所长致辞刊名： 真空发表期刊： 2008年4期页码:摘要：
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142. 领导题词、贺信刊名： 真空发表期刊： 2008年4期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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