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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 磁控溅射靶面磁感应强度的水平分布直接关系到靶材的利用率和刻蚀的均匀性.为了寻求更好的磁控靶结构参数,从而实现靶而水平磁感应强度的均匀分布,作者应用ANSYS软件对SD500型磁控溅射镀膜机的...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 本文介绍了一种在PET材料上镀制Ni膜的磁控溅射镀膜设备的结构及特点,解决了PET材料无法在高温环境中镀膜的问题.具有操作方便、成本低、生产效率高、膜层质量好及膜层制备可重复性好等特点.在实...
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3. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 本工作开发了一种靶电压反馈自动控制系统,称为可编程控制器(PLC)级差法反馈控制系统,用于旋转圆柱金属Al靶真空反应溅射沉积Al2O3陶瓷薄膜.根据反应溅射Al2O3工艺特性设计反馈控制的数...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 金刚石虽然具有极为优异的性能,如具有很大的能隙,高的电子迁移率、空穴迁移率和高热导率,以及负的电子亲和势,但要将它用于半导体材料时还不能直接使用,必须要先进行金刚石的P型和n型掺杂.因此,研...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 采用孪生中频磁控溅射的方法在低温条件下制备了WS2薄膜,利用X-射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDX)、显微硬度仪、划痕仪和球盘式摩擦磨损试验机对薄膜的物相结构、微...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 用真空阴极过滤电弧(Filtered Cathode Vacuum Are,FCVA)法制备厚度分别为50 nm,30 nm,10 nm,5 nm,2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,利用托曼...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 以0.5%的稀盐酸中加入一定量醋酸后的溶液为腐蚀液,对利用直流磁控溅射方法制备的平面掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对加入醋酸后的AZO薄膜表面织构均匀性和反应机理进行研究.结果表明...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 用等离子体浸没离子注入(PⅢ)对聚酰亚胺(PⅠ)薄膜进行表面改性处理,研究在不同注入时间条件下聚酰亚胺薄膜表面电性能的转变,并通过X光电子能谱(XPS)分析其转变的机理.结果表明,经等离子体...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以PH3为掺杂剂,在浮法玻璃衬底和不锈钢衬底上制备了纳米级的n型微晶硅薄膜.采用Wvase32型椭圆偏振光谱仪、Reinishaw2...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 采用真空热蒸发法在不同的制备温度下,制备出了准阵列状和阵列状一维纳米ZnO结构.并利用X射线衍射、扫捕电子显微镜、场发射测试仪、光致发光谱对ZnO纳米材料的结晶质量、形貌及场发射性能进行了分...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 介绍了在危险气体成份分析系统校准装置上,开展四极质谱计工作参数对校准因子影响的实验研究工作.在实验中,每次改变四极质谱计的一个工作参数,如电子能量、离子能量、发射电流、分辨本领、扫描速度、收...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 利用四极质谱仪,通过实验分析了激光陀螺存储过程中释放的微量残余气体成分及其对激光陀螺光强的影响,进而分析了其对激光陀螺工作性能的影响;建立了激光陀螺吸气剂性能测试系统,通过实验测试了多种型号...
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16. 离子束刻蚀机的电源系统刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 离子束刻蚀机的性能,除主机外,在很大程度上取决于供电电源系统.为了提高离子束刻蚀机整机上作的稳定性,在以往的配套电源的基础上,研制了一套电源系统,用于离子束刻蚀机中.整机工作稳定度达±0.8...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的互连,系统集成度高,尺寸小.相比传统的单层互连方法,在相同...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 为了提高离子束电流和离子束能量,进一步增加霍尔离子源的效率,对霍尔离子源阳极进行磁屏蔽,达到优化磁场位形,增强磁场对放电等离子体的约束.由磁场的数值模拟结果可知:阳极磁屏蔽后,有明显凸向阳极...
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19. 罗茨真空泵试验方法的研究刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 罗茨泵的抽气速率和极限压力是泵的主要性能,但它在很大程度上要依赖于前级泵的型式和性能,因此它并不是罗茨泵本身特有的性能.能代表罗茨泵特征性能,而又与前级泵无关的是零流量压缩比、最大允许压差与...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 氦磁敏传感器是氦光泵磁力仪的核心部件.其中氦光源的制作工艺直接影响整机的性能.为此建立一套抽真空及精确充气的设备.其中,抽真空部分主要由机械泵、涡轮分子泵和离子泵组成.通过高精度微漏阀和薄膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 在连续化真李溅镀生产实践中,由于夏秋两个季节的环境湿度大,加之待镀工件和夹具携带的水蒸气,使得真窄腔体达到要求的高真空时间较长.这样既延缓了生产节拍,降低了设备产能,又加大了能源消耗.在不改...
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22. 环境模拟器低温泵测试系统设计刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 大口径低温泵测试系统可为环模设备低温泵提供完整的性能参数.本文介绍了一种大口径、大抽速低温泵的测试系统,对各分系统结构功能进行了详细描述.其使用流量法和流导法两种方法提供在1×10-6Pa至...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 介绍了真空/可控气氛共晶炉设备,叙述了炉体石英加热管密封的设计选型以及后来的改造过程,最后总结了真空密封的特点和基本要求.
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24. 第17讲薄膜与表面技术基础刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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