真空期刊
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真空

Vacuum
曾用名: 真空技术报导

CACSTPCD

影响因子 1.1128
本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来,由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会,并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增,在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来,被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉:
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊  工程技术类核心期刊 
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
110042
地址:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
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  • 作者: 庞甜甜 张东庆 王国栋 陈宗武 陈长琦
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  1-4
    摘要: 以硅片为基体,采用直流磁控溅射镀膜方法,制备了不同厚度的耐腐蚀的哈氏合金薄膜.采用SEM、XPS、显微硬度等方法,研究了室温条件下,不同溅射功率的哈氏合金薄膜的表面形貌、化学组成、膜厚以及硬...
  • 作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  4
    摘要:
  • 作者: 余云鹏 冯朗丹 庄素娜 林晓琪 梁家伟 毕焰枫 王江涌 韩逸山
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  5-9
    摘要: 随着射频辉光放电光谱仪在镀层和薄膜深度剖析中的应用逐渐深入,人们对其工作原理、设置参数对测试的影响也越来越关注.本文通过在不同气体工作压强和溅射功率下,对镍/银双层膜样品进行了辉光放电深度剖...
  • 作者: 吕少波 姜超 李明华 王瑞生 穆佳丽 胡雯雯 赵帅锋
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  10-13
    摘要: 以Nb2O5和SiO2为光学镀膜材料设计了可见光区双通带BP561nm&BP687nm超多层膜系干涉滤光片.采用直接光控和速率控制混合的膜厚监控方案,制造工艺采用OMS Simulator设...
  • 作者: 代强 刘静 孟政 汪洪
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  14-18
    摘要: 本文采用直流反应磁控溅射法,在不同氧气分压条件下制备了钛掺杂氧化钨薄膜,结合X射线衍射分析(XRD)、拉曼光谱(Raman)分析、扫描电子显微镜(SEM)表面形貌分析、电化学测试和太阳光波段...
  • 作者: 孙国威 张川 李云珂 陈泽昊 黄美东
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  19-22
    摘要: 以基底与溅射碳靶之间的距离(靶基距)为变量参数,采用杂化离子镀技术在高速钢、硅片以及不锈钢片表面制备TiCN薄膜.用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、维氏硬度计、XP-2台阶仪分别对薄膜的物相结...
  • 作者: 李国浩 杜广煜 杨林林 马瑾
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  23-25
    摘要: 目前国内太阳能光热技术行业急需具有外语交流能力的专业技术人员,本文分析了太阳能光热技术专业外语教学的现状和存在的问题,提出了相应的改革措施,以培养出掌握听、说、读、写、译等综合技能的现代型人...
  • 作者: 马安博
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  26-29
    摘要: 高功率脉冲磁控溅射技术(HIPIMS)是最新发展起来并受到广泛关注的一种高离化率物理气相沉积技术.本文首先从高功率脉冲磁控溅射技术原理与特点出发,然后简单介绍了高功率脉冲磁控溅射技术发展过程...
  • 作者: 王昆仑 辛艳青
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  30-33
    摘要: 室温下,利用脉冲偏压辅助射频磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了铟锡氧化物(ITO)薄膜.研究了当占空比为20%时,脉冲偏压大小对薄膜结构、形貌、光电特性的影响.实验结果表明:当偏压为40V时,...
  • 作者: 张志军 徐成海 谢元华 韩进
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  34-38
    摘要: 本文综述真空输送技术的原理、特点,真空输送技术与设备的应用现状,分析、探讨真空输送技术将来的发展趋势、前景.希望对真空行业的发展有所帮助.
  • 作者: 王国庆
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  39-41
    摘要: 对蒸馏过程的真空系统配置进行改造:将原配置的过细过长连接处过多的CS管路改为少连接多焊接及短而粗的SS管路,减少泄漏与防铁锈堵塞真空系统及压力反串时对产品的污染;对过滤器予以改进,以增强过滤...
  • 作者: 刘旸 刘欣宁 吴会营
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  42-44
    摘要: 多年来,在真空镀膜生产中,镀膜后工件表面污点的出现,造成废品率偏大的问题,一直是困扰该行业的一大难题.分析可能产生此问题各种原因,提出解决此问题的思路和方案,对真空室抽气系统结构进行优化设计...
  • 作者: 刘恩均 孙立志 孙立臣 张海峰 汪力
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  45-48
    摘要: 在研制中的空间站上,使用了一种高温截止阀,需要进行250℃条件下的氦质谱检漏,测试阀门内部处于正压、真空两种工况下的总漏率.该高温截止阀为满足空间站特殊使用要求,对检漏提出了严格要求,测试设...
  • 作者: 张晴 李楠 李阳
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  49-53
    摘要: 利用CFD软件对碳化硅合成炉内的温度场、压力场及速度场进行模拟,并建立传热-变形-应力耦合模型对电极通电过程的温度及应力进行分析.同时实验室通过自主设计的测温装置和集气装置对合成炉内炉芯附近...
  • 作者: 孙足来 明悦 苏宁 陈鼎 马海玲
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  54-57
    摘要: 研制了一种高纯金属铬真空脱气烧结炉,本文介绍了设备的技术性能及主要结构特点,对烧结工艺进行了分析,并指出设计、调试过程中应注意的问题,望能对实际生产提供一定指导意义.
  • 作者: 乔保振 乔木 王彦昌 王志远 王英武
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  58-62
    摘要: 降低电容器真空浸渍设备加热的用电成本,是每个电容器生产厂家的强烈愿望.利用"固体蓄热"设备,实现"移峰填谷",用纯"峰谷电"加热的真浸设备,可以大大节省用电费用;同时可以提高电网的发输电效率...
  • 作者: 张世伟 张志军 徐成海
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  63-66
    摘要: 本文主要探讨粮食真空干燥技术实施过程中所遇到的难题,包括粮食真空干燥理论、设备、工艺等方面的难题.希望能够引起粮食真空干燥技术工作者的关注、分析、解决有关问题,促使粮食真空干燥技术更快、更好...
  • 作者: 周进 张世强 李晓明 梅宏昆
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  67-70
    摘要: 以流体力学三大方程和气体状态方程为基础,建立了一维二阶非线性热声理论模型,并以该理论模型作为数学模型,采用有限元法中的加权余量法,通过编写MATLAB程序分别对行波型和驻波型热声发动机进行数...
  • 作者: 张以忱
    刊名: 真空
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  71-73
    摘要:

真空基本信息

刊名 真空 主编 陆国柱
曾用名 真空技术报导
主办单位 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所  主管单位 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1002-0322 CN 21-1174/TB
邮编 110042 电子邮箱 zkzk@chinajournal.net.cn
电话 024-24134406 网址 www.vacjour.cm
地址 辽宁省沈阳市万柳塘路2号

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