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单晶硅中过渡族金属镍对洁净区形成的影响
单晶硅中过渡族金属镍对洁净区形成的影响
作者:
吴冬冬
席珍强
杨德仁
钟尧
阙端麟
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅
镍
洁净区
摘要:
研究了过渡族金属镍在快速热处理作用下对直拉单晶硅中洁净区形成的影响.实验结果发现:硅中魔幻洁净区(MDZ)形成后,氧沉淀及其诱生缺陷能有效地吸杂金属镍;而沾污金属镍的硅中,随后的快速热处理工艺不能形成MDZ,硅片近表面出现大量沉淀.采用传统的内吸杂工艺,镍沾污的次序对洁净区的形成没有影响.实验表明由于硅片表面形成的镍硅化合物的晶格常数比硅小,所以在硅片近表面产生高浓度的空位,导致近表面的氧依然能够在MDZ工艺中形成沉淀.
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文献信息
篇名
单晶硅中过渡族金属镍对洁净区形成的影响
来源期刊
半导体学报
学科
工学
关键词
硅
镍
洁净区
年,卷(期)
2006,(4)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
623-626
页数
4页
分类号
TN304.1+2
字数
814字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0253-4177.2006.04.008
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
杨德仁
浙江大学硅材料国家重点实验室
180
1513
20.0
31.0
2
阙端麟
浙江大学硅材料国家重点实验室
72
612
13.0
20.0
3
席珍强
浙江大学硅材料国家重点实验室
22
539
13.0
22.0
4
吴冬冬
浙江大学硅材料国家重点实验室
4
23
2.0
4.0
5
钟尧
中国空间技术研究院北京控制工程研究所
2
7
1.0
2.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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二级参考文献
(0)
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参考文献
(12)
节点文献
引证文献
(0)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1977(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1990(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1991(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1997(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(6)
参考文献(6)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2004(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硅
镍
洁净区
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
主办单位:
中国电子学会和中国科学院半导体研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-4926
CN:
11-5781/TN
开本:
大16开
出版地:
北京912信箱
邮发代号:
2-184
创刊时间:
1980
语种:
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
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