基于MEMS的智能集成汽车传感器的研究

• 作者: 刘玉德 吕良 连美霞 邓中亮
• 来源期刊: 北京工商大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 汽车传感器 MEMS技术 智能传感器系统
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 4316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1513.2007.04.006

摘要

随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景. 本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面,综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术,研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题. 最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓中亮	北京邮电大学自动化学院	165	1541	20.0	31.0
2	刘玉德	北京工商大学机械自动化学院	94	624	14.0	21.0
3	吕良	北京邮电大学自动化学院	5	44	3.0	5.0
7	连美霞		1	4	1.0	1.0