基于平面并联机械手的MEMS器件封装系统

• 作者: 孙立宁 祝宇虹 纪军红
• 来源期刊: 哈尔滨工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 引线键合 卡尔曼滤波 参数估计
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 386-389
• 页数: 4页
• 分类号: TP273.4
• 字数: 3691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0367-6234.2007.03.013

摘要

针对微机电系统(MEMS)高精度,高速度和高灵活性的要求,开发了一种具有平面并联结构的机械手代替常用的X-Y平动平台,并引入机器视觉提高系统的灵活性.利用扩展卡尔曼滤波算法估计机械手各关节的初始角位置,从而间接地保证机械手在工作空间内的绝对定位精度.针对任何微机电系统器件,该封装系统本身还被用作测量手段,建立器件的几何模型,为封装离线编程奠定了基础,实现了系统的灵活性和封装效率之间较理想的平衡.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
2	祝宇虹	哈尔滨工业大学机器人研究所	27	345	11.0	18.0
3	纪军红	哈尔滨工业大学机器人研究所	12	95	6.0	9.0