基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究

• 作者: 刘世元 史铁林 尹作海
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 线阵电荷耦合器件 调焦调平传感器 步进重复投影光刻机
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 封装、测试与设备
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 字数: 1656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.01.019

摘要

介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理.介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度测量与整场调焦调平的算法模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学机械科学与工程学院	192	2245	25.0	38.0
2	刘世元	华中科技大学机械科学与工程学院	35	363	11.0	17.0
3	尹作海	华中科技大学机械科学与工程学院	1	10	1.0	1.0