硅片传输机器人的分析设计

• 作者: 马喜宝
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 机器人 自由度 运动学分析 动力学分析
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 15-20
• 分类号: TP271.2
• 字数: 4129字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.12.005

摘要

根据硅片传输机器人在IT行业的应用特点,针对R-θ二自由度结构的机器人进行了运动学和动力学的分析,根据分析结果,进行结构设计和运动原理的描述,对多自由度机器人设计和研发进行探索。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马喜宝		4	1	1.0	1.0