新型三明治结构铝诱导非晶硅薄膜低温晶化增强

• 作者: 李翔 贺海晏 韩高荣
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 铝诱导结晶 三明治结构 多晶硅薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 45-47
• 分类号: TN304|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2012.01.011

摘要

本文对比探索了新型Al/α -Si/Al三明治结构与传统的Al/α -Si双层结构对铝诱导非晶硅薄膜低温晶化结果的影响,结果表明在相同的制备及退火条件下,前者更利于形成高度晶化的多晶硅薄 .膜.本研究工作利用拉曼光谱、掠入射X射线衍射、光学显微镜、方块电阻等表征方法探讨了薄膜厚度比和退火温度对金属诱导非晶硅薄膜晶化的程度、晶体结构以及电学性能的影响,最终制备出了电阻率仅为2.5 Ω·cm的多晶硅薄膜.