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微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
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  • 31. 溶胶-凝胶旋涂法制备ITO薄膜
    作者： 张江 曲荣君 陈健 高善民
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年3期
    页码:  132-136
    摘要： 以InCl3和SnCl4·5H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法和旋转涂膜工艺,在普通玻璃基片上制备掺锡氧化铟(ITO)纳米透明导电薄膜.应用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对薄...
  • 32. T型微流控芯片中的液滴形成
    作者： 刘志鹏 徐进良
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年3期
    页码:  137-141,158
    摘要： 以水为分散相、硅油为连续相,对高度为30 μm、宽度800 μm的T型垂直交错结构微通道中油包水型液滴的形成进行了实验研究.通过改变分散相和连续相流量配比,生成了大小可控的nL级液滴.对流量...
  • 33. 一种结构新颖的地震动加速度计
    作者： 任勇峰 王晓丽
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年3期
    页码:  142-145
    摘要： 对比典型的差动电容结构,设计了一种新的折叠梁电容式MEMS低g(g=9.8 m/s2,当地重力加速度)值加速度计,指标为量程0～±2 g,横向灵敏度＜3%.利用有限元分析软件对模型进行了静态...
  • 34. 基于导线阵列的微电磁力驱动细胞运动的研究
    作者： 席文明 洪小雅 钟辉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年3期
    页码:  146-149
    摘要： 在硅片上制作多层交叉网格导线.当给导线通上适当电流并控制通电导线的电流方向,在相应的导线交叉网格区域会产生一个微电磁场,对磁场中的微磁粒子产生吸引力.如果把细胞和这些磁粒子结合在一起,就可以...
  • 35. 纳米压印技术专利分析
    作者： 卞志昕 吴春莹 杨莺歌 肖沪卫
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年3期
    页码:  150-154
    摘要： 在信息存储、生物传感器、亚波长光学器件等领域,纳米压印技术已成为价格相对较低、性能可靠、具有量产能力的制备技术.通过对纳米压印技术专利文献的定量和定性分析,从技术层面和竞争层面上把握纳米压印...
  • 36. 硬盘微晶玻璃基板的纳米金刚石抛光
    作者： 刘学璋 王柏春 翟海军 许向阳 谢圣中
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年3期
    页码:  155-158
    摘要： 应用经良好分散的纳米金刚石对硬盘微晶玻璃基板进行抛光,获得了亚纳米级表面(0.618 nm).分析了纳米金刚石抛光的行为,展望了纳米金刚石在超精密抛光领域的应用.
  • 37. 现代大面积电子学的系统考察
    作者： 王光伟
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年3期
    页码:  159-164
    摘要： 现代大面积电子学主要涵盖大面积显示、太阳能电池和图像传感器等.对大面积电子学从产品、材料、工艺和设计的角度,进行了系统考察;分析了大面积电子学的特征、现状和发展趋势,并主要对有源矩阵液晶显示...
  • 38. 小型化牵动下的硬盘技术(续)
    作者： 张邦维
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  165-169,174
    摘要：
  • 39. 基于量子细胞自动机的设计方法
    作者： WANG Sen 王森 苏发院 蔡理
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  170-174
    摘要： 简要介绍了量子细胞自动机这一新型纳电子器件,重点综述了量子细胞自动机系统的自顶向下和自底向上的两种设计方法,并比较了各自的优缺点,提出一种综合两种设计方法的设计思想.
  • 40. SET/CMOS混合器件研究
    作者： 史党院 蔡理 邵一丹
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  175-177,189
    摘要： 阐述了纳米线和纳米管电子器件的研究状况,对两种SET/CMOS基本混合器件的结构和应用以及仿真实现方法进行了论述.总结了SET/CMOS混合器件的特点.对纳米电子器件的发展进行了展望.
  • 41. 硬脂酸表面修饰TiO2的合成及表征
    作者： 宋秀芹 徐彬 阮北 霍莉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  178-181
    摘要： 采用溶胶-凝胶法制备了硬脂酸表面修饰的TiO2纳米微粒,且制得的纳米粒子能够有效地阻止粒子的长大和相互间的团聚,可稳定地分散在多种有机溶剂中,并利用红外谱图(FT-IR)、扫描量热(DSC)...
  • 42. 多孔硅薄膜微结构的分形特性
    作者： 周甫方 黄远明
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  182-185,194
    摘要： 用扫描电镜(SEM)对厚度不同的多孔硅膜的微结构进行了研究.对于23 μm厚的多孔硅膜,其横截面微结构好似海底生长的海藻;而对于6μm厚的多孔硅膜,其表面微结构则像龟壳上的裂纹.通过对在不同...
  • 43. AlGaN/GaN HEMT材料外延技术研究
    作者： 刘英斌 杨红伟
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  186-189
    摘要： 采用低压MOCVD技术在蓝宝石和SiC衬底上生长了本征GaN和AlGaN/GaN HEMT结构材料.生长过程中采用了EpiTUNE Ⅱ在位监测技术,对材料生长工艺进行了模型分析以及优化控制....
  • 44. CMOS硅风速传感器热性能的分析
    作者： 刘肃 郁红
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  190-194
    摘要： 给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型.针对恒温差和恒定功率两种控制方式,建立各自的一维传感器热学模型,并采用有限元分析工具ANSYS...
  • 45. 基于MEMS的一种微机械滤波器的分析
    作者： 唐炜斌 徐利梅 黄大贵
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  195-199
    摘要： 介绍了一种自由梁微机械滤波器的组成及工作原理,采用连续系统的方法来分析该微机械滤波器的谐振器,推导了其弯曲振动模态下的谐振频率公式--Euler-Bernoulli方程.然后根据MEMS材料...
  • 46. 业界快讯
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  199,217-218
    摘要：
  • 47. 角度定量化估算软光刻PDMS印章的平面变形扭曲
    作者： 蒋欢妹 贺全国
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  200-205,216
    摘要： 引进与平面图案变形扭曲大小相称的角度参数θ,提出了一种对软光刻技术中PDMS印章的角度平面扭曲进行定量评价的方法.聚二甲基硅氧烷(PDMS)平面印章的单个图案的平均扭曲角(绝对扭曲角θ1)和...
  • 48. 硅片研磨和研磨液作用的分析
    作者： 张伟
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  206-210
    摘要： 介绍了硅片的研磨过程和研磨液的作用,对国内主流研磨液进行了简单的介绍,分析了它们的优缺点.对研磨液中活性剂的机理进行了深入研究、解释了活性剂的分子结构对其性质的影响,提出只有从分子结构入手选...
  • 49. 铜互连电迁移失效的研究与进展
    作者： 刘彬 刘静 吴振宇 杨银堂 汪家友
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  211-216
    摘要： Cu/低k互连的电迁移失效与互连材料、工艺、结构和测试条件都有着密切的联系.论述了近年来铜互连电迁移可靠性的研究进展,讨论了电迁移的基本原理、失效现象及其相关机制和微效应以及主导失效的机制-...
  • 50. AXCELIS公司专题新闻
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  219
    摘要：
  • 51. 《微纳电子技术》征稿启事
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  220
    摘要：
  • 52. 中英文摘要的写作要求
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年4期
    页码:  221
    摘要：
  • 53. 高失配半导体薄膜材料的纳米异质外延新技术
    作者： 余本海 刘江锋 戴启润 陈长春
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年5期
    页码:  219-224
    摘要： 纳米异质外延技术是制备高失配半导体薄膜的一种纳米制作技术路线,随着超大规模集成电路纳米图样加工技术的进步,它将在制备无缺陷密度且单晶品质完美的高失配半导体薄膜材料中发挥巨大的作用.详细地综述...
  • 54. 纳米晶非挥发性存储器研究进展
    作者： 刘明 刘琦 李志刚 管伟华 胡媛 贾锐 龙世兵
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年5期
    页码:  225-230
    摘要： 介绍了纳米晶非挥发性存储器的发展状况和基本工作原理,比较了纳米晶非挥发性存储器所涉及到的各种不同的电荷输运机制,系统介绍了纳米晶非挥发性存储器在纳米晶材料设计、纳米晶晶体生长控制方法、隧穿/...
  • 55. 新一代nm级集成工艺仿真工具——SenTaurus Process
    作者： 于英霞 侯志刚 张宪敏 李惠军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年5期
    页码:  231-234,245
    摘要： 介绍了新思科技(Synopsys Inc.)最新推出的新一代nm级IC制程工艺设计工具--SenTaurus Process的基本功能及其仿真领域,详细阐述了SenTaurus Proces...
  • 56. Si基光子晶体的制备与器件应用
    作者： 尚勇 彭英才
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年5期
    页码:  235-240,253
    摘要： 光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料.本文简要介绍了Si基光子晶体的主要特点;着重介绍了Si基光子晶体的几种主要制备方法,如精细干式蚀刻法、胶质晶体模板法、宏观多孔Si...
  • 57. 溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的光电性能研究
    作者： 于忠玺 张江 曲荣君 陈健 高善民
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年5期
    页码:  241-245
    摘要： 采用溶胶-凝胶旋转涂膜工艺,在普通玻璃基片上制备了掺锡氧化铟(ITO)纳米透明导电薄膜.采用紫外-可见透射光谱和四探针技术,研究了不同Sn掺杂量、不同热处理温度和热处理时间以及不同涂层对薄膜...
  • 58. 碳纳米管轴向压缩行为的分子动力学模拟
    作者： 宋海洋 查新未
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年5期
    页码:  246-249,253
    摘要： 用分子动力学方法对轴向压缩下的单壁和双壁碳纳米管的屈曲行为进行了模拟研究.在分子动力学模拟中,采用Tersoff-Brenner势结合6～12形式的Lennard-Jones势描述碳原子之间...
  • 59. 射频溅射法生长ZnO薄膜的参数研究
    作者： 汪建华 王升高 耿茜
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年5期
    页码:  250-253
    摘要： 以ZnO陶瓷为溅射靶材,通入纯氩气,使用射频溅射法在玻璃基片上制备ZnO薄膜,研究了气体压强、基片温度、溅射功率等对薄膜性质的影响.通过XRD及原子力显微镜(AFM)等检测得出制备C轴(00...
  • 60. 振动式微型发电机的研究现状与发展趋势
    作者： 唐彬 温中泉 温志渝 董媛
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年5期
    页码:  254-258,263
    摘要： 微能源具有体积小,重量轻等特点,是军民两用高新技术发展的迫切需求,已成为近年来MEMS领域的一个重要发展方向.微能源主要分为微型电池和微型发电机两大类.本文着重介绍基于MEMS技术的微型发电...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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