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微纳电子技术2013年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域.综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 在肖特基势垒型的碳纳米管场效应管半经典模型中,通常采用WKB(Wentzel-Kramers-Brillouin)近似法求解透射系数,对所有经典转折点复杂的动量-位置关系进行积分,导致运算量...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 通过溶胶-凝胶法和低温煅烧法,成功制备了二氧化钌/石墨烯纳米复合材料,并用XPS、TEM和XRD检测了产物形貌、粒径及晶型.实验表明,在复合材料中,水合二氧化钌颗粒呈球形,粒径约为5 nm,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 以四水硫酸铈和硫酸钛为原料,十二烷基硫酸钠为表面活性剂,通过直接投料微波合成法制备了掺铈纳米二氧化钛,并用XRD、SEM对其进行了表征.结果表明,直接投料掺杂铈量为硫酸钛物质的量的0.8％时...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 通过建立LC谐振传感器的互感耦合系统的电路模型,给出了测试端输入阻抗的幅值、实部、虚部及相位与传感器谐振频率的关系,并用MATLAB软件进行了仿真分析.仿真结果表明,当传感器与检测线圈接近发...
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66. 基于纳米磁性液体的旋转式蠕动微泵刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 设计了一种基于纳米磁性液体的旋转式蠕动微泵.泵体由上、下基板和弹性薄膜组成,弹性薄膜位于上、下基板的中间位置.在上、下基板上分别加工出微型管道,上管道中的纳米磁性液体在磁场作用下压迫弹性薄膜...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 为了检测三磷酸腺苷(ATP)的浓度,通过Au-S键将巯基修饰的三磷酸腺苷的适体ssDNA自组装到薄膜金电极上,制备了一种可灵敏准确地检测ATP浓度的电流型适体传感器.首先研究了薄膜金电极的制...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 基于MEMS工艺设计并制作了一种小型化毫米波滤波器,该滤波器采用硅基双层SIW的结构形式.理论分析计算了滤波器的结构参数,并使用三维电磁场分析软件HFSS对该结构进行了模拟仿真.设计得到了中...
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69. 石英基声表面波谐振器的设计与制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 针对石英基声表面波双端谐振器,进行理论分析、结构设计和加工制作,最后完成谐振器样机性能测试分析.利用耦合模(COM)理论模拟谐振器的性能,建立叉指换能器(IDT)的COM方程,利用FEMSD...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 成功开发出了一种可用于纳米结构及器件制作的电子束与光学光刻的混合光刻工艺.通过两步光刻工艺,在栅结构层上采用大小图形数据分离的方法,使用光学光刻形成大尺寸栅引出电极结构,利用电子束直写形成纳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 综述了MEMS薄膜泊松比的测试方法,简述了测试薄膜泊松比的目的和意义.结合测试环境与测试手段详细地列举了几类常用的测试方法:拉伸法、纳米压痕法、鼓膜法、谐振法、弯曲法和扭转变形法,介绍了各种...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年6期页码:摘要： 基于SU-8和BPN紫外负性感光胶,结合微电镀工艺加工制作射频同轴传输线,以实现射频器件信号的传输与耦合.首先确定在阻抗匹配情况下同轴传输线特性阻抗为50 Ω的同轴传输线的具体尺寸,然后通过...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 基于Morlet连续小波理论和声表面波器件工作机理,提出了一种用声表面波器件实现Morlet连续小波器件的研究方案.该方案根据Morlet连续小波的包络函数对输入换能器进行加权,利用声表面波...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 利用各种金属纳米微粒在薄膜太阳电池表面产生的等离子光散射与光俘获效应,可以有效增加太阳电池对入射光子能量的吸收,由此达到提高太阳电池转换效率的目的.首先,介绍了发生在薄膜太阳电池表面的等离子...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在p型Si衬底上制备了不同膜厚的氧化锌中掺杂氧化铝(AZO)薄膜.测试了电阻率、结构性质、光透过率、单色光光子-电子转换效率(IPCE)和电池性能谱,研究了膜厚对电池光电转...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 使用金属有机气相沉积(MOCVD)设备在4英寸(1英寸=2.54 cm)半绝缘SiC衬底上进行了GaN HEMT结构材料的生长.GaN外延材料(002)和(102)面X射线摇摆曲线半高宽分别...
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78. MEMS热膜式微流量传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器.研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响.当热敏电阻间距为200 μm、工作...
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79. 无源压力传感器信号拾取系统刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 针对传感器在高温环境通过直接接触测量引起电引线失效的难题,采用非接触方式完成无源压力传感器信号拾取,研究并设计由电感与可变电容串联组成的环氧树脂基底传感器.采用信号发生器、示波器、阻抗分析仪...
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80. 石墨烯压力传感器的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 对几种石墨烯压力传感器的研究进展进行了综述,包括压力传感器结构、原理及其电学、力学与机械等性能的研究,并指出了各种石墨烯压力传感器的优缺点.从中可以发现,石墨烯压力传感器比硅压力传感器具有更...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 针对MEMS振动传感器批量化标定要求,建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统,可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定.首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 主要研究了65 nm碱性铜布线的平坦化工艺.对不同尺寸铜线条进行抛光,讨论了抛光压力、抛光液流量和转速对平坦化的影响.结果表明,压力是影响平坦化的主要因素；分别改变压力、流量或转速时,窄线条...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 在有机发光二极管(OLED)器件衬底上制备可传递三维立体微结构可有效消除波导、增加出光耦合,从而增加器件出光效率.纳米压印技术是制备立体微结构的主要方法之一.采用紫外纳米压印技术在OLED衬...
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84. LED应用产品的平均寿命评估方法刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要： 平均寿命是LED应用产品可靠性的重要参数之一,也是LED可靠性研究的重点,但LED的可靠性评测并非易事.针对LED应用产品可靠性评估的问题,对电子行业的可靠性概念进行了简要介绍.对LED应用...
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85. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年7期页码:摘要：
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86. 石墨烯纳米带场效应管结构优化刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 石墨烯纳米带场效应管(graphene nanoribbon field effect transistor,GNRFET)作为后硅基时代集成电路基础器件的有力竞争者受到广泛关注.以数字电路...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 报道了一种利用DNA网络为模板原位合成金纳米颗粒的方法.利用AuCl4-阴离子和DNA碱基间的配位作用,使AuCl4-结合到预先制备好的DNA网络模板上,然后还原AuC14-,在DNA模板上...
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88. 窄带FBAR带通滤波器设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 由薄膜体声波谐振器构成的滤波器,其带宽受压电材料机电耦合系数的影响,较难实现窄带滤波器设计.使用ADS射频仿真软件设计了一种通带为1.18～1.20 GHz的窄带薄膜体声波滤波器,分别通过比...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 综述了微电子机械系统(MEMS)薄膜塞贝克系数的测试结构.首先介绍了塞贝克效应在MEMS领域的广泛应用,简述了测试MEMS薄膜塞贝克系数的目的和意义.然后详细列举了四类典型的MEMS薄膜塞贝...
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90. 一种集成式硅MEMS振动陀螺仪刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年8期页码:摘要： 介绍了一种集成式硅MEMS振动陀螺仪.首先阐述了MEMS振动陀螺仪的工作原理；在此基础上,介绍了陀螺敏感结构形式:采用双端固定音叉结构,差分检测,实现对外界角速率的敏感,给出了结构设计和有限...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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