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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 详细介绍了国内第一台高真空连续卷绕海绵镀镍设备的电气控制系统及工业控制计算机和PLC在该系统中的应用.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 主要介绍了用国产FCM-II型膜厚控制仪进行多层光学膜的半自动化镀膜使用方法,并用此方法对非1/4λ的多层光学膜进行了速率控制镀膜,得出了比较满意的实验结果.并用此工艺方法做出了批量产品,满...
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93. 罗茨真空泵噪声机理探讨刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 在简要地介绍了罗茨泵工作原理的基础上,通过对罗茨泵主要零部件的分析,以及在使用不同轴承时产生噪声的原因进行了探讨.提出降低上述噪声的相应措施.同时对罗茨泵机体发热也作了简要的说明.
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94. 技术创新是企业生存发展的动力刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 提出了仪器设备生产企业市场营销面临的问题,对问题出现的各种原因进行了分析,探讨了解决问题的思路与方向.
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96. 油扩散泵的维修刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 本文为<实用真空技术>一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值.
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97. 第十三讲:真空系统的检测技术刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要：
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98. 先进表面工程技术发展前沿刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 先进表面工程技术是当代材料科技、真空科技与高科技的交叉领域和发展前沿,成为现代高新技术领域和先进制造业的重要前沿之一,在高性能防护涂层和功能薄膜方面应用广泛.本文综述了先进表面工程的发展趋势...
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99. 纳米TiO2薄膜的应用机理研究刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 纳米TiO2薄膜是近几年才发展起来的一种新型材料.本文介绍了TiO2的三种晶型和它们的物理参数及性质,并对纳米TiO2薄膜在光催化、光降解,新型太阳电池,玻璃的防雾防露和减反射膜等方面的应用...
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100. 溅射法低温生长纳米硅薄膜及异质结电池刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 用射频溅射法在P型硅衬底上生长了纳米硅薄膜,衬底温度控制在100℃左右,工作气体选用H2+Ar,氢气的分压控制在31%到73%,同时改变薄膜的沉积时间.用Raman、XRD、AFM、SEM ...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 研究了真空直流磁控溅射下分别充N2、Ar气体对铬版成膜性能的影响,对两种膜层光密度、厚度、表面微结构形貌以及成分进行测试分析,膜层成分分析表明这两种气体仅充当了工作气体;综合研究结果表明:在...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在离子注氮的高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜,主要研究离子注氮层对c-BN薄膜相结构和内应力的影响;采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析,包括傅立叶红外光谱(FT...
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103. 薄膜热阻微传感器技术刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 在工业生产中,人们对温度传感器超小型化的要求越来越迫切,而薄膜传感器的出现满足这一要求.薄膜温度传感器由于其优异的性能,在工业生产中越来越得到广泛应用.本文介绍了薄膜温度传感器的特点、种类、...
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104. PLC在ECR等离子源设备中的应用刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 简要地介绍了ECR等离子源设备的特点和测控要求,给出了以PLC为主实现设备控制的方法.系统的硬件由触摸屏(或上位机)、PLC控制器和信号调理电路部分构成;软件由二次开发的触摸屏运行的组态监控...
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105. 深高宽比微结构的干法刻蚀刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段.
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106. 辐射式衬底加热器及加热坩埚的研制刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 针对有机半导体材料的蒸发温度低的特点,设计并制作了低温辐射式加热器.通过对有机粉料的蒸发溅射时样片衬底的加热实验,取得了良好效果.其制作成本低,加热效率高, 同时又提高了设备功效,是一种多功...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔离子源的工作原理,并论述了端部霍尔离子源的离子能量、离子分布特性的测试方法;详细论述了电磁场和永久磁场两种模式下,端部霍尔离子源的工作稳定性、离...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 将三柱靶磁控溅射镀膜机应用于工艺品装饰镀生产中,开发多种镀膜工艺并进行了批量生产,实践证明:三柱靶磁控溅射镀膜技术结合特制的衬底漆和保护面漆涂装工艺,能够在工艺品上获得合格的装饰层.拓展该技...
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109. 影响Sn电介质绝缘薄膜结构特性的因素刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 用热蒸发法为MOTOROLA中国电子有限公司手持电话外壳表面沉积了具有一定金属光泽的Sn电介质绝缘薄膜,论述了在真空度参数一定时,薄膜沉积时间、蒸发输入电流,以及蒸发源的排列方式诸方面的因素...
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110. 大型真空太阳集热管镀膜设备与工艺刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 介绍新型太阳集热管镀膜机及工艺,使太阳集热器的结构得到简化,无水箱、降低了成本使太阳集热器的热效率得到提高;真空集热管α=0.92～0.93 ε=0.06～0.08.并实现太阳能与建筑一体化...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 阐述了6328(A)全反射介质膜的镀膜原理和实际镀膜工艺,分析了镀膜后必须进行固膜的原因,并给出了镀制6328全反射介质膜的蒸镀参数和经过固膜后的测量结果分析.
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112. 海绵镀膜卷绕系统的设计刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 海绵卷绕系统是真空法连续镀制泡沫镍成套设备的重要组成部分之一,本文主要介绍了海绵卷绕系统的设计及其特点.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 介绍了设备的结构、组成及工作过程,对新型矩形双平面磁控溅射阴极及有关的各阴极进行了分析、比较.
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114. 油扩散泵的维修刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 本文为<实用真空技术>一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值.
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115. 第十三讲:真空系统的检测技术刊名： 真空发表期刊： 2004年5期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2004年6期页码:摘要： 通过对我国真空设备行业制造的,在生产和应用中量大面广的水环泵、旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、扩散泵等泵种的产能和质量分析对比,给出我国目前主要真空获得设备量和质的基本状况以及面对国内外激烈的市场竞...
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117. 半绝缘多晶硅薄膜的钝化与性能研究刊名： 真空发表期刊： 2004年6期页码:摘要： 通过LPCVD的方法,在Si基体表面制备了掺氧半绝缘多晶硅薄膜(SIPOS),分析了钝化机理,讨论了不同流量比与沉积速率、含氧量的关系以及SIPOS膜的含氧量对膜系结构、电阻率、折射率的性能...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年6期页码:摘要： 研究了磁场热处理对Tb0.3Dy0.7Fe1.95多晶合金磁致伸缩性能的影响.将定向凝固得到的多晶合金,在真空条件下,加热到居里点附近不同温度,在加磁场下保温一定时间后冷却到室温,测量其磁致...
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119. 圆柱体工件高压气淬过程中的数值模拟刊名： 真空发表期刊： 2004年6期页码:摘要： 利用导热微分方程和单值性条件推导了轴对称短圆柱体温度分布的通用数学微分方程,可计算工件上任意点的温度和任意时间的温度分布;采用伽辽金(Galerkin)加权余量法推导了二维轴对称圆柱体瞬态温...
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120. 化学气相沉积反应研究的量子化学方法及应用刊名： 真空发表期刊： 2004年6期页码:摘要： 量子化学方法在研究化学气相沉积反应体系的反应机理、动力学计算方面有很大的潜力.本文分析了化学气相沉积过程的特点,并对量子化学计算的主要方法进行介绍.在此基础上,针对气相和表面基元过程的量子化...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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