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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 超高真空的获得与测量技术于1950年左右在加拿大和美国问世.今天,伴随着半导体设备、平板显示器、磁和光磁存储器设备等制造业的发展,每隔一个月就要求推出新型有效的生产体系.在这些表面设备的生产...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法.
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3. 涂层纳米功能材料刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 纳米材料复合涂层的结构和特性是纳米科技中的重要研究课题,本文重点讨论了制造技术的新观念,纳米材料的完美定律,涂层材料的发展前景,纳米场发射特性等.进而,讨论重要的物理理论研究的热点-电子强关...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 水环真空泵和水环压缩机是应用相当广泛的通用设备.由于各行业的发展,促使其向大型化、成套性和在较高真空下要求有较大抽气量的方向发展.因而必须进一步提高整机的可靠性和效率,并通过试验研究,提高带...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 评述现有国产扩散泵产品的进展情况,存在的不足之处,今后应努力改进的方向.讨论测量扩散泵返油率的几种方法,提出采用石英晶体振荡器测量扩散泵返油率的新建议.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 综述了近40多年来我国国防真空计量的发展概况及成就,内容包括真空(全压力)测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 由于等离子体在低温下具有高活性的特点,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术可显著降低薄膜沉积的温度范围.通常条件下,高质量碳纳米管的生长要求800℃以上的基片温度,若能使该温度降到40...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 分子束技术与表面电子谱、气体质谱分析技术相结合,形成分子束-表面散射谱,它是研究气体-表面相互作用动力学的有力工具.它的主要突破在于从分子(原子)量度来揭示诸如表面吸附、脱附、催化、腐蚀和能...
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9. 透明陶瓷保护膜的研究刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 对黄铜基材装饰件表面先采用高能级磁控溅射离子镀(专利号:85102600.1)技术镀不锈钢代替电镀钯-镍合金,再采用等离子体型阴极弧源-磁控溅射镀(专利号:ZL98236950.6)技术在不...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 多级冲击采样器各级切割器的加工精度对采样器每一级截止直径的影响不同,其中最后一级切割器加工精度的影响最大.本文以新型多级冲击采样器为例,通过理论计算解释了这一现象,给出衡量各级切割器尺寸变化...
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11. 低温温度计标定系统的研究刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 研制了一套适用的低温温度计标定系统,并用比较分度方法对铑铁温度计进行标定,其标定精度满足了中性束注入系统的技术诊断要求.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 应用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD)进行了一维纳米材料的制备.以Fe3O4纳米粒子为催化剂,采用不同的气源,在多孔硅基底上制备出了碳纳米管、掺硼碳纳米管以及异质结构...
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13. Si3N4薄膜的成分与结构研究刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 通过PECVD方法,在Si基体表面制备了Si3N4薄膜,给出了XRD、TEM、AES、DPS的分析结果,表明Si3N4是非晶态结构,薄膜的主要成分是Si3N4,SEM分析结果显示Si3N4薄...
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14. 磁控溅射原理的深入探讨刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 从更深层次--电子在非均匀电磁场中的运动规律,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因.对工件温升、临界磁场、脱缚电子的能量及原因、刻蚀跑道断面形状的成因等...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 以廉价的硫酸铝为原料,首次选取次醋酸铝为前驱体,用真空冷冻干燥法制备出平均粒径为10～20 nm的氧化铝纳米微粉.文中给出了前驱体制备及煅烧分解的反应原理;详细介绍了前驱体溶液的制备、冻干、...
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16. 常温生长类金刚石薄膜的实验研究刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)工艺在常温下实现在不锈钢、硅片、玻璃等基底上大面积沉积类金刚石(DLC)膜.薄膜表面光滑致密,与衬底的结合力较高.用Raman,FTIR,S...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 我国自行研制拥有完全自主知识产权的大型真空铝钎焊装备已完成了工业产业化推广.文章介绍了该装备的主要技术参数确定方法和依据.
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18. 真空定向凝固设备及控制技术刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 介绍了三种真空定向凝固设备的结构和技术参数的对比及控制方案.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 随着计算机技术的发展,蒙特卡罗方法(MC)成为研究稀薄气体流动问题的重要方法.本文着重介绍了试验粒子蒙特卡罗方法(TPMC)和直接模拟蒙特卡罗方法(DSMC).通过一些实际的算例(异形管路传...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 在油封机械泵排气过程中,悬浮在被排出气体中的油滴随气体一起被排出,形成了油封机械泵的"喷油"现象.对喷油污染的预防与治理,用户一向极为关注,本文介绍了电子油雾净化系统的技术原理及结构.
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21. 全自动称重真空自耗电弧炉研制刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 简述了国内外真空自耗电弧炉的现状以及最新技术,详细介绍了最新研制的真空自耗电弧炉的结构和特点,特别对电极称重、恒熔速、X-Y调节及全过程计算机控制系统作了重点介绍.
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22. 全自动溅射离子泵电源及其性能检测刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 介绍了一种全自动溅射离子泵电源.有关性能检测及技术应用都作了论述.对采用电子技术解决各种问题的关键要点也进行了评论,并得出几点结论.
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23. 提高罗茨泵最大零流量压缩比的探讨刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 探讨了影响罗茨泵的最大零流量压缩比的一些因素,介绍了提高罗茨泵最大零流量压缩比的措施.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 研制与生产目前国内最长(15 m)吸枪式氦检漏仪.在计算与实验研究的基础上设计与制造180°磁偏转分离型电子轰击离子源及逆流小孔分流型的AH-1型全自动吸枪式氦检漏仪的整体结构.在吸枪上配制...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 详细介绍了国内第一台高真空连续卷绕海绵镀镍设备的电气控制系统及工业控制计算机和PLC在该系统中的应用.
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 主要介绍了用国产FCM-II型膜厚控制仪进行多层光学膜的半自动化镀膜使用方法,并用此方法对非1/4λ的多层光学膜进行了速率控制镀膜,得出了比较满意的实验结果.并用此工艺方法做出了批量产品,满...
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刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 提出了仪器设备生产企业市场营销面临的问题,对问题出现的各种原因进行了分析,探讨了解决问题的思路与方向.
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28. 题词 贺信 同贺单位刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要：
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29. 四十不惑 永铭真诚刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要：
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30. 精益求精,创办一流刊物刊名： 真空发表期刊： 2004年4期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
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