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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 将电弧离子镀和中频非平衡磁控溅射工艺相结合制备了Ti1-xAlxN薄膜.利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损仪等分析检测仪器研究了不同Al含量Ti1-xAlxN薄...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 为提高磁控溅射薄膜的厚度均匀性,采用理论计算的方法分析了离轴溅射薄膜的厚度分布,结果表明最佳偏心距及对应的有效薄膜尺寸都与靶基距呈线性增大的关系.溅射原子的角分布、溅射环的宽度以及膜厚均匀性...
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3. 近紫外冷反射镜的镀制研究刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 为充分利用紫外光源系统中所需要的有用的紫外光,同时减少红外光照射,根据常用紫外光源的发光特性、能量曲线分析,通过真空镀膜技术,在玻璃基片表面镀制多层硬质光学薄膜,制备出了对中紫外光谱区域的反...
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4. 信息三则刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 利用中频反应磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上沉积ZrN薄膜.通过控制N/Ar、溅射功率和基体偏压等参数,得到不同实验条件的ZrN膜层.通过对膜层颜色测量和AES分析,研究N分压...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 阐述了光学薄膜的镀制原理、反射率推算,阐述了镀制全反射介质薄膜过程中光学厚度的测定方法-极值法测量的原理和所用光线的波长,阐述了得到高反射率的条件,给出了测量膜厚的实验系统装置,并叙述了镀制...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 本文介绍了中国科学院半导体研究所的双生长室超高真空化学气相淀积系统的工作原理、技术参数、结构、性能及特点.该系统具有双生长室、引入准分子激光和多态源等主要优点,是Ⅳ族半导体材料生长和研究的强...
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8. 高性能导电薄膜的制备刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了Cr-Cu-Al-Cr薄膜,用焊接法测试薄膜附着性能,用x射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和台阶仪对薄膜进行表征,研究溅射过程中以及在高温大气环境...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备掺硼非晶硅(a-Si∶H)薄膜,然后用脉冲快速光热退火(PRPTA) 法对其进行固相晶化.研究结果表明:掺硼a-Si∶H薄膜在550...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 采用中频磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验,对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的"迟滞回线"现象进行了研究.通过对实验现象的分析讨论,解释了薄膜沉积速率变化的原因.
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11. 滑阀真空泵的结构分析和节能探讨刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 本文分析了滑阀真空泵主要零部件的结构特点和发展趋势,对泵的各项能耗进行了详细的讨论,并对降低能耗的可能性作了深入的探讨.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 本文介绍了水蒸汽真空泵的工作原理及结构特点.阐述了真空度故障的特点,真空度故障的成因及规律.从理论和实践两方面讨论了影响真空度的因素.同时简要地介绍了目前我们的真空度故障诊断技术.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 本文主要介绍了锆吸气泵的原理,以及在真空靶室上应用锆吸气泵所获得的良好结果,为解决靶室静态真空保持问题提供新的思路和技术方法.
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14. 台式冻干机自动控制系统刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 介绍了单片机控制系统在以自动复叠冷冻干燥系统的应用.冷冻干燥系统采用集冷阱和干燥室成为一个整体的台式机,而自动复叠制冷系统采用回热器作为缓冲容器,调节冷量的旁通阀采用电子膨胀阀.以干燥阶段的...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 针对CVD金刚石膜生长手动控制的种种不便,在生长系统中引入了计算机控制,实现了用计算机控制生长金刚石膜的衬底温度.详细介绍了计算机控制系统的设计和实现方法.实际运行结果表明,该系统稳定性好、...
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16. 真空厕所终端控制系统的研究刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 真空厕所在国内属于新型的环保厕所,具有节水、臭气少、冲刷效果好等优点.针对真空厕所终端设备的控制进行研究,对其工作原理、总体结构、关键技术、面临的问题及其解决方法等作了详细的分析和阐述.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 栅极组件短路是造成离子火箭发动机失效的主要原因.本文分析了栅极组件短路的形成原因,利用电热烧蚀原理,消除栅极组件的短路.通过实验研究,获得了栅极组件短路消除的有效方法.应用实验结果表明,这种...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 本文简单介绍了MCGS组态软件在真空热处理炉控制系统设计中的应用以及利用MCGS组态软件制作真空热处理炉实时监控画面的过程.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 本文主要阐述TiO2光催化除乙烯的原理、装置、性能以及在果蔬保鲜中的应用效果.
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20. 大电流多枪等离子弧焊箱的研制刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 本文介绍了新研制的大电流多枪等离子焊箱的总体结构、研制中解决的主要技术难点和最终达到的工作性能.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 阐述了真空电弧等离子体特性诊断的重要意义,列举了常用的诊断方法及其工作原理,综述了近年来国内外关于真空电弧等离子体特性诊断方面的实验研究进展.
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22. 磁性陶瓷靶材的制备及其应用研究刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 薄膜制备过程中溅射靶材的利用率很低,导致薄膜材料制备成本很高.以自制的高纯度纳米晶镍钴锌/二氧化硅复合铁氧体粉体为原料,冷等静压后高温烧结制备得到铁氧体复合靶材.用XRD、EPMA和SEM分...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 总结了材料放气测试的各种方法:压力上升率法、收集法、称重法和气体流量法.开发了一种基于气体流量法的新法,不仅可以用于常温和较高温度,而且可以用于材料在低温环境下放气的测试,最低测试温度可以达...
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24. 第15讲真空工程封接技术刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要：
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25. 学术论文的评定与期刊等级的划分刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年3期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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