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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 采用孪生中频磁控溅射的方法在低温条件下制备了WS2薄膜,利用X-射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDX)、显微硬度仪、划痕仪和球盘式摩擦磨损试验机对薄膜的物相结构、微...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 用真空阴极过滤电弧(Filtered Cathode Vacuum Are,FCVA)法制备厚度分别为50 nm,30 nm,10 nm,5 nm,2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,利用托曼...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 以0.5%的稀盐酸中加入一定量醋酸后的溶液为腐蚀液,对利用直流磁控溅射方法制备的平面掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对加入醋酸后的AZO薄膜表面织构均匀性和反应机理进行研究.结果表明...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 用等离子体浸没离子注入(PⅢ)对聚酰亚胺(PⅠ)薄膜进行表面改性处理,研究在不同注入时间条件下聚酰亚胺薄膜表面电性能的转变,并通过X光电子能谱(XPS)分析其转变的机理.结果表明,经等离子体...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以PH3为掺杂剂,在浮法玻璃衬底和不锈钢衬底上制备了纳米级的n型微晶硅薄膜.采用Wvase32型椭圆偏振光谱仪、Reinishaw2...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 采用真空热蒸发法在不同的制备温度下,制备出了准阵列状和阵列状一维纳米ZnO结构.并利用X射线衍射、扫捕电子显微镜、场发射测试仪、光致发光谱对ZnO纳米材料的结晶质量、形貌及场发射性能进行了分...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 介绍了在危险气体成份分析系统校准装置上,开展四极质谱计工作参数对校准因子影响的实验研究工作.在实验中,每次改变四极质谱计的一个工作参数,如电子能量、离子能量、发射电流、分辨本领、扫描速度、收...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 利用四极质谱仪,通过实验分析了激光陀螺存储过程中释放的微量残余气体成分及其对激光陀螺光强的影响,进而分析了其对激光陀螺工作性能的影响;建立了激光陀螺吸气剂性能测试系统,通过实验测试了多种型号...
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40. 离子束刻蚀机的电源系统刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 离子束刻蚀机的性能,除主机外,在很大程度上取决于供电电源系统.为了提高离子束刻蚀机整机上作的稳定性,在以往的配套电源的基础上,研制了一套电源系统,用于离子束刻蚀机中.整机工作稳定度达±0.8...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的互连,系统集成度高,尺寸小.相比传统的单层互连方法,在相同...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 为了提高离子束电流和离子束能量,进一步增加霍尔离子源的效率,对霍尔离子源阳极进行磁屏蔽,达到优化磁场位形,增强磁场对放电等离子体的约束.由磁场的数值模拟结果可知:阳极磁屏蔽后,有明显凸向阳极...
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43. 罗茨真空泵试验方法的研究刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 罗茨泵的抽气速率和极限压力是泵的主要性能,但它在很大程度上要依赖于前级泵的型式和性能,因此它并不是罗茨泵本身特有的性能.能代表罗茨泵特征性能,而又与前级泵无关的是零流量压缩比、最大允许压差与...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 氦磁敏传感器是氦光泵磁力仪的核心部件.其中氦光源的制作工艺直接影响整机的性能.为此建立一套抽真空及精确充气的设备.其中,抽真空部分主要由机械泵、涡轮分子泵和离子泵组成.通过高精度微漏阀和薄膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 在连续化真李溅镀生产实践中,由于夏秋两个季节的环境湿度大,加之待镀工件和夹具携带的水蒸气,使得真窄腔体达到要求的高真空时间较长.这样既延缓了生产节拍,降低了设备产能,又加大了能源消耗.在不改...
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46. 环境模拟器低温泵测试系统设计刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 大口径低温泵测试系统可为环模设备低温泵提供完整的性能参数.本文介绍了一种大口径、大抽速低温泵的测试系统,对各分系统结构功能进行了详细描述.其使用流量法和流导法两种方法提供在1×10-6Pa至...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 介绍了真空/可控气氛共晶炉设备,叙述了炉体石英加热管密封的设计选型以及后来的改造过程,最后总结了真空密封的特点和基本要求.
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48. 第17讲薄膜与表面技术基础刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除接触电阻影响,具有较高的测试精度.由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 基于螺杆啮合原理,通过数学推导,得到单头等螺距梯形内凹型线的完整型线方程,包括齿面方程、端面截形以及轴向截形.给出了面积利用系数公式以及理论抽速公式,讨论了型线中各参数对干式螺杆真空泵的性能...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 以理论模型计算和实验样品测试相对比的方法,研究了两种不同芯材真空绝热板导热系数与板内真空度之间的关系,利用逆真空法对真空绝热板板内压力进行了测试.探讨了真空绝热板制作工艺参数,保持板内真空度...
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52. 飞机真空泵故障模式分析刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 现代通用航空领域活塞发动机驱动的干式真空泵主要用于给姿态仪、航向仪等机载气动仪表提供真空源.简要介绍了现代通用航空领域活塞发动机驱动的干式真空泵的结构特点和工作原理,收集、整理了某飞行学校机...
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53. 真空烧结炉温度模糊控制系统仿真刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 针对粉末冶金真空烧结炉时变性、大滞后、非线性的特点,采用PID控制效果不理想,选用了模糊控制算法.建立了PID控制和模糊控制仿真模型,进行了对比,结果表明,采用模糊控制后,系统响应速度很快,...
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54. 质谱计离子源静电透镜的模拟计算刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 本文针对某质谱计离子源的设计,建立了离子源静电场数学模型,采用有限差分法对其场域进行离散,半迭代切比雪夫松弛法求解各节点的电位,拉格朗日插值法计算空间任意点的电位和电场,四阶龙格-库塔法计算...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 本文采用发射光谱法诊断了低气压下氩气(Ar)、硅烷(SiH4)及乙烯(C2H4)混合气体(SiH4/C2H4/Ar)脉冲调制射频放电等离子体特性,利用了Ar发射光谱中的五条谱线通过Boltz...
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56. 真空比对法校准装置的研究刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 真空比对法校准装置采用了动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法,在一台装置上复合了三种方法,满足了拓宽量程的需求.该装置可以1×105-5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,是一...
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57. CHN薄膜化学结构和成分分析刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 采用外置式电容耦合低压等离子化学气相沉积法制备非晶CHN薄膜.X射线光电子能谱仪分析表明薄膜表面C、N和O的相对含量比,同时随着N2/CH4比例增大,薄膜中N元素的含量逐渐增加;并且对薄膜中...
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58. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 目前液压杆件基本上采用电沉积的方法在基体表面沉积一层Cr膜,以此来满足其耐热、耐磨和抗腐蚀要求,但电沉积Cr不但浪费能源而且对环境和人体健康有着极大的伤害.本文利用非平衡磁控溅射的方法在45...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年3期页码:摘要： 场致发射是一种新型显示技术,具有良好应用前景,场发射显示器的核心内容是场发射阴极材料,纳米金刚石由于低表面粗糙度、低场发射强度、高发射电流密度、大比表面积、网状结构以及高密度悬挂键等优秀电化...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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