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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 传统的真空设计中,对于真空室设计,为了节约加工成本,采用易加工简单的真空室,对抽真空系统设计,经常选用极限真空较高的机械泵、罗茨泵、扩散泵组合系统,但当前从节能减排的低碳要求出发,往往是不合...
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2. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 为提高上海天文台的主动型氢原子钟真空维持系统——240 L/s钛溅射离子泵3～4年就可能出现的可靠性问题,研制了非蒸散型吸气剂泵和2 L/s小离子泵组成的复合泵.描述了复合泵的实验过程,吸气...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 本文重点介绍了作者在实际应用过程中设计的两种真空正压转轴密封结构、性能及特点.利用胶芯弹性盘根作为密封材料设计的新型填料转轴密封结构,在1.3×10-4 Pa～2.5 MPa较宽的压力范围内...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 真空、常压与气体保护电渣熔炼都是用来提高钢材及合金质量的冶金技术,叁者的冶金特性有相似之处,也有不同的地方.本文通过分析对比,找出每种方法的利弊,供冶金工作者选用.
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6. 大型卧式真空退火炉的研制刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 该大型卧式真空退火炉是用于钛、锆等稀有金属管材退火的设备,退火工件最长尺寸为16 m,是国内长度和容量最大的真空退火炉.本文着重介绍了该炉的技术性能、主要机构的设计、动作原理及其结构特点等.
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 分析了RH真空脱碳原理和产生喷溅的主要原因,结合生产实践,通过改变预抽模式,合理控制真空度,优化提升气体模式和吹氧操作,有效地控制了真空脱碳过程的喷溅,并产生了明显的经济效益.
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)因其高离化率而得到广泛关注,是目前的热点研究方向,为此我们搭建了试验平台并对HPPMS的放电特性进行了研究.结果表明:脉冲峰值电流随脉冲电压的增加而增加,随着...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 锂蒸发镀膜壁处理技术为EAST核聚变装置内真空室提供了良好的壁条件,促进了高参数等离子体的获得——首次H-Mode、100s长脉冲和1MA高电流等离子体,发展为常规而又关键的壁处理方式.本文...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 摘要:针对低方阻、高透光度透明导电膜的要求,利用薄膜光学干涉原理,设计了ITO+Si02复合型的透明导电膜；研究了基底温度、沉积速率、充氧量等工艺参数对ITO膜的影响；利用优化的工艺参数成功...
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11. 非晶硅薄膜晶化过程的研究刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 多晶硅薄膜具有较高的电迁移率和稳定的光电性能,是制备微电子器件、薄膜晶体管、大面积平板液晶显示的优质材料.多晶硅薄膜被公认为是制备高效、低耗、最理想的薄膜太阳能电池的材料.因此,如何制备多晶...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 采用磁控溅射在硅晶基体上制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜,研究了溅射功率对溅射(沉积)速率和微观形貌的影响规律:随着溅射功率由80W增大到150W,薄膜的沉积速率增大；薄膜却由整齐均匀分布的小...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 采用射频等离子增强化学气相沉积法( PECVD)制备掺氮类金刚石薄膜(DLC:N),通过原子力显微镜,拉曼光谱和椭圆偏振光谱等对试验样品进行研究,实验结果表明,在薄膜中,氮元素主要以C=N键...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 利用脉冲激光沉积法在不同电阻率的n型Si(100)基片上沉积Cu2ZnSnS4薄膜,制备p-Cu2ZnSnS4/n-Si异质结.利用X射线衍射(XRD)、X射线能谱(EDS)和原子力显微镜(...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 分析了EI-5Z型电子束镀膜机膜厚控制的特点.借助试验结果和理论研究,重新设计了更具实用性的调整板,得到了更好的薄膜性能:基片内偏差在±3％范围内,同一批次基片之间偏差在±5％范围内.满足了...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 由于具有高的绝缘性和热力学稳定性,近年来氧化铒( Er2O3)作为一种新型的阻氚渗透涂层材料受到极大的研究重视.本文采用化学溶液法在316L不锈钢基体上制备了Er2O3阻氚涂层,研究了前躯体...
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17. 射频等离子体中尘埃空洞演化研究刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气.在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞.通过观察尘埃云体积的变化及尘埃空洞随时间的周期振荡现象,分析尘埃空洞的基...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 本文以北京天瑞星公司生产的大型TX 1800商用磁控溅射镀膜机为例,简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却在此基础上,提出了一种全新的思路...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 针对L200+型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析,并提出了处理各种故障的方法和建议.总结了检漏仪在...
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20. 泄漏检测技术不确定度评价方法浅探刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 氦质谱检漏是目前比较广泛采用的一种泄漏检测方法,一般采用比对定量的方法给出检漏结果.本文分析了氦质谱检漏的影响因素,从建立数学模型角度分析漏率测量的不确定度,并给出采用氦罩法进行真空泄漏检测...
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 摘要:本文介绍了真空技术在固体火箭发动机推进剂原材料准备、燃烧室绝热、推进剂药柱浇注成型、发动机总装检测中的应用,真空技术在提高固体火箭发动机制造质量方面发挥了积极作用.
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刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 设计了载乙醇活性炭真空微波解吸的试验流程,采用近似法测定了载乙醇活性炭真空微波解吸的出口浓度曲线.阐述了在真空条件下微波解吸负载有水和乙醇这类低沸点化合物的活性炭的机理,对真空微波解吸的分离...
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23. 第十七讲薄膜与表面技术基础刊名： 真空发表期刊： 2012年5期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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