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真空科学与技术学报2015年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 采用直流磁控溅射方法制备了钼/铜叠层结构电极,其电阻率达到2.28 μΩ·cm,显著低于铝钕合金的电阻率;金属钼作为缓冲层,提高了铜电极在玻璃上的附着力;钼作为阻挡层有效地阻挡了铜向非晶硅中...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 采用密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法探讨了La掺杂对SnO2光学特性的影响,并通过实验进行验证.理论分析表明,由于La的掺入,费米能级上移进入导带,禁带宽度变小,介电函数虚部与吸收...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 通过RF磁控溅射在不同溅射气压环境中,在石英衬底上制备得到Li-W共掺杂ZnO薄膜(LWZO).对样品进行X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透过率以及电阻率的测试.结果表明:适当溅射...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 利用在直流反应磁控溅射(DMS)技术基础上改进的能量过滤磁控溅射(EFMS)技术制备了ITO薄膜,并将其应用于顶发射有机电致发光器件(TOLED)的阳极.利用X射线衍射、原子力显微镜、椭圆偏...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 采用脉冲激光沉积法在SiO2衬底上制备了CuGa0.8Ge0.2Se2薄膜.采用X射线衍射和X射线能谱仪研究了退火温度对薄膜晶体结构和成分的影响,利用扫描电子显微镜表征了薄膜的表面形貌,采用...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： TiO2具有光催化活性,因而被广泛应用于废水处理、空气净化、尾气处理等领域.研究表明,经掺杂的TiO2薄膜具有更优异的光催化活性.在众多的可掺杂元素中,N和Ag具有独特的性能特征,因此其可使...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 采用脉冲激光沉积法,在单侧抛光的STO基底上制备YSZ/STO/YSZ超晶格薄膜.利用X射线衍射、扫描电镜和射频阻抗/材料分析仪对多层膜的物相结构、表面形貌以及电学特性等进行表征.实验结果发...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 针对传统基于连续流假设的N-S方程无法准确描述约束环内稀薄气体问题,采取二次优化策略,确定了CFD-ACE+中基于努森数的粘度修正公式参数a、b的最优值分别为0.12和1.40.对约束环内气...
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9. 行星周转镀膜装置设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置.该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 蒸汽喷射泵的操作工况在偏离设计值时,喷射性能会严重恶化.本文借助连续介质力学数值模拟工具-STAR-CCM+,对三喷嘴蒸汽喷射泵内部流场进行了三维数值模拟.分析了操作参数(背压、工作蒸汽压力...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 针对特殊内部结构的容器,常规容积测量方法无法简便有效地实现测定,为此本研究设计了一套新颖的容积标定装置,提出了两种快速标定方法.这两种标定方法是在真空条件下获取容器内压力变化△p和抽取气体累...
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12. 基于真空吸附的微器件受力分析研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 微装配的对象主要是微米级或亚毫米级尺寸的微器件,这些微器件的轻、小、薄、软的特征对微夹持器的夹持方式和夹持力的控制提出了非常严格的要求和限制.本文针对平板类微器件设计了一种真空吸附式微夹持系...
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13. 聚四氟乙烯密封圈密封性能研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 试验研究了聚四氟乙烯密封圈压缩量、检漏时间等因素对密封性能的影响;利用数值模拟方法研究了氦气在聚四氟乙烯密封圈中的渗透过程及密封圈尺寸对该过程的影响;分析探讨了含氦渗透率较高材料容器的检漏问...
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14. 考虑热传递的真空容腔压力响应研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 针对气动真空系统中容腔的压力响应,以往的经验方法没有研究温度变化带来的影响.而在真空发生器回路的容腔抽吸过程中,容腔内空气温度的变化会对压力响应曲线产生影响.本文围绕真空发生器回路和具有一定...
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15. 一种用于热阴极的高可靠热子刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星通信、电子加速器等方面,热子又是微波真空电子器件中最为核心的部件之一,其性能好坏将直接影响微波源的可靠性和寿命.为了克服传统热子制备工艺的缺点,避免螺旋腿...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 采用两步法配制了Co-H2O纳米流体,针对不同粒径、不同质量分数、不同pH值的纳米流体,与去离子水一起同步测试了其光热转换特性.实验结果表明:纳米流体的温升速率及集热量明显优于去离子水的.纳...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响.与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性.本文...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 对薄膜晶体管(TFT)像素区域的非晶Si(a-Si)进行刻蚀是TFT-LCD行业的主要工艺之一,通常在电容耦合射频真空放电设备中采用Cl2和SF6作为刻蚀反应气体实现.为了保证刻蚀速率并节省...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 黑硅的纳米结构可以大大降低硅表面的入射光反射率,同时由于比表面积的增加使其钝化成为难题,从而影响其太阳电池的性能.等离子体增强原子层沉积(PEALD)法沉积的Al2O3钝化层具有良好的保型性...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 以聚苯乙烯为固态碳源,抛光铜箔为衬底,通过改变固态碳源的温度探索了固态碳源温度对双温区化学气相沉积法生长石墨烯的影响.样品采用拉曼散射光谱、紫外-可见分光光度计和扫描电子显微镜进行了表征.结...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 采用真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面沉积同等厚度的三种不同调制周期Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多层膜.用扫描电镜、显微硬度计、结合力划痕仪和砂粒冲刷试验仪分析测试了多层膜的厚...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年1期页码:摘要： 为确保电脑等电器设备稳定运行,热设计是一项很重要的工作.不同海拔高度空气的密度、压力等性能下降很多,空气这些性能的改变对电脑温度场影响很大.为了能够准确的计算分析不同海拔高度地区电脑机箱温度...
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23. 真空锅炉现状和发展趋势的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 真空锅炉由于其安全可靠、效率高、热媒温度灵活可变等优点目前在暖通空调和锅炉研究领域饱受青睐.然而基于真空锅炉换热机理、结构性能优化的研究甚少.本文从增强换热稳定性、强化凝结换热、提高能量利用...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 为了实现高温超导(HTS)磁浮车的无接触的制动,本文提出一种基于振动耗能的电磁制动方法.在永磁轨道与磁浮车的悬浮气隙中增加一层固定在车体上的电磁线圈,以线圈通电的方式改变磁场分布而得到在轨道...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 大门法兰是某直径17 m超大真空容器的关键部件,其刚度特性直接影响到真空容器的密封效果及稳定性.针对超大真空容器传统形式法兰加工制造困难、消耗材料较多、结构刚度较差等问题,提出了一种新型的法...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 对真空绝热板(VIP)热桥效应进行了数值分析,引入了边缘线性传热率的概念作为衡量热桥效应大小的基准量,基于稳态传热边界条件建立热流传递模型,对各影响因素进行分析和计算.研究结果表明,主要影响...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 根据二次电子发射的物理特性和过程,以θ角射入原子序数为Z的金属的每个原电子发射的二次电子数(δPEθZ)、原电子的入射能量(Wp0)、cosθ和参数y(θ,Z)之间的关系被推导出来了.根究实...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 为了提升碳纳米管(CNT)阴极电离规的综合性能和实用性,本文利用离子光学模拟软件SIMION3D 8.0和CAD建模软件构建了CNT阴极电离规的物理模型,且通过模拟计算得到不同电极结构参数对...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 采用数值模拟方法研究了真空背压下多截面细径管的气体流动问题,并结合理论和实验结果对管内气体流动特性进行了分析.研究结果表明:在初始时间段,容器压力下降较快,细径管内气体处于流动壅塞状态,壅塞...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年2期页码:摘要： 采用热丝化学气相沉积法制备金刚石涂层微细刀具的过程中,刀具表面温度场分布的均匀性与稳定性对金刚石涂层的质量具有决定性的作用.本文采用有限容积法,对微细刀具表面沉积金刚石涂层过程中的温度场分布...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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