C-V技术及其在半导体工艺检测上的应用

• 作者: 何德湛
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: C-V 半导体工艺检测 应用
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 器件研究与制造
• 页码范围: 29-31,33
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 3339字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.03.008

摘要

介绍了C-V测量技术特点及其在半导体工艺检测上的应用,这对提高工艺质量及产品的可靠性起着重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何德湛		2	5	1.0	2.0