原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究

• 作者: 周大勇 孔云川 封松林 澜清 牛智川 苗振华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子束外延 原子力显微镜 台阶积累 量子点
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 148-152
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3424字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.02.008

摘要

研究了分子束外延中引入原子氢后,原子氢对外延层表面形貌特征形成的诱导作用.原子力显微镜(AFM)测试表明,在(311)A GaAs表面,原子氢导致了台阶状形貌的形成,在这种台阶状表面进一步生长了InAs量子点,测试结果表明其位置分布的有序化受到台阶高度和台阶周期的制约.这为实现量子点结构的有序化控制生长提供了一定的实验参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	封松林	中国科学院半导体研究所超晶格和微结构国家重点实验室	44	296	8.0	16.0
2	牛智川		45	124	5.0	8.0
5	苗振华	中国科学院半导体研究所超晶格和微结构国家重点实验室	5	2	1.0	1.0
6	周大勇	中国科学院半导体研究所超晶格和微结构国家重点实验室	8	79	5.0	8.0
7	澜清	中国科学院半导体研究所超晶格和微结构国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
8	孔云川	中国科学院半导体研究所超晶格和微结构国家重点实验室	1	0	0.0	0.0