InGaAlP外延片的微分析

• 作者: 曹永明 曾伟 李越生 樊华
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子显微镜 二次离子质谱 发光二极管 外延片
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 封装测试技术
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.82
• 字数: 1727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.12.011

摘要

介绍了电子显微镜和二次离子质谱仪(SIMS)两种当前主要的微分析工具在四元InGaAlP发光二极管(LED)外延片分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用领域,指出两者有机的结合可以得到比较全面的分析结果,为工艺监控和工艺改进提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李越生	复旦大学材料科学系国家微分析中心	26	166	6.0	12.0
2	曹永明	复旦大学材料科学系国家微分析中心	14	64	4.0	7.0
3	樊华	复旦大学材料科学系国家微分析中心	8	53	4.0	7.0
4	曾伟	复旦大学材料科学系国家微分析中心	1	1	1.0	1.0