我国电子信息重大装备技术进步思考

• 作者: 李国红 郎鹏 高志芳
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 信息装备 IC LCD
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 9-11,36
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 4759字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2009.01.004

摘要

在振兴我国装备制造业大背景下,从大规模集成电路、平板显示器关键工艺装备等方面出发,对我国电子信息重大工艺装备研究技术现状、发展需求和制约行业技术发展的原因进行了概括分析,对我国在这一领域实现技术跨越、赶超世界先进水平所面临的困难进行了思考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郎鹏		6	98	4.0	6.0
2	李国红		2	8	1.0	2.0
3	高志芳		1	8	1.0	1.0