电离式碳纳米管气体湿度传感器

• 作者: 回兵 张亚非 徐东 王雨化 陈长鑫
• 来源期刊: 固体电子学研究与进展
• 学科: 工学
• 关键词: 气体湿度传感器 多壁碳纳米管 极化
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳米技术
• 页码范围: 64-67
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2662字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3819.2012.01.014

摘要

研究了一种新颖的碳纳米管气态离化结构的碳纳米管气体湿度传感器.该传感器具有一对或多对叉指状侧壁电极结构,电极上覆盖一层多壁碳纳米管薄膜,其利用碳纳米管高长径比的尖端电场收敛作用增大局部电场,有效地增强了传感器对气体湿度的敏感性.通过搭建的气体湿度测试平台,对传感器的静态和动态气体湿度特性进行了研究,结果显示传感器对60％以上相对气体湿度表现出了较强的灵敏度.与吸附式等传统气体湿度传感器对比,该气体湿度传感器具有较快的响应速度(约为0.15 s)和回复速度(约为0.6 s),较传统湿度传感器高了一个数量级,能够用于实时并且快速的气体湿度参量标定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐东	上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	23	187	6.0	13.0
2	张亚非	上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	46	182	8.0	12.0
3	陈长鑫	上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	5	21	2.0	4.0
4	王雨化	上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0
5	回兵	上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0