一种微型Pt温度传感器及其读出电路的研究

• 作者: 傅兴华 刘泽文 吴次南 张普 王俊强
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 聚合酶链式反应(PCR)芯片 Pt温度传感器 电阻温度系数 读出电路
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 电路与组件
• 页码范围: 464-469
• 分类号: TP212
• 字数: 3077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.06.012

摘要

基于电阻温度系数(TCR)原理及微机电系统技术,设计并制作了一种用于微型聚合酶链式反应(PCR)芯片的Pt温度传感器及其读出电路.利用溅射和剥离技术将厚度为100 nm的弯曲条形Pt传感器制作在硅衬底上.其长度和宽度分别为2 030 μm和10 μm.设计了基于四线法温度测量的读出电路,该电路主要包括一个恒流源电路和一个电压放大电路.测试结果表明,该传感器的电阻温度系数为1.48×10-3℃-1,其电阻变化随着温度的变化具有良好的线性度,当温度在27～100℃变化时,电阻范围在653.5 ～716.5Ω变化.在接出一个8位的模数转换器以后,整个传感器和读出电路能确保一个精度为0.2℃的温度控制,满足一般PCR测量需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴次南	贵州大学理学院	43	115	7.0	8.0
2	傅兴华	贵州大学理学院	57	181	8.0	9.0
3	张普	贵州大学理学院	2	10	2.0	2.0
4	王俊强	贵州大学理学院	2	10	2.0	2.0
5	刘泽文	清华大学微电子学研究所	50	169	7.0	10.0