等离子喷涂制备Al2O3块体材料的介电性能

• 作者: 李元生 杨中元 赵丹 金谋平 陈彦青
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子喷涂 孔隙率 介电常数 介电损耗
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 114-117
• 分类号: TN304
• 字数: 1850字
• 语种: 中文

摘要

将两种纯度较高的Al2O3粉末采用等离子喷涂工艺制备成块体,其孔隙率分别达到11.2%和11.6%.用等离子喷涂工艺制备的Al2O3块体在7 GHz~18 GHz下的介电常数εr分别是7.2和7.1,介电损耗tanδ分别是3.5×10-3和1.0×10-3.用这种工艺制备的Al2O3块体的介电常数比常规压制烧结工艺制备的低,但是介电损耗大,这主要与等离子喷涂工艺所制备样品的孔隙率和微结构等有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵丹		17	32	3.0	4.0
2	杨中元		18	103	7.0	9.0
3	金谋平		24	138	6.0	11.0
4	李元生		10	29	3.0	5.0
5	陈彦青		3	10	2.0	3.0