超声雾化热解法制备ATO薄膜及其性能研究

• 作者: 张廷晟 徐游 曾国勋 李风 田柱 邓小红
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超声雾化 氧化锡锑(ATO) Sb掺杂 方块电阻 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 半导体材料
• 页码范围: 618-622
• 分类号: TN304.21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2013.08.013

摘要

采用超声雾化热解法在石英基底上制备了掺锑二氧化锡透明导电薄膜.采用X射线衍射检测薄膜的晶体结构,扫描电子显微镜观察薄膜的表面形貌,研究了不同基底温度和Sb掺杂量下薄膜的晶体优势生长面、晶粒形状的变化、可见光透过率和方块电阻.结果表明,薄膜的晶粒度在80 ～ 200 nm.当Sb摩尔比为1％、基底温度为540℃时,薄膜的方块电阻最小,约为16.91 Ω/口.随着镀膜温度的上升,薄膜的优势生长面从(110)面逐渐向(211)面转移.当Sb掺杂比为1％时,薄膜的可见光透过率最高,当掺杂浓度增大后,薄膜的透过率出现下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李风	广东工业大学材料与能源学院	80	427	10.0	16.0
2	曾国勋	广东工业大学材料与能源学院	50	257	8.0	13.0
3	张廷晟	广东工业大学材料与能源学院	3	10	2.0	3.0
4	邓小红	广东工业大学材料与能源学院	3	12	2.0	3.0
5	徐游	广东工业大学材料与能源学院	3	13	2.0	3.0
6	田柱	广东工业大学材料与能源学院	2	11	2.0	2.0