多晶硅铸锭炉隔热屏的优化及数值模拟

• 作者: 庞江瑞 权龙 韩栋梁 黄家海
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 隔热屏 ANSYS 温度梯度 数值模拟
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 554-558
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2014.07.014

摘要

为了降低多晶硅铸锭生产过程中的能耗损失,提高铸锭炉热场使用寿命,对某450型多晶硅铸锭炉热场隔热屏结构进行优化,设计了金属钼屏和非金属石墨碳毡复合隔热屏.通过有限元AN-SYS软件对隔热屏优化前后铸锭炉模型铸锭过程分别进行数值模拟计算,分析铸锭过程中隔热屏温度分布,发现优化后铸锭炉中隔热屏厚度方向温度梯度增大,隔热屏外侧温度降低.将数值计算结果应用于实际生产中,缩短了铸锭生产周期,有利于降低能耗,提高生产效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	权龙	太原理工大学新型传感器与智能控制教育部与山西省重点实验室	199	2256	25.0	39.0
2	黄家海	太原理工大学新型传感器与智能控制教育部与山西省重点实验室	39	189	7.0	11.0
3	韩栋梁	太原理工大学新型传感器与智能控制教育部与山西省重点实验室	6	11	2.0	3.0
4	庞江瑞	太原理工大学新型传感器与智能控制教育部与山西省重点实验室	7	10	2.0	3.0