溅射薄膜压敏芯体长期稳定性研究

• 作者: 何迎辉 周国方 石慧杰 谢锋 金忠
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射薄膜 薄膜压力传感器 压敏芯体 长期稳定性
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 微组装技术 SMT PCB
• 页码范围: 215-217
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2020.04.009

摘要

溅射薄膜压敏芯体是制作薄膜压力传感器的核心敏感器件,测量精度高、长期稳定性好,尤其适合航天、航空等对可靠性、长寿命要求高的军事领域应用.对薄膜压敏芯体制备工艺过程进行分析,探讨影响芯体长期稳定性的原因,针对原因进行工艺改进,可获得高稳定的薄膜压敏芯体.