Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜性能的影响

• 作者: 刘利 李明亮 沈燕
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 AZO/Ag/AZO 室温沉积
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.01.06

摘要

在室温条件下,采用磁控溅射技术在玻璃衬底上生长了AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜.主要研究了Ag层厚度对多层透明导电薄膜结构和性能的影响.研究表明,AZO和Ag分别延(002)面和(111)面高度择优生长,随着Ag层厚度的增加,多层透明导电薄膜的电阻率不断降低,透过率呈现先降低再增加最后再降低的变化趋势,其中Ag层厚度为8nm的样品获得最大品质因子33.1×10-3 Ω-1,综合性能最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘利		6	12	1.0	3.0
2	李明亮		1	0	0.0	0.0
3	沈燕		1	0	0.0	0.0