半导体技术期刊
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半导体技术

Semiconductor Technology

CAJSTAJSACSTPCD

影响因子 0.3579
《半导体技术》是由信息产业部主管,中国半导体行业协会、半导体专业情报网、中电科技集团公司十三所主办,业内权威的国家一级刊物之一。1976年创刊,它以严谨风格,权威著述,在业内深孚众望,享誉中外,对我国半导体事业的发展发挥了积极作用。“向读者提供更好资讯,为客户开拓更大市场”,是《半导体技术》的追求,本刊一如既往地坚持客户至上,服务第一,竭诚向读者提供多元化的信息。 《半导体技术》是中文核心... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
中国学术期刊光盘版《CAJ-CD》执行优秀期刊奖(03)  中国科技论文统计用刊  中文核心期刊 
ISSN:
1003-353X
CN:
13-1109/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄179信箱46分箱
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  • 作者: 谢学军 邱善勤
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  1-4
    摘要: 随着以IP为基础的SOC设计逐渐成为IC设计的主流,针对IP的研发和市场交易在国内越来越受到人们的重视.本文全面系统地分析了当前我国IP研发、使用、交易的现状和存在的关键问题,并展望了IP在...
  • 作者: 明天
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  5-7
    摘要: 摩尔定律的精神内涵是技术创新,这种精神所体现的价值是无穷的,创新精神会永存的.探讨了摩尔定律的精神内涵,经济价值,以及何时失效和摩尔定律带给人类的科学技术遗产,摩尔定律的延续作用.
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  8-9
    摘要:
  • 作者: 王国雄
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  10-13
    摘要: 光刻校正技术已成为超深亚微米下集成电路设计和制光刻校正技术的基本原理以及在IC设计中使用这些技术需要注意的问题,为可制造性设计提供有价值的指导.
  • 作者: 吴纬国 赵建明 马万里
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  14-17,27
    摘要: 主要针对光刻对准特性,从单项工艺和工艺集成的角度,分析了影响光刻对准的各个主要因素,主要包括对准标记、工艺层、隔离技术等,提出了一些改善光刻对准效果的方法.
  • 作者: 刘合祥 成立 王振宇 祝俊 范木宏 赵倩
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  18-22
    摘要: 在下一代光刻(NGL)技术中,限散射角电子束光刻(SCALPEL)技术工艺简单、成本较低,因此是集成电路生产厂家首选的光刻方案之一.本文论述了SCALPEL的工作原理、加工工艺和方法、SCA...
  • 作者: 程天风
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  23-27
    摘要: 由于新近的技术突破,先前应用瓶颈在光刻领域得到解决方案.如今浸没式氟化氩(ArF)光刻技术已经被ITRS列为45nm,甚至于32nm节点的关键技术.如果要达到路图指标,新的介面液体,偏振光应...
  • 作者: 周宏 张坤 易新建 柯才军 赖建军 赵悦
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  28-31
    摘要: 采用统计实验方法研究了利用SF6/O2/CHF3混合气体产生的等离子体进行硅的反应离子刻蚀技术.为了优化刻蚀条件,将刻蚀速率和选择比表示为SF6、O2、CHF3各自的流量以及气压和射频功率的...
  • 作者: 吴纬国 张庆中 贾宇明 马建霞
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  32-36
    摘要: 光刻胶技术是曝光技术中重要的组成部分,高性能的曝光工具需要有与之相配套的高性能的光刻胶才能真正获得高分辨率的加工能力.主要围绕光刻胶在集成电路制造中的应用,对其反应机理及应用性能指标进行阐述...
  • 作者: 吴纬国 姚若河 敬小成
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  37-40,44
    摘要: 阐述了二氧化硅干法蚀刻的原理和主要的蚀刻参数.应用正交实验,进行了蚀刻速率、均匀性、选择比等主要蚀刻参数的优化,得出主要工艺参数的设置方法和理想条件漂移时的调整方法以及优化选择比的蚀刻方案.
  • 作者: 吴运新 周宏权 隆志力 韩雷
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  41-44
    摘要: 主要研究了热超声键合过程中环境温度对键合强度的影响规律.分析了键合强度与键合温度之间的关系.实验研究发现,最佳键合"窗口"出现在200~240℃,此时键合强度可达20g左右.对推荐使用的大于...
  • 作者: 李名尧 李霞 王元彪
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  45-48
    摘要: 介绍了SOP集成电路塑料封装模具设计中温度补偿的计算方法和计算结果.封装模具包括上模、下模和附件三大部分,可分成浇注、成型、排气、顶出、复位、加热、温控、上料、预热、定位和支撑等功能系统.
  • 作者: 余彬海 李绪锋
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  49-51,55
    摘要: 针对倒装芯片(Flipchip)大功率发光二极管器件,描述了大功率LED器件的热阻特性,建立了Flipchip衬底粘接材料的厚度和热导系数与粘接材料热阻的关系曲线,以三类典型粘接材料为例计算...
  • 作者: 周敬然 徐宝琨 潘建旋 董玮 贾翠萍 陈维友
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  52-55
    摘要: 研究了在KOH溶液中(110)硅片的腐蚀特性,在保证(110)面的平整和{111}面的光滑的腐蚀实验条件下,利用(110)面和{111}面腐蚀选择比大,采用湿法腐蚀技术可以制作高深宽比结构的...
  • 作者: 廉鹏 沈光地 渠红伟 盖红星 董立闽 邓军 郭霞 马丽娜
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  56-59
    摘要: 设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响....
  • 作者: 张驰 胡红军
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  60-63,72
    摘要: 分析了半导体工业上盒形件Gehause的工艺结构及特点,通过金属粉末注射成形(MIM)工艺优化和采用研发的粘结剂系统,用SPC技术控制注射成型工艺参数与注射件重量,烧结后得到的盒形件Geha...
  • 作者: 侯媛彬 祝海江 赵众
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  64-66,31
    摘要: 介绍了一种基于改进适应度函数的遗传单神经元控制方法.通过利用遗传算法的全局寻优特性和神经网络对非线性函数较强的逼近能力,将改进的遗传算法和单神经元相结合,设计了一种遗传算法单神经元解耦控制器...
  • 作者: 崔占忠 徐立新 李彦旭 陈曦
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  67-69
    摘要: 在对传统CMOS锁存比较器分析的基础上,设计了一种可自校正失调电压的BiCMOS锁存比较器,它既具有双极型电路快速、输入失调电压低和大电流驱动能力,又具备CMOS电路低功耗和高集成度的特性,...
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  70-72
    摘要:
  • 作者: 方向前 魏平俊
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  73-75
    摘要: 研究了数字信号处理(DSP)在移动通信中的应用,主要是Viterbi信道译码算法(VA)的DSP实现,在研究Viterbi译码算法原理的理论基础上,重点研究了DSP实现方法.
  • 作者: 陈亮
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  76
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  77-78
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  79
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  80-81
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年6期
    页码:  82-83
    摘要:

半导体技术基本信息

刊名 半导体技术 主编 赵小宁
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共和国工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1003-353X CN 13-1109/TN
邮编 050002 电子邮箱 bdtj1339@163.com
电话 0311-87091339 网址
地址 石家庄179信箱46分箱

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