半导体技术期刊
出版文献量(篇)
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半导体技术

Semiconductor Technology

CAJSTAJSACSTPCD

影响因子 0.3579
《半导体技术》是由信息产业部主管,中国半导体行业协会、半导体专业情报网、中电科技集团公司十三所主办,业内权威的国家一级刊物之一。1976年创刊,它以严谨风格,权威著述,在业内深孚众望,享誉中外,对我国半导体事业的发展发挥了积极作用。“向读者提供更好资讯,为客户开拓更大市场”,是《半导体技术》的追求,本刊一如既往地坚持客户至上,服务第一,竭诚向读者提供多元化的信息。 《半导体技术》是中文核心... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
中国学术期刊光盘版《CAJ-CD》执行优秀期刊奖(03)  中国科技论文统计用刊  中文核心期刊 
ISSN:
1003-353X
CN:
13-1109/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄179信箱46分箱
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  • 作者: 吴臻
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  1-3
    摘要: 讨论了如何对IC项目和开发团队能力进行合理的度量和分析,以准确估计IC产品的交付情况,核心度量为项目进度、交付物规模、质量和成本.
  • 作者: 朱虹 钱省三
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  4-7
    摘要: 在介绍OEE与TOC理论的基础上,将两者的优缺点互补,引入IEE概念进行瓶颈诊断,开展了TPM活动以提高系统整体效率,同时提出一宏观与微观相结合的企业数据收集与处理模型.结合目前国内半导体厂...
  • 作者: 吴丰顺 吴懿平 张金松 王磊 胡炎祥
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  8-12,17
    摘要: 讨论了将成为21世纪电子制造领域的核心科学与技术的纳电子封装的基本概念以及由其产生的驱动力.阐述了纳电子封装的研究内容和纳电子封装的现状及发展趋势.
  • 作者: 林晓玲 章晓文 阮春郎
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  13-17
    摘要: 论述了国外超大规模集成电路的发展趋势及在武器装备中的作用.介绍了美、欧、日、韩今后发展超大规模集成电路的对策.分析了国外超大规模集成电路民技军用的背景,随着集成电路技术的发展,民用市场上会有...
  • 作者: 吴波
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  18-19
    摘要:
  • 作者: 刘红梅 胡平生
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  20
    摘要:
  • 作者: 宋志棠 封松林 张楷亮 陈苏
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  21-24
    摘要: 对ULSI中多层铜布线的CMP进行了分析,主要针对铜抛光液的研究现状以及进展进行综述,重点比较了各种不同种类抛光液的抛光效果,以及抛光液对铜和介电层的选择性研究,并提出了目前需要解决的问题,...
  • 作者: 刘玉岭 张建新 王娟
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  25-26,33
    摘要: 介绍化学机械抛光技术的重要性,找出影响其性哪料种类做概要论述,找出其优缺点.并在前人研究的基础上研制出更具优势的抛光研磨料,详细介绍其特点及使用条件,另对它的使用效果进行了简要说明.
  • 作者: 成立 王振宇 祝俊
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  27-33
    摘要: 论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景.
  • 作者: 李应良 赵继德 马传龙
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  34-37
    摘要: 应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器.研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应.利用ANSOF的HFSS软件模拟分析了滤波器的损耗参数,并应用ANSYS软件分析复合结构的...
  • 作者: 彭志辉 黄其煜
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  38-40,44
    摘要: 对在半导体晶圆代工厂中应用的特种气体及气体的不同特性进行了分类和讨论,进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进行了阐述,并且对在晶圆厂有着重要作用的关键管件及重要设计进行了探讨.
  • 作者: 张世祖 花吉珍 郭艳菊 陈国鹰 高丽艳
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  41-44
    摘要: 论述了用湿法腐蚀电子束光刻的均匀光栅DFB激光器亚微米光栅的过程,研究了几种腐蚀液对半导体激光器外延材料中InP的腐蚀过程.用扫描电子显微镜(SEM)对其腐蚀情况进行了分析,通过调节腐蚀液H...
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  45-49
    摘要: 本文高度阐述了含氟聚合物阀门应用在半导体行业超高纯水系统和液体化学分配系统,阀门的选择、设计、生产和测试的问题.针对半导体工业发展的需求,以SEMI F57-0301为标准,对更加苛刻的应用...
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  50-53,61
    摘要: 在总的构成先进的90nm器件工艺步骤中,晶圆清洗工艺占了近15%.性能和处理量优势是在清洗中继续采用批次式处理方式的主要原因.但是,对周期时间的关注推动了单晶圆清洗工艺的开发.在本工作中,介...
  • 作者: 张忠会 杨宇 王水弟 蔡坚 贾松良
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  54-57,68
    摘要: 给出了以容易测量的内芯材料横截面积所占整个复合引线面积之比为自变量的同轴复合圆柱形引线的电阻率、轴向和径向的热膨胀系数的计算公式.运用这些公式并从相应图中可以便捷地确定这类复合材料的优化设计...
  • 作者: 刘之景 张余洋
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  58-61
    摘要: 自旋电子学是近年来发展迅速的一个研究领域,利用了传导电子自旋这一自由度的自旋电子器件以其提高数据处理速度、降低能量消耗、容易增加集成密度等优点正引起人们的空前关注.文中阐述了自旋的漂移-扩散...
  • 作者: 何乐年 王光峰 陈忠景
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  62-64,19
    摘要: 实验研究了淀积在GaN上的Ti/Al/Ti/Au电极的电学和热学特性,绘制了不同退火温度下的I-V曲线,得到了最低的欧姆接触电阻率(ρs=1.2×10-4 Ω·cm2),并通过X射线衍射谱分...
  • 作者: 史伟伟 蔡敏 黄明文
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  65-68
    摘要: 提出了普通阵列乘法电路的改进结构和含流水线的串并乘法电路(SPM)结构.后者比基于Booth算法的n位并行乘法电路更节省资源消耗,由O(n2)降低到O(n),同时相比于n位普通移位乘法器,运...
  • 作者: 方向前 贺焕林
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  69-70,73
    摘要: 围绕超声波测距的主要问题是传感器的尺寸、结构、功率、工作频率和设备的最大量程等,着重阐述了超声波测距中减小盲区的几种方法.
  • 作者: 飞思卡尔半导体(中国)有限公司
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  71-73
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  74-76
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  77-78
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  79
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  80-82
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 半导体技术
    发表期刊: 2005年8期
    页码:  83-85
    摘要:

半导体技术基本信息

刊名 半导体技术 主编 赵小宁
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共和国工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1003-353X CN 13-1109/TN
邮编 050002 电子邮箱 bdtj1339@163.com
电话 0311-87091339 网址
地址 石家庄179信箱46分箱

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