传感技术学报期刊
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传感技术学报

Chinese Journal of Sensors and Actuators

CACSCDJSTSACSTPCD

影响因子 1.3812
《传感技术学报》杂志的编委委员均来自国内各著名高校的教授和博士生导师,他们是我国传感器领域方面的专家、学者和权威人士。《传感技术学报》稿源来自全国各高等院校,,中国科学院所属的有关专业研究机构以及国内大型工矿企业设置的专业研究所。《传感技术学报》刊登的论文均有2名国内同行专家审稿通过。 《传感技术学报》的作者有院士、教授、博士生导师、研究员、博士研究生、和硕士研究生以及从事该研究领域的工作... 更多
主办单位:
东南大学 中国微米纳米技术学会
期刊荣誉:
江苏省一级期刊  荣获《中国学术期刊(光盘版)检索与评价数据规范》执行优秀奖 
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
出版周期:
月刊
邮编:
210096
地址:
南京市四牌楼2号东南大学
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  • 作者: 吕湘连 常洪龙 李俊 苑伟政 闫子健
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1319-1322
    摘要: 基于Krylov子空间投影法结合有限元分析(FEA)建立了一种宏模型提取方法,以便能够在系统级快速地建立器件宏模型.这种方法通过对整个2D或3D器件有限元分析的结果提取宏模型.基于这种方法建...
  • 作者: 应济 林谢昭
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1368-1371
    摘要: 为了研究静电致动圆板静态和动态特性,在模态分析法的基础上,利用多维非线性函数的Levenberg-Marquardt拟合方法,将板的动能、弹性能和电容写成以模态坐标表示的解析式.结合Hami...
  • 作者: 吴卫东 唐永建 张继成
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1398-1400
    摘要: 采用低压等离子体化学气相沉积技术在硅片上制备出α∶CH薄膜,以金属铝作为掩膜,利用电子回旋共振微波等离子体反应离子刻蚀法制备微齿轮,再用化学腐蚀的办法将所制备的齿轮从硅片上剥离下来,最后清洗...
  • 作者: 万红 吴学忠 徐超 李兆泽
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1411-1414,1418
    摘要: 点火电路是MEMS固体化学微推进器中最重要的组成部分,其点火电压的大小及点火可靠性则主要取决于点火电阻.国内外均采用多晶硅(polysilicon)或贵金属铂(Pt)作为点火电阻材料,所制备...
  • 作者: 傅星 李源 栗大超 胡小唐 赵大博
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1504-1508
    摘要: 针对微纳测量领域的需要,设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数,提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测试校准方法;加工了NMM测头模块;制作了压阻信号调理和采集...
  • 作者: 李伟华 李巧萍
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1535-1537,1541
    摘要: 建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统.该系统包括测试图形,测试信号处理电路及外围附件和专用软件,能自动完成薄膜材料参数的在线测试.测试方法和测试设备简单,能用于工艺线上的...
  • 作者: 张杰 杨平
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1591-1594,1598
    摘要: 从动力学角度分析了PBGA组件在高加速度冲击载荷下的响应.采用解析法与有限元分析相结合的方式考察了PBGA组件的结构参数和材料特性等因素对焊点应力的影响,并运用参量分析法比较了这些因素对焊点...
  • 作者: 徐晨 施梦娱 李博 沈光地 赵林林
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1617-1619
    摘要: 考虑残余应力的情况下,薄膜在大挠度时总应力的解析表达式.通过实验观察,深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑.考虑微蚀坑和残余应力的影响,运用总应力表达式和Griffith裂口强度理论,...
  • 作者: 杨决宽 王桂明 陈云飞 陈敏华
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1629-1634
    摘要: 采用分子动力学模拟方法,研究了不同表面电荷密度下圆柱形纳米管道中溶液粒子分布情况及电渗流特性.采用更为接近工程实际的纳米管道模型,在管道中段离散分布一定数目的单位元电荷,平衡后,再取出该段在...
  • 作者: 杨决宽 林晓辉 王家峻 陈云飞
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1655-1658
    摘要: 采用分子动力学方法对带电和不带电两硅板之间的水分子润滑薄膜进行模拟研究,通过加双电层的水分子薄膜润滑与未加双电层薄膜润滑摩擦属性的对比,发现摩擦系数在存在双电层的情况下比未加双电层时要小,两...
  • 作者: 廖恒成 徐跃飞
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1670-1672,1676
    摘要: 基于分子动力学研究纳米薄膜的导热系数现状,建立了一种导热模型.采用非平衡态分子动力学研究了纳米薄膜长度、厚度、空穴对导热系数的影响.选取结构简单、可靠实验数据和势能函数的晶体氩为模型,计算了...
  • 作者: 仲志成 刘彩霞 唐勇 张歆东 王明峰 薛海林 贾翠萍 陈维友
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1744-1746
    摘要: 介绍了一种新型的低成本、小体积的的液晶可变光衰减器的设计与制作.该衰减器采用聚合物分散液晶材料,使其填充在经过耦合的带透明导电电极的两根单模光纤的间隙里,利用聚合物分散液晶在不同电场强度下引...
  • 作者: 吴文刚 栗大超 胡小唐 袁勇 郝一龙 陈庆华
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1750-1753
    摘要: 为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性,降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性,提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜.提出的硅微机械扭转微镜将垂直扭转梳齿静电驱动结构、侧壁平...
  • 作者: 乔大勇 李晓莹 苑伟政 虞益挺
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1761-1763,1767
    摘要: 利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上完成了微变形镜的结构设计,并由仿真得到了结构的性能参数.研究结果...
  • 作者: 刘兵武 刘理天 张兆华 张艳红 林惠旺 谭智敏
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1815-1817
    摘要: 本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向...
  • 作者: 刘娜 秦明 黄庆安
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1863-1867,1870
    摘要: 提出了一种新型的采用标准CMOS工艺结合MEMS后处理工艺加工的电容式绝对压力传感器.传感器结构部分是由导体/介质层/导体组成的可变电容器.电容的上下极板分别为CMOS工艺中的多晶硅栅和n阱...
  • 作者: 姚素瑜 秦明 黄庆安
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1868-1870
    摘要: 针对多传感器集成的气象芯片设计中的布局问题,采用有限元方法分析了热风速计工作中产生的热场对气压膜的影响.研究了热应力的分布情况,通过增加表面热阻结构设计,研究了热应力减小的方法.研究结果表明...
  • 作者: 周勇 方东明 王西宁 赵小林
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1878-1880
    摘要: 为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范...
  • 作者: 吴群 宋明歆 殷景华 贺训军 金博识
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1881-1884
    摘要: 通过分析MEMS电容开关的工作原理,设计出一种适合分布式射频MEMS移相器电路的新型电容开关.采用Intel lisuiteTM软件优化电容开关的驱动电压、响应时间、释放时间和机械振动模式....
  • 作者: 廖小平 董乔华
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1900-1903
    摘要: 介绍了一种可用于射频系统中的微电子机械开关,通过新颖的三层板结构解决了高功率带来的自执行和自锁效应,并且消除了传统三层板结构引入的应力.采用阻抗匹配的方法提高开关结构的射频性能.利用Cove...
  • 作者: 丁桂甫 戴旭涵 杨昊宇 赵小林 邵国成
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1920-1923
    摘要: 介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动...
  • 作者: 倪鹤南 傅建奇 刘晓为 曾娟 王蔚 田丽 陈小洁
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1970-1973
    摘要: 设计、研制了集成有微泵、微沟道、微流量传感器、温度传感器的微流体测控芯片.采用有限元软件ANSYS模拟分析了将其作为冷却芯片时微沟道的散热作用,分析确定了芯片上各元件的结构.该集成芯片为硅-...
  • 作者: 徐溢 朱为维 温志渝
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  1988-1990,1995
    摘要: 非接触电导检测器克服了接触电导检测器的缺点,避免了电极污染,结构简单,易于集成化、微型化,适合芯片毛细管电泳检测.介绍了芯片上非接触电导检测器发展现状,检测原理以及检测池等效电路,并对信号处...
  • 作者: 刘冲 徐敏 李楠 王晓东 罗怡
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2015-2017,2021
    摘要: 聚合物微流控芯片的热压成形中,温度、压力和时间是三个主要的工艺参数,其中温度对聚合物的粘弹性影响最大.研究了不同温度下,PMMA材料的蠕变特性,基于广义kelvin蠕变模型拟合材料的蠕变曲线...
  • 作者: 刘静 杨阳
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2022-2024
    摘要: 冰阀是一种利用微/纳米流道内流体自身的冻结/融化相变过程来实现关断或开启作用的新型流体元件.由于无运动部件、无泄漏、不会引起流体污染且易于实现电控等优点,该器件在微/纳米流体系统的控制中具有...
  • 作者: 王彬 王聿佶 赵建龙 金庆辉 陈翔
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2107-2110
    摘要: 在微全分析系统的研究中,样品提取及DNA分析技术是非常重要的一个环节.也是目前国内外研究的热点之一.文中介绍了一种新型的基于单芯片的样品制备和扩增方法.采用多层微加工技术制作SU-8模具,通...
  • 作者: Simon Ang 刘清君 徐莹 王平 蔡华
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2145-2148
    摘要: 采用微探针电极阵列对大鼠嗅粘膜神经递质进行了在体检测.基于MEMS技术,制备了具有8通道电极阵列的微探针芯片.每一电极的传感器表面为16μm×120μm或0.3 μm×120 μm尺寸.采用...
  • 作者: 仝召民 张文栋 张斌珍 熊继军 王建 薛晨阳
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2293-2296
    摘要: 实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTE)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84 kHz/MPa...
  • 作者: 刘榕芳 田甜 肖秀峰
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2310-2313
    摘要: 为了弄清阳极氧化制备TiO2纳米管阵列的影响因素及形成机理,研究了HF浓度W(HF)=0.1~1.0%,电压(5V~30V),时间(20min~120min)对阳极氧化TiO2纳米管阵列形貌...
  • 作者: 张伟 张绪瑞 杨海波 胡明
    刊名: 传感技术学报
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  2359-2361,2364
    摘要: 研究了多孔硅层厚度,孔隙率以及多孔硅中微晶粒尺寸三个微结构参数对其热绝缘性的影响机制.实验选用p+,p-两种掺杂浓度的硅片基底,采用电化学腐蚀法,通过改变腐蚀时间和腐蚀电流密度获得不同微结构...

传感技术学报基本信息

刊名 传感技术学报 主编 黄庆安
曾用名
主办单位 东南大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1004-1699 CN 32-1322/TN
邮编 210096 电子邮箱 dzcg-bjb@seu.edu.cn;dzcg-bjb@163.com
电话 025-83794925 网址
地址 南京市四牌楼2号东南大学

传感技术学报评价信息

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1. 江苏省一级期刊
2. 荣获《中国学术期刊(光盘版)检索与评价数据规范》执行优秀奖

传感技术学报统计分析

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