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传感技术学报2006年第5期出版文献
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传感技术学报
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《传感技术学报》杂志的编委委员均来自国内各著名高校的教授和博士生导师，他们是我国传感器领域方面的专家、学者和权威人士。《传感技术学报》稿源来自全国各高等院校，，中国科学院所属的有关专业研究机构以及国内大型工矿企业设置的专业研究所。《传感技术学报》刊登的论文均有2名国内同行专家审稿通过。 《传感技术学报》的作者有院士、教授、博士生导师、研究员、博士研究生、和硕士研究生以及从事该研究领域的工作...
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主办单位：
东南大学
中国微米纳米技术学会
期刊荣誉：
江苏省一级期刊
荣获《中国学术期刊（光盘版）检索与评价数据规范》执行优秀奖
ISSN：
1004-1699
CN：
32-1322/TN
出版周期：
月刊
邮编：
210096
地址：
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241. 硅片低温键合湿化学法表面活化工艺研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 探讨了使用湿化学法对硅片表面进行活化,完成硅圆片低温直接键合的流程.通过对不同活化流程细节的分析,以及实际的实验结果,对不同的工艺流程的键合效果进行比较.提出采用浓HNO3进行表面活化的方法...
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242. 磁控溅射SiC薄膜及其电学特性研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 用磁控溅射法(RMS)制备了SiC微晶薄膜,并对其进行了退火处理.用AFM观察了薄膜的表面形貌,测量了薄膜的厚度、方块电阻和电阻-温度曲线.结果表明:薄膜表面平整光滑;退火处理前后薄膜样品的...
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243. 用于MEMS的叠层光刻胶牺牲层技术刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 研究了用于制备悬空结构的叠层光刻胶牺牲层工艺.讨论了工艺中常遇到的烘胶汽泡、龟裂、起皱、刻蚀电镀种子层时产生的絮状物和悬空结构释放时的粘附等问题,并提出了相应的解决办法.借助于分层刻蚀法和逐...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 反应离子深刻蚀(DRIE)是目前MEMS加工中便捷有效的主流加工工艺之一.开发较为快捷有效的工艺仿真模型与工具,对于工艺的数值预报,有着重要的作用.通过对现有表面演化算法的比较,建立了一种基...
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245. SU-8胶在深紫外光源下的光强分布模拟刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 本文根据菲涅尔衍射的原理,在考虑了折射、光刻胶对光的吸收以及硅片对光的反射的情况下,给出了SU-8胶在365 nm光源下经过方孔曝光时,光刻胶中光强的二维分布及三维分布的计算模拟.将试验结果...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 硅谐振微传感器输出信号的信噪比很低,频率信号往往淹没在噪声之中.论文分析了随机共振系统的功率谱放大率和信噪比特性,提出了外差式随机共振频率检测方法,并将该方法应用于硅谐振微传感器输出信号的频...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 针对运用DS18B20进行大规模多点测温时巡检周期过长问题,从工作过程分析了原因所在,据此提出采用报警窗口机制的新协议进行数据采集.并通过分析和实践所得数据的对比,就协议缩短巡检周期的有效性...
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248. V型微通道热沉的流体流动与传热问题研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： V型微通道热沉具有体积小、流速小、散热效率高等优点,是将多个DL线阵组装为面阵并实现高性能冷却封装的良好解决方案.本文采用计算流体力学软件Fluent建立了V型微通道的数值模型,研究了其中的...
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249. 硅纳米梁的静态特性分析刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 提出了用于分析硅纳米梁静态弯曲的半连续体模型.与传统的连续体模型相比,该方法考虑了厚度方向进入纳米尺度所带来的物理特性的离散化现象.基于Sun-Zhang提出的应变能量计算模型,运用变分原理...
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250. 基于EWOD的锥形管状结构液体变焦透镜刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 提出了一种基于介质上电润湿(EWOD)的液体变焦透镜的新结构.它由一个依次覆盖有ITO透明导电薄膜及疏水介质膜的下极板、悬在其上的一个内外壁均覆盖有疏水层的玻璃锥管以及处于两者之间的导电液滴...
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251. PHEMT电离辐照效应研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 对PHEMT的电离辐照效应进行了研究,通过测量辐照前后器件的I-V特性和低频噪声,发现辐照对PHEMT的性能影响并不明显.分析了PHEMT漏电流退化的机理以及其低频噪声的来源,发现异质结界面...
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252. 电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 介绍了电磁激励硅谐振梁的激励和检测原理,给出了双端固支的硅谐振梁谐振频率公式,并利用该公式分析了双端固支梁的谐振频率和梁尺寸的关系.本文利用有限元软件模态分析计算了三种不同的谐振频率情况,并...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 大多数MEMS器件(如梁、膜等)的动态特性方程为偏微分方程,因此建立对应组件的可重用参数化行为模型是一个难题.本文通过有限差分法把偏微分方程转化为常微分方程组,然后采用混合信号硬件描述语言进...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限,为更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于AlAs/InxGa1-xA...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 将IntelliSuite(R) EMagAnalysis电磁分析模块与IntelliSuite(R) TEMAnalysis热机电耦合分析模块结合起来,利用两模块之间数据结构的兼容性,提取...
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256. 面向RF IC的片上铁氧体磁膜电感刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜(Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4,Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9)射频微电感.铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作,高频特性较好,适于片上电...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 选用聚合材料聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替玻璃,石英等作为毛细管电泳芯片的基片材料.在19 kV,5 Hz及5mm/min的加工参数下,采用新型快速准分子激光微加工方法完成了毛细管电泳芯片...
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258. 一种新型压电式双向无阀微泵的研制刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形...
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259. 低矫顽力GMR磁传感器的自旋阀结构研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 采用高真空直流磁控溅射的方法,在玻璃衬底上制备了结构为Ta/free layer/Cu/CoFe/IrMn/Ta的IrMn顶钉扎自旋阀.研究了NiFe/CoFe和NiFeCr/CoFe分别作...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 通过化学气相沉积(CVD)方法合成单壁碳纳米管(SWCNTs)和多壁碳纳米管(MWCNTs),并经过硝酸酸化预处理.在缩合剂N,N'-二环己基碳化二亚胺(DCC)作用下,多壁碳纳米管经过乙二...
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261. 结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 结合光寻址电位传感器及纳米多孔硅技术研制了一种新型的气体传感器.该传感器结合光寻址电位传感器的微机电系统工艺和平面器件特点以及纳米多孔硅的高灵敏度特性,对实现进一步细胞代谢气体的检测提供了一...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片;通过动力学分析和有限元模拟,研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构;通过玻璃粉烧结工艺将其键合在...
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263. 复合量程微加速度计的研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度....
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264. 一种Z轴微机械陀螺的自解耦方法研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 在分析了微机械陀螺机械耦合误差产生原因的基础上,提出了一种解耦梁方案,可以从结构上消除振动式微机械陀螺敏感模态对驱动模态的耦合影响;基于该解耦梁方案设计了一种新型的Z轴微机械陀螺结构.分析表...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 研究一种用于差分电容传感器检测的电荷Delta-Sigma调制器结构.在该检测电路中不需要C/V转换电路,待检测的差分电容直接作为调制器环路的输入电容,差分电容的变化量首先被转换为变化的电荷...
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266. PZT微驱动器磁头的动特性研究刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 采用摄动法对描述超薄气体润滑理论的修正雷诺方程进行处理,建立了气体润滑的静动态方程,求解得到磁头气膜的无量纲刚度系数和阻尼系数,并讨论了磁头线速度对空气膜刚度系数和阻尼系数的影响.采用的磁头...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 纳米TiO2颗粒经表面处理制得稳定分散的水基TiO2浆体.谢乐公式计算出晶粒平均粒径均为58.0nm左右,HRTEM谱图观察晶粒粒径约为50nm左右与谢乐公式计算相一致,且纳米粒子基本呈椭圆...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 在微乳液中SnCl和CdCl的混合水溶液与KBH4水溶液的还原反应制备了Cd2+掺杂SnO2纳米棒前驱物.在NaCl+KCl熔盐介质中,660℃焙烧前驱成功制备了Cd2+掺杂SnO2纳米棒一...
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刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 研究了催化剂煅烧温度,煅烧时间和活化温度对碳纳米管生长的影响.当催化剂煅烧温度为800℃,煅烧时间为3 h,活化温度在600-700℃时,碳纳米管管径均匀,产率高.
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270. 催化裂解简单合成离散的短纳米碳管刊名： 传感技术学报发表期刊： 2006年5期页码:摘要： 研究了一种简单催化裂解生长离散纳米碳管技术.不需要使用基底,于700℃,直接催化裂解Fe(NO3)3·9H2O和无水乙醇的混合溶液,反应30分钟,合成了长度较短的纳米碳管.需要指出的是,该研...
传感技术学报基本信息
| 刊名 | 传感技术学报 | 主编 | 黄庆安 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 东南大学 中国微米纳米技术学会 | 主管单位 | 中华人民共和国教育部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1004-1699 | CN | 32-1322/TN |
| 邮编 | 210096 | 电子邮箱 | dzcg-bjb@seu.edu.cn；dzcg-bjb@163.com |
| 电话 | 025-83794925 | 网址 | |
| 地址 | 南京市四牌楼2号东南大学 |
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| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 科学文摘(英) |
| 5. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 江苏省一级期刊 |
| 2. | 荣获《中国学术期刊（光盘版）检索与评价数据规范》执行优秀奖 |
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