电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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  • 作者: 于燮康
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  1-4
    摘要:
  • 作者: 李宝珠
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  5-10,56
    摘要: 宽禁带半导体材料是一种新型材料,具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率高等特点,非常适合于制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成电子器件;利用其特有的禁带宽度,还可以制作蓝光、绿光、紫外光器件和光...
  • 作者: 刘涛 罗杨 费玖海 高慧莹
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  11-15,19
    摘要: 介绍了针对蓝宝石衬底表面纳米级抛光工艺而研制的PG-510单面抛光机的主要结构及其性能特点,简要论述了抛光过程中各工艺参数的控制方案,并通过实验验证了设备的主要性能指标,能够满足蓝宝石衬底表...
  • 作者: 张殿朝 栾国旗 闫萍 马玉通 高颖
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  16-19
    摘要: 对真空单晶用多晶硅真空区熔提纯技术进行了分析,通过理论实践相结合,对真空区熔提纯过程中的提纯速率、熔区长度、提纯次数以及其它工艺参数进行了分析,制定了获得目标电阻率、型号、直径的有效区熔提纯...
  • 作者: 张乾
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  20-22,35
    摘要: 介绍了硅片制造过程中常见的湿法清洗技术,以及实现这些清洗技术的设备或装置.
  • 作者: 于妍 刘晓伟
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  23-25
    摘要: 在硅单晶的碱性腐蚀过程中,往往由于碱性腐蚀液对单晶硅的腐蚀速率过快,从而增大了硅单晶片表面的粗糙度.异丙醇有着减缓腐蚀速率的功效因而降低了硅单晶片表面的粗糙度.主要讨论了异丙醇在碱性腐蚀液中...
  • 作者: 佟丽英 史继祥 王春梅 王聪
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  26-27,44
    摘要: 对硼扩散片弯曲度的控制技术进行了研究.结果发现单面扩散后硅片的弯曲度比双面扩散的弯曲度大,晶锭加工之前的热处理工艺有助于弯曲度的改善.在单面减薄后对硅片进行碱处理工艺,进一步改善了扩散片的弯...
  • 作者: 鲜飞
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  28-35
    摘要: 目前SMT生产线已被广泛应用于大规模电子组装生产上,对SMT设备选择、组线设计等问题作了实用性论述,希望对企业选择SMT设备有一定的帮助.
  • 作者: 史建卫 赵文军
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  36-40,59
    摘要: 无铅化电子组装中无铅焊料的高熔点、低润湿性给实际生产带来了很大挑战.为了改善润湿性,可适当提高焊接温度,但由于PCB及元件的工艺温度限制,导致了焊接工艺温度窗口变窄.氮气保护可以改善无铅焊料...
  • 作者: 谢利华 陈特超
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  41-44
    摘要: 介绍了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造、简单的工艺试验结果.与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比,它大大提高了生产产能,减少了设备维护工作量.该...
  • 作者: 谢□耀 谢秀镯
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  45-48
    摘要: 介绍了一种半导体焊盘(PAD)与衬底(SUBTRATE)之间的漏电流检测的方法,这种漏电流检测的目的是为了判断芯片管脚是否完好地连接在引脚上.它的特点是数字化接口和快速高效的处理能力,可以在...
  • 作者: 王洪宇
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  49-51
    摘要: 低温共烧陶技术(Low Temperature Co-fired Ceramic LTCC)是近年来兴起的一种相当令人瞩目的多学科交叉的整合组件技术,广泛用于基板、封装及微波器件等领域.主要...
  • 作者:
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  50,60-69
    摘要:
  • 作者: 姜惠惠 洛春 郎新星
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  52-56
    摘要: 偏光片除泡机是LCD(Liquid Crystall Display)生产线上的后处理设备,用于排除液晶盒玻璃与偏光片之间残存的气体,偏光片在液晶玻盒上的贴附质量直接影响到液晶显示器的显示效...
  • 作者: 任蓉莉 荆萌
    发表期刊: 2010年8期
    页码:  57-59
    摘要: 阐述了卷绕部件在薄膜电容卷绕机中的作用:详细介绍了轮系和凸轮机构的特点及其在卷绕部件中的应用,并根据设备功能要求对轮系和凸轮机构进行了结构设计.
  • 作者: 童志义
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  1-8
    摘要: 概述了进入后摩尔时代的MEMS技术,通过TSV技术整合MEMS与CMOS制程.使得半导体与MEMS产业的发展由于技术的整合而出现新的商机.主要介绍了MEMS器件封装所面临的挑战及相应的封装设...
  • 作者: 刘涛 张领强 陈学森 高慧莹
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  9-13,22
    摘要: 概述了化学机械抛光技术的发展现状,讨论分析了主要工艺参数对抛光机理的影响.重点论述了化学机械抛光工艺中不同压力控制方法及其技术特点,提出了一种新的压力控制方案.并通过实验验证了该控制技术的先...
  • 作者: 贾京英 颜秀文
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  14-16,32
    摘要: 综述了聚焦离子柬系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点.基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实验,研究了硅材料刻蚀速率与离子束流大小的关系,建立了刻蚀速率与束流大小...
  • 作者: 孙勇 王迪平
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  17-22
    摘要: 阐述了大角度离子注入机的柬流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束.从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行...
  • 作者: 史建卫 杜斌 王玲 王鹏程 赵文军
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  23-32
    摘要: 概述了元器件的分类及结构特点,详细阐述了无铅化后元器件镀层材料、可承受焊接温度、可焊性等各个方面的变化,同时对湿气敏感性、耐蚀性、晶须和可靠性等方面给出了质量评估方法,以保证无铅化电子组装的...
  • 作者: 付纯鹤 连军莉
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  33-36
    摘要: 介绍了一种改进的中轴变换算法.该算法修正了现存算法的缺点,可以快速去除二值图像中的冗余信息,准确抽取图像的单像素骨架,保留基本特征,特别是斜线和圆形焊盘特征.大量实验表明,该方法降低图像的复...
  • 作者:
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  36,68-69,后插1
    摘要:
  • 作者: 游志
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  37-40,56
    摘要: 通过设计两组实验,利用热分析软件Flotherm模拟各模型热分布情况,分析了影响LED散热鳍片扩散热阻的各个因素.结果表明:热源与鳍片的接触面积是影响扩散热阻的主要因素,接触面积愈大扩散热阻...
  • 作者: 张孝其 祁可
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  41-44
    摘要: 提高成品率是LTCC生产线上的一个重要环节,通过实验,对生产过程中某些关键工艺的突出问题,即:不合格品的补救工艺和改进措施,通过半成品的人工补救进而提高产品成品率.
  • 作者: 伍广钟 崔华醒 谭永良
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  45-47,51
    摘要: 在集成电路的测试中,通常需要给所测试的集成电路提供稳定的电压或电流,以作测试信号,同时还要对信号进行测量,这就需要用到电压电流源;测试系统能作为测试设备的电压电流源,实现加压测流和加流测压功...
  • 作者: 刘涛 孙振杰 高慧莹
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  48-51
    摘要: 主要分析了蠕动泵的组成和工作原理,描述了蠕动泵在化学机械抛光过程中的应用特点和优势.详细介绍了蠕动泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项.
  • 作者: 万弋 刘鸿儒 宋文超 解坤宪
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  52-56
    摘要: 介绍了一种基于串口的工业控制模型,并通过一种全自动半导体设备的具体实例,讲解该模型的控制思想.实验证明,该工业控制模型实现简单,运行可靠,成本较低.对于其它自动化设备,也具有借鉴意义.
  • 作者: 关宏武 吴秋玲
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  57-58
    摘要: 针对一种设备上所用单支撑转子,在Solidwork中建立三维模型,并导入patran中进行网格划分及属性定义,最后用Nastran计算了前十阶固有模态,并结合生产实验结果进行对比,结果表明,...
  • 作者: 蔡南雄
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  59-60
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2010年9期
    页码:  60-62
    摘要:

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
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电子工业专用设备评价信息

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