真空期刊
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真空

Vacuum
曾用名: 真空技术报导

CACSTPCD

影响因子 1.1128
本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来,由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会,并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增,在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来,被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉:
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊  工程技术类核心期刊 
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
110042
地址:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
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  • 作者: 张建国 方应翠 郭江涛 陈长琦
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年3期
    页码:  65-69
    摘要: 文章模拟分析了结构参数对磁控溅射阴极磁场分布的影响,设计了一种新型的矩形平面磁控溅射阴极,并对设计的阴极磁场进行模拟分析,结果表明有效提高了靶材表面磁场分布的均匀性.采用在阳极框内侧安装高磁...
  • 作者: 张建明 汪政富
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年3期
    页码:  70-74
    摘要: 本文比较系统地总结了Gifford-McMahon (G-M)制冷循环的低温泵系统的故障诊断与分析方法,提出了低温泵在使用过程中应注意的问题与解决方案,并结合实例详细捕述了解决故障的方法、工...
  • 作者: 周锦宝 薛纪钦 邓秉林
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年3期
    页码:  75-77
    摘要: 介绍了BEPCII直线加速器速调管的特点,速调管在微波大功率老练和正常运行时容易在速调管陶瓷窗附近产生打火出气等不稳定现象,使附近的真空度产生变化,真空度的好坏对速调管陶瓷窗的寿命非常重要....
  • 作者: 张以忱
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年3期
    页码:  78-80
    摘要:
  • 作者: 吴英 帖佐薰 查良镇
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  1-4
    摘要: 林主税博士是日本著名的真空企业家,长期担任日本真空株式会社(ULVAC)的社长和董事会主席.他于2008年5月14日应邀访问清华大学,以"打造和保持技术型企业竞争力之道--我在ULVAC经营...
  • 作者: 党哲鹏 孙足来 张哲魁 李增峰 杨洪帅 赵成修
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  5-12
    摘要: 简述了我所50年来在真空冶金设备研制方面获得的一些研究成果,重点对大容量真空电弧熔炼的短网压降设计的重要性进行了剖析.对电弧凝壳炉熔炼的水冷坩埚及其水冷结构、离心浇铸机构的设计进行了总结.对...
  • 作者: 王魁汉
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  13-19
    摘要: 从真空与热处理行业的精确生产及优质高效的整体战略出发,阐述真空冶金用新型温度传感器;探讨真空炉有效加热区测量过程中可能出现的误判以及真空炉用不可拆卸热电偶在检定过程中存在的问题;详细论述了真...
  • 作者: 刘永成 戴永年 李秋霞 荆碧
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  20-23
    摘要: 利用"物质吉布斯自由焓函数法",讨论了不同压力下低价化合物法介取铝过程中二氧化钛生成低价氧化钛及低价氧化钛分解的热力学条件.研究得出:在100 kPa时,二氧化钛与还原剂碳反应在2373.9...
  • 作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  23,82
    摘要:
  • 作者: 杨乃恒
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  24-28
    摘要: 本文叙述了关于涡轮分子泵安全使用的一些技术问题.首先对涡轮分子泵的构造特点作了介绍,其次对涡轮分子泵的故障类型、损坏原因,进行了分析.最后从设计和使用上的安全对策进行了讨论,以便更好的使用涡...
  • 作者: 周利娟 宋洪 彭晓华 李琦 杨奇 王雅婷 肖琼 董海义 齐铁柱
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  29-31
    摘要: 本文描述了BEPCII储存环真空系统的结构、特点以及运行状况.储存环真空系统于2006年3月开始安装,仅用8个月时间完成储存环正、负电子环约480米长的真空设备安装、检漏和烘烤,并且每个区段...
  • 作者: 储继国 张素平 杨晓天 蒙峻
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  32-34
    摘要: 本文详细介绍了新型分子增压泵的测试方法,对分子增压泵的极限真空、返油率、抽速及工作频率等性能进行了测试分析.测试结果表明,该泵可以在过渡流段替代罗茨泵来获得清洁真空系统.在兰州重离子加速器T...
  • 作者: 孙德田 曹辉玲 王树鹏
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  35-37
    摘要: 阐述自主创新研发的CG系列(0.5~75 L/s)油雾过滤器的特性及用途.阐述了特殊的高吸附性能纤维活性炭CF系列吸附阱;CC系列三级旋风式颗粒除尘器.新型的阱已用于低温泵系统、分子泵系统、...
  • 74. 信息
    作者:
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  37,79,4,82,113,112,74
    摘要:
  • 作者: 王鸿吉 赵益萍 郝刚 陈月增 陈素君
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  38-40
    摘要: 本设备可对注油机的储油箱、拉模箱、溢油箱提供真空环境并对射线源抽真空和注油,注油过程中对各储油室中的绝缘油进行真空脱气、脱水,以确保注油前的性能指标,使油品达到军标、国标、国际标准.使真空技...
  • 作者: 李殿东 杨乐
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  41-44
    摘要: 本文介绍了一种用于脉冲等离子体推力器(PPT)的新型实验系统的构成、设计思路、可实验内容、运行结果等内容.该系统包括真空系统、真空舱、深冷吸附系统、真空系统电控系统、μN量级微推力测量系统、...
  • 作者: 何敏剑 张宝夫 罗根松 陶永峰
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  45-49
    摘要: 对影响液环泵性能的因素进行了深入的分析和探讨,对可能出现的汽蚀破坏现象提出了有效实用的汽蚀现象界限图.对保证气体喷射泵正常工作的必要条件进行了试验验证,提出了气体喷射泵在极限压力下,液环泵与...
  • 作者: 唐镇松 张云峰 王逊
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  50-52
    摘要: 本文提出一种用特性曲线设计石英真空计的方法.实验发现,在一定的条件下,与石英晶振串接的电阻尺上的电压UBC与气体压强P有一定的函数关系.这个电压UBC经过放大、检波与调节后的读数V与气体压强...
  • 作者: 冯焱 张涤新 徐婕 李得天 赵光平 郭美如
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  53-57
    摘要: 本文介绍了德国PTB、英国NPL、墨西哥CENAM、韩国KRISS、意大利CENAM、日本NMU、中国计量科学研究院和国防科技工业真空一级计量站的静态膨胀法真空标准的发展概况,对其前级标准,...
  • 作者: 任英杰 李凤玲 王燕 王轩 韩京文 高亚杰
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  58-61
    摘要: 热沉是大型空间环境模拟器的重要组成部分,KM3为KM6的改造热沉,热沉内通的是-196℃的液氮或+100℃的热氮气,最高内压达1.6 MPa,其密封性直接影响到模拟器模拟太空冷黑环境的好坏,...
  • 作者: 喻新发 孟冬辉 郭欣 闫荣鑫
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  62-65
    摘要: 传统的差压检漏系统要求基准件和被检件大小、材料和形状都完全相同.所以其应用范围受到了很大限制.为了满足新型航天器舱体总漏率测试要求,本文研究了一种非对称基准物差压检系统,推导了差压检漏的温度...
  • 作者: 周震 廖成 焦飞 谢华木 赵夔 韩俊峰
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  66-69
    摘要: 本文采用基于溅射为主的四元叠层硒化法制备大面积铜铟镓硒薄膜.分别利用SEM与EDX对四元叠层这一新方法制备的薄膜进行微观结构分析与成分分布分析.结果发现,在采用四元叠层发制备CIGS薄膜中,...
  • 作者: 王德苗 郑建潮 金浩 马元远
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  70-74
    摘要: 溅射金属化技术不仅环保,而且工艺过程简单,金属化质量高,将成为未来金属化工艺的主要发展方向.本文采用真空溅射技术在镍锌铁氧体表面制备了Cr(150 nm)/Ni-Cu(460 am)/Ag(...
  • 作者: 周廉 张树林 张跃飞 徐重 李争显 杜继红 王少鹏
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  75-79
    摘要: 分析了钛表面双层辉光等离子渗钯放电状态中的空心阴极放电,分析认为工件极内部是等电位空心阴极放电,源极与工件极是不等电位空心阴极放电.通过对放电状态下电子的作用分析,论证了源极与工件极距离选择...
  • 作者: 刘永华 刘际伟 张跃杰
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  80-82
    摘要: 通过对靶座结构的改变,使得靶面不再存在其他材质,由此提高了电弧离子镀膜膜层的纯度.考核了靶结构调整前后所镀制锫膜层的耐酸蚀性能,通过XPS手段测试了两种状态下膜层的成份及其含量,解释了两种膜...
  • 作者: 张建国 王君 郭江涛 陈长琦
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  83-86
    摘要: 论述了考夫曼离子源中两种磁场结构的特点.在采用多极磁场的离子源中,由于放电室内低磁场区的存在,可获得均匀性好的离子束流.采用环形永久磁体改进设计了考夫曼离子源的多极磁场,简化了磁路结构.运用...
  • 作者: 于涛 刘一鸣 刘戈 孙云 李凤岩
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  87-89
    摘要: 用交替溅射的方法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层.通过可变占空比的电源控制器实现对Cu/Ga合金靶以及In靶溅射时间的控制,进而实现对最后元素配比的控制.实验中发现,在一个溅射周期中,Cu/...
  • 作者: 姜昕 温旭辉 肖飞 靳毅
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  90-92
    摘要: 本文根据对国内外现有适用微电子器件生产的圆形平面溅射源的基本特性的分析比较,通过对平面磁控溅射靶的磁场分布和溅射距离同沉积薄膜厚度均匀性关系的讨论,得出适应于微电子器件生产的磁控溅射源的基本...
  • 作者: 付绍军 吴晓伟 尉伟 王勇 王建平 范乐
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  93-95
    摘要: XeF2不需要任何电离作用,与硅可发生自发反应,可用作对硅各向同性干法刻蚀.研制了一个使用脉冲法对二氧化硅/硅体系进行XeF2刻蚀的系统,利用该系统实现了高SiO2/Si、光刻胶/Si刻蚀选...
  • 作者: 吴先映 周奎 张旭 李强 王桂岳
    刊名: 真空
    发表期刊: 2008年4期
    页码:  96-100
    摘要: Ti-6Al-4V合金作为生物医用材料已广泛应用于临床,但仍存在一些问题:耐磨、耐腐蚀及生物相容性不理想.类金刚石(DLC)具有硬度高、耐磨、生物相容性好等特点.在Ti-6Al-14V基上制...

真空基本信息

刊名 真空 主编 陆国柱
曾用名 真空技术报导
主办单位 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所  主管单位 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1002-0322 CN 21-1174/TB
邮编 110042 电子邮箱 zkzk@chinajournal.net.cn
电话 024-24134406 网址 www.vacjour.cm
地址 辽宁省沈阳市万柳塘路2号

真空评价信息

期刊荣誉
1. 中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
2. 工程技术类核心期刊

真空统计分析

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