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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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121. 车载真空厕所空气射流器性能的数值模拟刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 空气射流真空器是长途客车车载真空厕所的动力源,具有一定压力的压缩空气通过该射流器将产生抽吸便器内污水所需的负压.利用FLUENT软件对其内部流场进行非稳态数值模拟,分析了在一定工况条件下,面...
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122. 虚拟仪器在气体微流量计测控系统中的应用刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 采用虚拟仪器技术开发了一个气体压力的自动测控系统,并用于高精度气体微流量计.本文详细介绍了高精度气体流量计压力系统的工作原理,及其压力测控系统的硬件组成和软件设计.系统的硬件部分使用台湾研华...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 采用双向电泳法,在原子力显微镜探针尖端组装了单根碳纳米管,在真空环境下对比测量了单根碳纳米管蒸镀低逸出功材料HfC前后场致发射电流曲线和电流噪声的特点.证明了HfC蒸镀在碳纳米管上能够显著降...
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124. PCB组件的模态与真空试验分析刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 印刷电路板(PCB)在现代电子设备中起着至关重要的作用,其可靠性对电子设备有很大的影响.本文基于模态理论利用ANSYS工具对PCB进行仿真,主要分析其定位孔和芯片布局对一阶固有频率的影响,并...
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125. 大型板材真空退火炉多温区均温性控制研究刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 针对大型稀有金属板材真空退火炉加热工艺特点以及炉室容积大、加热温区多、检测与控制不一致性等,提出基于Fuzzy-PID的控温与均温策略,并进行了实际控温与均温控制测试分析.生产运行表明,系统...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 以Al-Si-Fe合金为还原剂,采用真空热还原白云石煅白制取金属镁.通过对还原温度、还原时间、还原剂过量系数、制团压力以及氟盐的添加对还原过程的影响分析,确定本工艺最佳工艺条件为:还原温度1...
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127. 第十六讲真空系统的操作与维护刊名： 真空发表期刊： 2010年5期页码:摘要：
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128. 材料放气率测量方法评述刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 材料放气率被用于评价真空材料性能,随着理论研究的深入和实践经验的积累,对材料放气率测试方法有了更具体和更深刻的认识.本文介绍了瑞士、德国、日本、印度以及国内材料放气率测试技术的发展,并对各装...
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129. 磁控溅射镀膜膜厚均匀性设计方法刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 镀膜工艺中的薄膜厚度均匀性问题是实际生产中十分关注的.本文在现有的理论基础之上,对溅射镀膜的综合设计方法进行了初步的建立和研究,系统的建立可以采用"整体到部分,再到整体"这一动态设计理念,不...
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130. 脉冲激光沉积制备纳米材料研究进展刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 纳米结构的材料由于其优异的性能,已经成为当今材料科学的热点之一,而脉冲激光沉积法由于其独特的优点而越来越受到重视.本文阐述了用脉冲激光沉积法制备各种纳米结构的研究进展,包括量子点、纳米线、纳...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 介绍了一种制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,制备的ZnO薄膜主要用作太阳能电池的背反射电极.该设备的极限压力可达5×10-5Pa,膜厚均匀性偏差在5%以内,薄膜电阻率约...
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132. 镍硅颗粒膜的表面传导电子发射特性刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 本文提出采用镍硅颗粒薄膜作为表面传导电子发射显示的发射体材料,通过光刻和磁控溅射在两电极(10μm间隙)之间制备30 nm厚的镍硅颗粒膜.施加三角波电压进行电形成工艺,并测试了器件的电学特性...
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133. 镀膜装置蒸发源发射形态与膜厚分布刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 蒸发源是真空镀膜装置中一个非常重要的部件.在多个蒸发源共存的装置中,如何在设计中正确选择蒸发源与蒸发源、蒸发源与基片之间的距离就显得尤为重要,它直接关系到基板涂层均匀性.本篇文章根据蒸发源与...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 本文研究了N2-Ar流量比对磁控溅射硅基AlN薄膜的影响,实验表明在其它参数一定的情况下,N2-Ar流量比对AlN薄膜元素种类与含量有很大影响,通过实验验证,选择N2-Ar流量比在1.525...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 采用新型导热介质,主要介绍了集热装置的热性能实验方法,并着重对槽式跟踪太阳能集热器集热性能进行了研究及分析,通过对槽式跟踪热管真空管集热器理论值与试验值的比较,结果表明:利用导热油强化传热技...
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136. 以低温泵为主泵的真空检漏系统研究刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 由于分子泵对氦气有较大抽速,因此在真空检漏系统中通常用分子泵作为主泵,但当检漏容器很大时需要大量分子泵.低温泵具有清洁无油、抽速大的优点,如果在检漏系统中能够采用低温泵作为主泵,可以大大减少...
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137. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要：
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138. 三叶转子气冷式罗茨真空泵的流场数值分析刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 本文利用数值模拟软件FLUENT建立三叶转子气冷式罗茨真空泵的二维计算模型,采用动网格技术对气冷式罗茨真空泵内部流动进行动态模拟.分析了转子在转动情况下泵内部流场的变化、内部流场的压强分布以...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 基于Visual c++技术,设计了应用于ITER CICC导体的气密性检测控制系统.利用计算机的串口通信功能,实现了漏率实时采集、实时绘图显示和数据同步保存的功能,达到了整个检漏过程的自动...
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140. 离子在磁分析器中的运动轨迹模拟计算刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 在小型磁偏转质潜计研制过程中,对带电离子在磁分析器中的运动轨迹的模拟计算是必不可少的.在采用有限元法分析并计算了磁分析器空间磁场的分布情况基础上,考虑边缘磁场效应,对带电离子在磁分析器中的运...
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141. 真空射频阻抗自动匹配方法分析刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 本文介绍了真空射频电源使用时阻抗匹配的作用,阻抗自动匹配系统的实现方法,剖析了射频阻抗匹配器结构.在此基础上针对射频阻抗自动匹配目前所采用的算法和技术进行了研究,从控制系统的角度提出了从快速...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 图形化编程语言LabVIEW(Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench),用于一种吸气剂吸气性能定容测试系统.根据理想气体状态方...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 传统真空镀膜机的测量控制系统结构复杂、工作可靠性差、故障率高.用以16位单片机为核心的真空自动测量控制系统更新原控制系统后,对真空度、冷却水温、加热电流及各工作状态能进行实时测量,自动控制真...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 通过MC模型对射频容性Ar等离子体中离子入射的能量及其分布特性进行了模拟计算,结果表明,放电压力低时,高能量离子分布较多,且在高能区域分布曲线呈双峰形式,离子入射的角度较小;放电压力高时,低...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： GaAs表面在不同的V/Ⅲ束流比下会呈现不同的表面重构相.本文通过改变As4 BEP和Ga BEP的束流强度,获得不同As4 BEP和Ga BEP束流比下GaAs(001)从富As β2(2...
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146. 白菜真空预冷热质迁移模型及实验研究刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 以柱状白菜为研究对象,建立了热质迁移数学模型,并对该模型采用实验的方法加以验证.在设定真空压力状况下,就真空室内的压力变化,白菜自身温度变化,真空室内相对湿度变化以及白菜质量损失情况,模拟与...
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刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 本文对TG和CHO两种物料的冻干工艺进行了摸索,分析了冻干失败的主要原因,总结了其冷冻干燥过程中冻干工艺的一般原则.
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148. 真空下用磷矿石无渣工艺制备磷的热力学研究刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要： 本文应用"物质吉布斯自由能函数法"讨论标准压力和不同真空条件下由磷酸钙和碳反应生成碳化钙制备磷的热力学反应条件.计算结果表明在常压下反应温度1891 K,而在真空条件下压力在90～9 Pa反...
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149. 第十六讲真空系统的操作与维护刊名： 真空发表期刊： 2010年6期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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