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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 四探针法是材料学及半导体行业电学表征的常用方法.随着微电子器件尺度持续减小,新型纳米材料研究不断深入,须将探针间距控制到亚微米及其以下范畴才能获得更高的空间分辨率和表面灵敏度.近年来研究人员...
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2. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： CdTe薄膜电池是发展最快、应用前景最好的一类太阳能电池.CdS层是CdTe电池的窗口层材.料,其薄膜质量直接影响电池的转换效率.本文介绍了化学水浴沉积(CBD)和闭空间升华(CSS)两种方...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 采用高功率复合脉冲磁控溅射的方法(HPPMS)在不锈钢基体上制备ZrN薄膜,对比DCMS方法制备的ZrN薄膜,得出HPPMS制备的薄膜表面更平整光滑、致密,既无空洞、又无大颗粒等缺陷.Ar/...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足.提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 采用全封闭磁场的非平衡态磁控溅射系统,以纯金属为靶材,制备了AlN/WAlN(多层)/W薄膜.X射线掠射(GID)、扫描电镜(SEM)以及分光光度计等测试手段分析薄膜的相结构、表面形貌以及吸...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 采用阳极氧化法在钛金属表面制备出致密有序的TiO2纳米管阵列,分别利用磁控溅射和电子束辐照沉积技术在其上沉积Fe纳米颗粒以提高其光电性能.利用场发射扫描电镜观察两种不同技术制备的TiO2纳米...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 本文以烧结合成的CuInS2粉末为原料,采用单源热蒸发技术在玻璃基底上沉积CuInS2薄膜.随着退火温度的升高,薄膜的结晶性能增强,表现出高度的(112)晶面择优取向,SEM观察显示:350...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 为有效提高手表外观件表面的耐磨、耐蚀性能和装饰性能.采用阳极层流型气体离子源结合非平衡磁控溅射技术,制备了梯度过渡掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,并对其在手表外观件上的应用进行研究.结果表...
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10. 不同退火工艺对AZO膜性能的影响刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 掺铝氧化锌(AZO)薄膜由于其独特的光学和电学性能而倍受人们的青睐.本文采用射频磁控溅射技术,制备了综合性能优良的AZO薄膜,通过不同退火上艺处理,研究了其对AZO薄膜的组织结构、电学性能及...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 采用IAD、IBS、MS等三种方法在CAB玻璃卜制备了SiO2膜层,通过纳米压痕和划痕仪测量了膜层的纳米硬度和摩擦系数;利用傅里叶转换红外光谱仪对薄膜光谱性能进行了测量;利用SEM,观测膜层...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 采用双靶反应磁控溅射的方法在40Cr基体上制备了TiAIN薄膜和WTiN薄膜.用XRD,SEM.AFM等检测手段对薄膜的表面状态及结构等进行了表征,采用UMT-3型多功能摩擦试验机,在室温、...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 采用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛.以经典的成核理论为依据,对钛在沉积基体上的成核过程进行热力学和动力学分析,计算出成核过程吉布斯自由能△Gmax、成核速率v和临界晶核直径Do的数学方程...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 本文利用有限元分析软件ANSYS12.0对复合分子泵转子的离心变形与热变形进行了分析.通过施加惯性载荷和温度载荷,得到转子的离心变形与热变形.对不同载荷下分析结果的比较,了解了惯性载荷与温度...
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15. 往复真空泵的参数化设计系统开发刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 介绍了基于SolidWorks的往复真空泵参数化设计方法.以VB为二次开发工具,开发了往复真空泵的参数化设计系统.该系统分为三大功能模块,能很好地实现参数化和自动化.举例介绍了系统完成参数化...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 本文介绍了极限压力为33hPa的单级水环真空泵带一级大气喷射器的设计工况点及压缩比的选取,引射系数的确定及作为主要几何参数的喷咀和扩压器的喉径的计算,并对水温的影响及旁道管路进行了介绍.
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 针对拟建的NBI综合测试平台,设计了真空测量与控制系统,介绍了系统的结构及功能.根据系统要求及操作规范,以PLC作为控制核心,梯形图作为编程语言,触摸屏作为人机界面,组建了完整的控制系统,以...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 根据潘宁气体放电的物理特性,定性分析了等离子体天线中氦氩潘宁气体放电的特性,实验测量了充满氦氩潘宁气体的等离子体天线与充满纯氦或纯氩等离子体天线的等离子体长度、等离子体密度,得出等离子体天线...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： ITER水平诊断窗口插件是用于安装可观察和测量等离子体相关参数的诊断设备和仪器的核心部件.窗口插件体积(2×2×3 m)和重量(大于43 t)均较大且处于悬臂安装状态,在装置运行期间窗口插件...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 为了在EAST装置上建立量化的真空与壁处理技术研究平台,我们构筑了以研华工控机、NI-6229数据采集卡为硬件基础,LabVIEW软件为编程环境的数据采集系统.该系统特色体现在充分利用Lab...
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21. 木质文物真空冷冻干燥的实验研究刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 冷冻干燥是除去饱水文物中水分的有效方法.作者利用浓度逐步升高的PEG2000溶液对木质文物样品进行处理后,在自制的冷冻干燥装置上进行了冻干.冻干效果良好,无开裂和断裂现象发生,试样中最大的、...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 采用直流磁控溅射的方法,在烧结NdFeB磁体表面制备DyA1合金薄膜,对镀膜样品进行了真空扩散渗(800℃×6h)和时效处理(900℃×2.5h+490℃×5h),研究其耐热性和耐蚀性.经过...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要： 本文采用MBE进行InAs/GaAs与InGaAs/GaAs量子点的生长,利用RHEED进行实时监测,并利用RHEED强度振荡测量生长速率.对生长的InAs/GaAs和InGaAs/GaAs...
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24. 第十六讲真空系统的操作与维护刊名： 真空发表期刊： 2011年1期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 磁控溅射靶面磁感应强度的水平分布直接关系到靶材的利用率和刻蚀的均匀性.为了寻求更好的磁控靶结构参数,从而实现靶而水平磁感应强度的均匀分布,作者应用ANSYS软件对SD500型磁控溅射镀膜机的...
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26. 聚酯振膜镀膜用磁控溅射设备刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 本文介绍了一种在PET材料上镀制Ni膜的磁控溅射镀膜设备的结构及特点,解决了PET材料无法在高温环境中镀膜的问题.具有操作方便、成本低、生产效率高、膜层质量好及膜层制备可重复性好等特点.在实...
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27. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 本工作开发了一种靶电压反馈自动控制系统,称为可编程控制器(PLC)级差法反馈控制系统,用于旋转圆柱金属Al靶真空反应溅射沉积Al2O3陶瓷薄膜.根据反应溅射Al2O3工艺特性设计反馈控制的数...
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29. 掺硼金刚石膜的制备及其应用刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 金刚石虽然具有极为优异的性能,如具有很大的能隙,高的电子迁移率、空穴迁移率和高热导率,以及负的电子亲和势,但要将它用于半导体材料时还不能直接使用,必须要先进行金刚石的P型和n型掺杂.因此,研...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年2期页码:摘要： 采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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