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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： AlN薄膜在力学、光学和电子学中有着广泛的应用,而反应磁控溅射技术由于沉积温度低,成本低,非常适合沉积应用于GHz通信系统中体声波(BAW)和表面声波(SAW)器件的(002)取向的AlN薄...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 采用溶液铸膜法制备PEO基复合聚合物电解质(CPE)厚膜,利用XRD、SEM、DSC、FTIR分析等多种结构测量技术对CPE的性能进行了表征和分析.本文研究的是在(PEO)6:NaPO3基导...
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3. 反应温度对碳纳米管的影响刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 本文利用化学气相沉积( CVD)法,以乙烯为碳源气体,二茂铁为催化剂,在二氧化硅上制备出一系列碳纳米管,并通过拉曼光谱和扫描电子显微镜( SEM)对其形貌、结构和组分进行表征,分析反应温度对...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 采用直流磁控溅射方法在玻璃基底上制备了ITO薄膜.分别用分光光度计和四探针仪测试了所制备ITO薄膜在可见光区域内的透过率和电阻率,研究了溅射气压、氧氩流量比和溅射功率三个工艺参数对ITO薄膜...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 用直流磁控溅射法在玻璃基片上先沉积TiO2缓冲层,再用直流/射频反应磁控共溅射法制备掺钨VOx薄膜,然后在氮气中退火.用X射线衍射、原子力显微镜、紫外可见光分光光度计、红外光谱仪等对薄膜的结...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 采用中温、高温复合化学气相沉积技术(MHCVD)在WC- (6％wt)Co硬质合金基体表面制备了Ti(CN)/TiC/Al2O3/TiN 多层陶瓷涂层.通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SE...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术,在Coming Eg 2000玻璃上制备非晶硅薄膜,研究了射频功率对薄膜光电性能的影响.结果表明:通过调节功率可获得具有高折射率,高吸收系数,...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 采用热阴极离子镀膜技术制备了CrNx薄膜.用XRD和XPS对氧化后试样的相结构和成分进行了研究,分析了高温氧化后薄膜的物相、成分变化对薄膜抗氧化性能的影响.结果表明在700℃薄膜中形成了完整...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 本工作设计制作了一种新型的三段式反应气体进气系统.该进气系统由镀膜真空室内和室外两部分结构组成.真空室内的进气主管由三段进气分管组成,其上装有等间距的进气喷嘴.真空室外装有与各进气分管对应的...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 本文讨论在柔性基材PET上沉积氮化钛(TiN)阳光控制膜——作为隔热薄膜.“隔热”是指对红外光区的有效阻隔.氮化钛(TiN)薄膜具有光谱选择透过性,因此可以作为阳光控制薄膜使用.实验采用中频...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 本文针对广泛应用于无油螺杆真空泵中的单头等螺距螺杆转子开展动平衡计算研究,采用转子端面去除质量法来实现转子的动平衡补偿,依据动平衡质径积原理推导出了螺杆转子的动平衡方程,得到优化目标函数并利...
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12. 信息动态刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要：
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13. 液环泵在乙烯酮生产中的应用刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 以醋酸为原料经催化在负压的条件下裂解脱水是目前国内外制取乙烯酮产品的主要生产方法,安全、稳定、经济的液环真空泵在乙烯酮生产中得到了广泛的应用,随着工艺技术的不断进步,液环泵在乙烯酮生产中应用...
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14. 铁路列车真空厕所系统设计刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 针对我国目前使用的铁路直接排放式厕所不雅观不文明、污染环境、浪费水等问题,设计了真空厕所系统.真空厕所基于真空运输理论,利用真空泵抽取真空室、纳污罐和输送管道内的空气,降低其中的大气压力,一...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 冷冻干燥室的真空系统为冷冻干燥提供了真空环境,真空压力特性对冷冻干燥过程顺利进行至关重要,本文以甘露醇溶液的冷冻干燥过程为例,从三个方面对冷冻干燥室内真空压力特性进行了研究:一、真空度对冷冻...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 用活性炭吸附-微波解吸方法回收淡酒液中可利用的乙醇,为淡酒液的回收利用提供一条可供选择的途径.设计了载乙醇活性炭在氮气氛围中微波解吸及真空微波解吸两套试验流程.发现真空条件下解吸的气体组成与...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 介绍了一种全数字控制的中频磁控溅射电源设计.主电路前级采用直流斩波调压,后级采用全桥逆变的电路结构.控制电路由现场可编程门阵列(FPGA)计算产生高分辨率的数字脉宽调制信号(DPWM)实现....
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18. 碳管炉真空系统的检漏刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 本文主要论述了碳管炉真空系统的组成及特点,利用静态压升检漏法和氦质谱检漏两种手段评定碳管炉密封性的好坏,此方法对真空热处理设备及类似装备的设计、检漏具有很好的指导意义.
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 本文对MEMS硅压阻式压力传感器进行了相应理论的分析,并对其优缺点进行了论述.通过对微压力传感器芯片的探索,提出了一种新型结构:四岛平膜结构.运用仿真软件对四岛平膜型微压力传感器芯片进行了静...
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刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要： 本文运用FLUENT软件,通过大量的计算机模拟,研究了真空高压气淬炉中淬火气体压力、进口速度、气体类型对工件冷却性能的影响.通过对比氮气在0.45 MPa、0.6 MPa、1.0 MPa和1...
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21. 第十七讲薄膜与表面技术基础刊名： 真空发表期刊： 2011年6期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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