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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 简略介绍相对论和量子力学的基本原理,引用最新的新闻报导,论述真空科学技术在相对论和量子力学研究中的应用和最新进展.众所周知(包括没写入书本的内容)如:真空是宇宙之母,比宇宙大,比宇宙老;真空...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 柔性电子器件因其柔韧性好、集成度高、可设计性强和在可穿戴方面的潜在应用,成为近年来微电子的研究热点之一.目前,研究重点进展到器件在疲劳过程中的具体失效情况及在不影响电学性能的同时提高柔性,本...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 随着微电子技术、锂离子电池和太阳能电池等行业的发展,人们对聚合物薄膜,尤其是纳米级聚合物薄膜的要求也越来越高.在传统的沉积方法不能满足要求的条件下,找到新的沉积聚合物的方法势在必行.分子层沉...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 直线等离子体装置(Linear Plasma Device,LPD)是研究托卡马克上边界等离子体与材料相互作用的重要平台.本文针对新建LPD的真空系统设计研制开展了相关研究.该真空系统设计为...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 真空容器通常采用O形橡胶圈配合矩形密封槽实现真空密封.本文介绍了O形橡胶圈真空密封的设计,利用ANSYS建立了O形圈两种矩形密封槽非线性有限元分析模型,研究了不同压缩率及真空度下O形圈Von...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 专用电子束熔炼炉需要大抽速、可靠性较高的真空系统,本文简要介绍了专用电子束熔炼炉真空抽气系统的主要性能指标、设计思路和方法、系统组成,对此真空抽气系统进行了详细的计算,并为类似真空设备的研制...
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7. 大口径真空插板阀优化设计刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 伴随我国航天及国防事业的巨大进步,更多关键和特殊的装备需要在真空环境下生产或试验,大型和特大型地面模拟设备开始研制和投入使用,对关键部件真空插板阀的要求也越来越高.由于真空插板阀的口径不断增...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 采用中频磁控溅射方法,在氧化铟(ITO)玻璃上采用氧化钨(WO3)陶瓷靶沉积薄膜,研究溅射气压对WO3薄膜结构与光学性能的影响规律,并对其电致变色行为进行了探讨.采用X射线衍射(XRD)和扫...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 本文采用射频磁控溅射法在Si(100)和石英衬底制备纯 β-Ga2O3和不同浓度的Si掺杂β-Ga2O3薄膜,并且研究Si掺杂对β-Ga2O3薄膜结构、表面形貌和光学性质的影响.X射线衍射(...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为提高炭素材料的抗氧化性能,采用喷涂法在等静压石墨基体上制备了SiC涂层,研究了涂层浆料中硅、碳比例对SiC涂层物相组成、微观形貌以及抗氧化性能的影响.通过XRD、SEM和氧化实验分析表明:...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 等离子体雾化法是当前球形金属粉末制备最具前景的方法之一,但由于其使用的关键等离子体发生器产生的射流不稳的问题,制约着金属粉末制备批次的稳定性.等离子体射流的不稳定性主要来源于电弧的大尺度分流...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为了验证接触器工作时发生振荡的主要区域,设计试验寻找接触器进入羽流工况的阈值条件,确认当"供气工质流量—放电电流"的比值超过10sccm/A时,接触器将会进入到羽流工作模式.在该区域中接触器...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 本论文展示了一种可调谐硅基外腔激光器,调谐范围在C波段(1540～1560nm),该激光器使用端面直接耦合(edge coupling)方式将SOA(Semiconductor Optica...
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14. 真空涂层设备SIS设计及应用刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 研究了真空涂层设备控制系统和工艺安全要求的特性,提出以IEC 62061标准完成设备的SIL评估、SIS设计和SIL验证,完成了整套SIS的集成和应用研发,并实现了SIS与总控系统的信息交互...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 本文介绍了一种坩埚冷却供水闭式循环监控系统,以西门子S7-1200系列PLC作为控制核心,WinCC 7.3组态软件作为人机界面,目的是为坩埚冷却供水闭式循环系统提供一种安全可靠的监控系统....
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 探究带有纸质条码的燃料棒在氦检漏过程中输出值的影响.分别选取带激光条码和纸质条码的燃料棒作为对照组和实验组,通过分析漏率输出值,确定了纸质条码对燃料棒的氦检漏输出值有影响.进行了试验和分析,...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 本文应用"物质吉布斯自由能法"对磷铁制备三磷化钴CoP3进行了系统的热力学研究.在298～1600K范围内,Fe2P与Co反应生成三磷化钴CoP3的 ΔG由196.12kJ·mol-1变化至...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 针对钛合金在一定条件下易发生钛火的问题,对钛合金的阻燃性能进行优化研究.在Ti6Al4V表面进行离子注铜,采用金相显微镜对表面形貌进行观察和分析,使用X射线衍射仪分析改性层中的物相组成,利用...
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刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 拉锭装置是真空电子束熔炼炉的核心部件之一,其运动的模式及速度对拉锭工作的稳定性及铸锭的组织结构有明显影响.一定的振动对铸锭的表面质量及晶粒细化程度有改善作用.在振动冲击下,结构将产生附加变形...
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20. 第二十一讲真空卷绕镀膜刊名： 真空发表期刊： 2021年5期页码:摘要： (接2021 年第4 期104 页) A 镀铝层厚度的测量 由于真空镀铝薄膜的镀铝层非常薄,因此不能用常规的测厚仪器检测其厚度,通常在线可以通过电阻测量辊测量表面电阻,测量透过镀层的光密...
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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