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19905

真空科学与技术学报

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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

曾用名：真空科学与技术

CA CSCD JST CSTPCD

影响因子 0.3586

本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

主办单位：

中国真空学会

ISSN：

1672-7126

CN：

11-5177/TB

出版周期：

月刊

邮编：

100022

地址：

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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年度刊次

1. 上海EBIT装置微量气体注入系统的研制

作者：安双利张海鸥蒋迪奎郭盘林

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 1-4

摘要：本文介绍了上海电子束离子阱(EBIT)装置微量气体注入系统的成功研制.文中阐述了该系统的总体设计,并运用Maxwellian速度分布理论及几何光学模型描述和分析了整个注入过程,重点计算了注气...
2. Si(111)衬底上3C-SiC的固源MBE异质外延生长

作者：刘忠良刘金锋徐彭寿汤洪高王科范

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 5-9

摘要：国内首次利用固源分子束外延(MBE)技术,在衬底温度为1100 ℃时,以Si(111)为衬底成功地外延生长出了3C-SiC单晶薄膜.通过X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)以及原位反...
3. 螺旋线行波管的粒子模拟研究

作者：朱兆君杨赤如罗正祥贾宝富

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 10-15

摘要：运用全电磁2.5维粒子模拟程序MAGIC,对螺旋线行波管中注-波互作用的非线性过程进行了模拟分析,得到了管子的功率、增益和效率等电性能参量,模拟结果与实测数据吻合良好.对整管长度、电子注电流...
4. X波段40 W高效率空间行波管螺旋慢波系统的模拟优化

作者：樊会明苏小保

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 16-19

摘要：为了提高X波段40 W空间行波管的互作用效率,本文通过计算机模拟对其慢波系统进行了模拟优化,获得了渐变螺距慢波系统的互作用效率和输出功率,并和样管的测试结果进行了比较.比较结果表明,互作用效...
5. 微型复合溅射离子泵的设计研究

作者：胡银富陈旭齐京

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 20-24

摘要：本文介绍了一种非蒸散型吸气剂(NEG)与微型溅射离子泵(SIP)集成构成的微型复合溅射离子泵.测试结果表明,当吸气剂激活后,复合泵的抽速达到0.45 L/s,比未加吸气剂的同型溅射离子泵抽速...
6. 等离子体低温刻蚀单晶硅高深宽比结构

作者：卢德江蒋庄德

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 25-30

摘要：等离子体低温刻蚀是一种针对高深宽比结构的干法刻蚀技术.本文在低温刻蚀单晶硅样品时得到典型的刻蚀结果为:各向异性值＞0.99,硅刻蚀速率＞1.5 μm/min,对SiO2刻蚀选择比＞75,说明...
7. 氮等离子体浸没离子注入技术改善轴承钢滚动接触疲劳寿命和机械性能的研究

作者：刘洪喜李小棒李琪军

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 31-36

摘要：研究了氮等离子体浸没离子注入(N-PIII)技术处理后GCr15轴承钢表面的滚动接触疲劳特征和机械性能.测试了改性前后试样的滚动接触疲劳寿命和磨痕光学形貌、摩擦磨损行为及纳米压痕硬度.结果表...
8. 真空冷冻干燥法制备银纳米粉体的实验研究

作者：刘军张世伟徐成海

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 37-41

摘要：以无机盐硝酸银为原料,银氨络合物为前驱体,采用真空冷冻干燥法制备了银纳米粉体.本文在实验中采取了三种冷冻方式:直接冷冻、真空蒸发冷冻和喷雾冷冻.经透射电镜(TEM)、X-射线衍射(XRD)和...
9. 不同基底对掺镧钛酸铅铁电薄膜结晶性能的影响

作者：刘洪张振宁朱建国肖定全蒲朝辉龚小刚

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 42-45

摘要：采用射频磁控溅射技术,使用相同的工艺条件在Si(100)基底和Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上生长了掺镧钛酸铅[(Pb0.9,La0.1)TiO3,PLT10]铁电薄膜.采用常规热...
10. 单头等螺距梯形齿螺杆转子型线的干涉问题研究

作者：张世伟徐成海祖文文赵瑜

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 46-49

摘要：本文针对无油螺杆式真空泵中一种常用的单头等螺距梯形级齿的螺杆转子型线,研究讨论了二转子级齿间的干涉问题.提出了保证二转子不发生干涉的二种解决方案--平移齿面法和内凹齿面法.分别推导得到齿面平...
11. 微波传输系统真空法兰密封结构设计特点

作者：尉伟蒋道满金凯

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 50-53

摘要：为了提高微波传输系统最大输出功率,将波导管内维持真空状态,真空度达到或优于10-5 Pa时,通过功率可提高几个数量级.但真空波导法兰密封结构设计是关键,对应不同的条件有不同的要求.首先,在橡...
12. 液晶阵列工艺中金属钼的干法刻蚀研究

作者：姜斌王章涛荀本鹏邱海军

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 54-57

摘要：为了简化液晶面板制造工序,本文初步研究了在1.1 m×1.3 m的玻璃基板上,采用Cl2/O2气体对薄膜晶体管中沟道处的金属钼进行反应离子刻蚀.经过一组正交实验,分析了功率、气压、气体比例等...
13. 一种反磁控冷阴极真空规的脉冲操作模式

作者：毛慧勇王毅

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 58-62

摘要：冷阴极真空规应用时有较大的抽气作用,而且放电产生的热量和离子溅射对电极表面的污损也使其正常操作受到一定影响.为此,本文设计了一种智能脉冲高压电路,对一种反磁控冷阴极真空规(IMG)的脉冲放电...
14. 铜铟硫薄膜的固态硫化法制备及其性能研究

作者：元金石庄大明张弓查杉

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 63-66

摘要：采用中频交流磁控溅射方法沉积Cu-In预制膜,并采用固态源蒸发硫化方法制备CuInS2薄膜.考察了硫源温度对CuInS2薄膜性能的影响.采用扫描电镜(SEM)和X射线能量色散谱仪(EDS)分...
15. 滑阀真空泵振动平衡的优化设计研究

作者：曹文钢李志远赵浩杰陈长琦

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 67-71

摘要：滑阀真空泵在许多行业得到广泛应用.但滑阀真空泵的振动平衡问题一直是国际上未解决的技术难点.本文建立了滑阀真空泵动态仿真模型,并以改变内置平衡块的结构来改变各构件重心位置的方式进行了动态仿真,...
16. 环境扫描电镜中电荷环境的测量

作者：付景永吉元张隐奇徐学东王丽田彦宝韩晓东

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 72-75

摘要：在环境扫描电镜(ESEM)中,采用高灵敏度的pA-表测试系统,测量法拉第杯,以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流(ISP).ISP值反映出由电子流和离子流控制的ES...
17. 热丝法制备多晶硅薄膜晶体取向及形态的研究

作者：侯晓多张贵锋柴展王赛

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 76-79

摘要：采用热丝化学气相沉积法(HWCVD),在很近的热丝与衬底距离(5 mm)下沉积多晶硅薄膜,研究了热丝温度、SiH4浓度对多晶硅晶粒取向和晶粒尺寸的影响规律.结果表明:当热丝温度在1400 ℃...
18. 电真空器件残气质谱分析和贮存寿命的快速测试研究

作者：崔云康张晓兵毛福明狄云松王金婵肖梅雷威

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 80-83

摘要：电真空器件内的残气压强是制管和管子工作过程中管内吸气剂材料吸气后形成的平衡压强,器件击破后质谱分析室本底气体会被吸气剂吸收.因质谱分析室放出的本底气体量一般远小于吸气剂在器件内原吸收的气体量...
19. 真空冷冻干燥设备中变频真空机组的设计应用与研究

作者：徐言生杨泽亮王如林龙建佑

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年1期

页码: 84-87

摘要：分析了变频真空机组在食品真空冷冻干燥设备中应用的意义和可行性.以SZDG200大型食品冻干设备为例,进行了变频真空机组的系统选型设计计算,并提出了变频真空机组控制系统的实施方案.
20. 具有非易失存储功能的可逆有机电双稳器件

作者：吕银祥徐伟董元伟郭鹏霍钟祺

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 89-91

摘要：报道一种能够在室温下具有可逆电双稳特性,并实现非易失信息存储功能的有机薄膜器件.器件为简单的三层结构,Al/HPYM/Ag,HPYM为一种有机分子材料,通过真空热蒸发法制成薄膜作为信息存储介...
21. 超高/极高真空校准装置的研制

作者：冯焱张涤新成永军李得天李正海郭美如

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 92-96

摘要：超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成.使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10 Pa...
22. Ag-TCNQ分形生长现象研究

作者：孙大林徐华华方方曹冠英陈国荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 97-100

摘要：利用溶液化学反应法,在Ag-TCNQ过饱和度较大的条件下,发现了Ag-TCNQ的分形生长现象.研究表明,Ag膜厚度和与溶液反应的时间对样品的形貌有影响.Ag 膜薄生成的样品稀疏,分形维数小;...
23. ZrN/W2N纳米多层膜的调制比对其性能的影响

作者：李德军杨瑾王明霞

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 101-104

摘要：利用射频磁控溅射系统制备了调制周期为30 nm的具有不同调制比例的ZrN/W2N纳米多层膜.研究表明:ZrN/W2N纳米多层膜的界面清晰,通过把ZrN周期性地插入到W2N层,多层薄膜的整体应...
24. 平板显示器中运动模糊的测量分析

作者：宋文李晓华杨晓伟

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 105-108

摘要：如何客观地评估平板显示器件上出现的动态伪像现象成为目前关注的焦点,由于亮度响应时间不能完全描述图像模糊程度,因此参数"运动图像响应时间(MPRT)"被引入来量化评价运动模糊.本文通过分析人眼...
25. 双阳极等离子喷枪电弧特性与热效率分析

作者：安连彤高阳

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 109-112

摘要：一种新型的双阳极等离子喷枪,通过改变阳极弧根的位置,可以有效地提高电弧电压和喷枪的热效率.双阳极喷枪的阳极由相互绝缘的两部分组成.距离阴极较近的阳极称为阳极I,较远的称为阳极II.阳极弧根可...
26. 纳米多孔铝阳极氧化膜的形成机理研究

作者：宋晔朱晴朱绪飞肖迎红陆路德高魁

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 113-117

摘要：为探讨多孔铝阳极氧化膜的形成机理,研究了不同气压条件下铝在磷酸溶液中的阳极氧化过程,发现在真空下进行阳极氧化,氧气析出非常明显.通过测定不同气压下的阳极氧化曲线,分析了致密膜向多孔氧化铝膜的...
27. 纳米粒径RGTO SnO2薄膜的制备及气敏特性研究

作者：何秀丽张阳李建平高晓光

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 118-122

摘要：针对RGTO SnO2薄膜颗粒粒径较大的问题,通过控制直流磁控溅射时的溅射气压,制备出了纳米粒径RGTO SnO2薄膜,用SEM表征了其形貌及粒径分布,研究了溅射气压对其形核及生长过程的影响...
28. CoFe/Cu多层膜巨磁阻效应的研究

作者：冯洁郑金平

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 123-126

摘要：采用直流磁控溅射制备了多层膜Ta/缓冲层/[Co95Fe5/Cu]×12/Co95Fe5/Ta.实验发现,多层膜的磁阻性能受到缓冲层材料、各子层厚度以及退火处理的影响.采用优化的多层膜结构:...
29. 磁控溅射SiC薄膜及其电学特性研究

作者：周继承郑旭强

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 127-130

摘要：本文用磁控溅射法(RMS)制备了SiC非晶薄膜,并对其进行了退火处理.用AFM观察了薄膜的表面形貌,测量了薄膜的厚度、方块电阻和电阻-温度曲线,对其导电机理进行了分析.结果表明:薄膜表面平整...
30. CdTe多晶薄膜制备及后处理对CdS/CdTe界面的影响

作者：冯良桓夏庚培张静全曾广根李卫武莉莉蔡亚平蔡伟郑家贵雷智黎兵

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2007年2期

页码: 131-134

摘要：采用近空间升华法分别在玻璃、CdS及CdS1-xTex衬底上沉积了CdTe多晶薄膜,通过原子力显微镜的观察和X射线衍射的分析,比较了它们的微结构.结果表明,用CdS和CdS1-xTex多晶薄...

真空科学与技术学报基本信息

刊名	真空科学与技术学报	主编	吴锦雷
曾用名	真空科学与技术
主办单位	中国真空学会	主管单位	中国科学技术协会
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1672-7126	CN	11-5177/TB
邮编	100022	电子邮箱	vst@chinesevacuum.com
电话	010-58206280	网址
地址	北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室